本发明专利技术涉及晶圆生产技术领域，尤其是一种便于操作使用的晶圆测试用加热装置，包括，加热箱组件；保温壳体，所述保温壳体设置于所述加热箱组件的上表面；安装箱门，所述安装箱门设置于所述保温壳体的一侧；挤压组件，所述挤压组件设置于所述保温壳体的内部，所述挤压组件包括多个压紧件、以及使多个所述压紧件产生位移的驱动件；循环加热组件，所述循环加热组件设置于多个所述压紧件和加热箱组件之间；放置组件，所述放置组件均设置于所述加热箱组件和保温壳体之间；触控显示组件，所述触控显示组件设置于所述保温壳体的一侧。本发明专利技术在普通加热装置的基础上，设置了放置、循环加热、挤压和连接装置，提高了加热的均匀性、环保性和操作的便捷性。作的便捷性。作的便捷性。
【技术实现步骤摘要】
一种便于操作使用的晶圆测试用加热装置及其使用方法
[0001]本专利技术涉及一种加热装置，特别是涉及一种便于操作使用的晶圆测试用加热装置及其使用方法，属于晶圆生产
技术介绍
[0002]晶圆是硅元素经过特殊的处理过程制成的，晶圆的制作过程中，首先将硅元素加以纯化，再将这些纯硅制成硅晶棒，经切割后形成一片片薄薄的晶圆，在经过一些处理就可以变成一些电子产品所用的零件，比如内存、微处理器等，而晶圆的面积越大，所需要的技术越好，而且制成的晶圆需要进行晶圆测试，不合格的晶圆会被淘汰。
[0003]在晶圆测试前，必须对晶圆加热，传统的方式是将空气加热后变成热空气吹到晶圆上，以期提高晶圆的温度，达到加热的效果。但这种方式会造成热量的损失，操作不方便，且不能很清楚的了解热空气的温度，对着晶圆吹热空气也很难让晶圆受热均匀，会影响最终的测量结果。本专利技术针对以上问题提出了一种新的解决方案。
技术实现思路
[0004]本专利技术的主要目的是为了解决现有技术的不足，而提供一种便于操作使用的晶圆测试用加热装置及其使用方法。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0006]设计一种便于操作使用的晶圆测试用加热装置，包括，加热箱组件；保温壳体，所述保温壳体设置于所述加热箱组件的上表面；安装箱门，所述安装箱门设置于所述保温壳体的一侧；挤压组件，所述挤压组件设置于所述保温壳体的内部，所述挤压组件包括多个压紧件、以及使多个所述压紧件产生位移的驱动件；循环加热组件，所述循环加热组件设置于多个所述压紧件和加热箱组件之间；放置组件，所述放置组件与所述压紧件的数量相同，所述放置组件均设置于所述加热箱组件和保温壳体之间；触控显示组件，所述触控显示组件设置于所述保温壳体的一侧。
[0007]优选的，所述加热箱组件包括保温箱体、设置于所述温箱体一侧的温度传感器、设置于所述温箱体内部的加热棒、以及箱盖。
[0008]优选的，所述压紧件包括挤压座，所述挤压座设置于保温壳体的内部，所述挤压座的两侧均固定设有多个固定块，所述固定块均固定设有T形柱，多个所述T形柱套接设有两个移动板，所述固定块与移动板之间均固定设有弹簧，且弹簧分别与T形柱相套接。
[0009]优选的，所述驱动件包括双轴电机，所述双轴电机设置于保温壳体的上表面，所述双轴电机的输出轴均固定设有传动轴，所述传动轴均固定设有蜗杆，所述蜗杆的一侧均齿接设有蜗轮，所述蜗轮均固定设有螺纹丝杆，所述螺纹丝杆的一端均贯穿保温壳体与保温壳体转动连接并分别与移动板螺纹连接。
[0010]优选的，所述循环加热组件包括泵体，所述泵体与保温壳体固定连接，所述泵体的一侧固定设有进液管，且进液管的一端与加热箱组件固定连接，所述泵体固定设有出液管，
所述出液管的一侧固定设有多个连接管一，所述连接管一均固定设有电磁阀，所述连接管一的一端均贯穿保温壳体并固定设有柔性连接管一，所述柔性连接管一的一端分别贯穿挤压座并固定设有导热弯管，所述导热弯管的一侧均固定设有柔性连接管二，所述柔性连接管二的一端均依次贯穿挤压座和保温壳体并固定设有连接管二，多个所述连接管二的一端固定设有排液管，且排液管的一端与加热箱组件固定连接，所述挤压座的内壁均固定设有导热座，所述导热座均设有与导热弯管相对应的凹槽，所述导热座的下表面均固定设有柔性导热层。
[0011]优选的，所述柔性导热层采用在导热硅胶表面包覆薄膜制成。
[0012]优选的，所述放置组件包括放置台、连接件和导向构件，所述导向构件设置于所述保温壳体的内部。
[0013]优选的，所述连接件包括插接板，所述插接板与安装箱门插接，所述插接板的一侧固定设有插接座，所述插接座插接设有连接座，所述连接座的上表面插接设有多个插接销，所述插接座设有多个与插接销相对应的插接孔。
[0014]一种便于操作使用的晶圆测试用加热装置使用方法，具体步骤，包括：
[0015]S1、向加热箱组件中注入适量的水分，根据待加热的晶圆的尺寸选取合适的放置组件，并将晶圆放置于放置组件上的凹槽中，将放置组件插入安装箱门；
[0016]S2、根据需要在触控显示组件上输入相关数据，触控显示组件控制挤压组件开始工作，使其能够与放置组件相贴合，同时加热箱组件将其内部的水分加热到一定程度；
[0017]S3、循环加热组件开始工作将对挤压组件中的导热座和柔性导热层进行加热，在挤压组件的作用下柔性导热层与晶圆相贴合，对其进行加热；
[0018]S4、加热完成后，触控显示组件控制挤压组件复位，工作人员将放置组件拉出，将晶圆取出。
[0019]与现有技术相比，本专利技术的有益效果在于：在保温箱体、保温壳体和安装箱门之间的配合下，可以有效的避免热量的散失，提高了资源的利用率；在挤压组件的作用下，可以使其与放置组件相贴合，进一步降低热量的散失，提高加热效果；在循环加热组件的作用下，采用以水为介质对晶圆进行加热，便于工作人员控制温度，避免出现加热温度不够或是远超的现象，影响后续的测试结果同时在柔性导热层的作用下，可以使其与晶圆相贴合，可以均匀的对晶圆进行加热；采用放置组件，可以根据晶圆的尺寸选取不同的放置板，提高了本专利技术的适用性，而且安装便捷，操作方便。
[0020]该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。
附图说明
[0021]附图用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本专利技术的实施例一起用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的限制。在附图中：
[0022]图1为按照本专利技术提出的便于操作使用的晶圆测试用加热装置的一优选实施例的主视图；
[0023]图2为按照本专利技术提出的便于操作使用的晶圆测试用加热装置的一优选实施例的正剖视图；
[0024]图3为按照本专利技术提出的便于操作使用的晶圆测试用加热装置的一优选实施例的
侧剖视图；
[0025]图4为按照本专利技术提出的便于操作使用的晶圆测试用加热装置的一优选实施例的挤压组件主视图；
[0026]图5为按照本专利技术提出的便于操作使用的晶圆测试用加热装置的一优选实施例的循环加热组件主视图；
[0027]图6为按照本专利技术提出的便于操作使用的晶圆测试用加热装置的一优选实施例的放置组件拆分图。
[0028]图中：1.加热箱组件、11.保温箱体、12.温度传感器、13.加热棒、14.箱盖、2.保温壳体、3.安装箱门、4.挤压组件、41.压紧件、 42.驱动件、5.循环加热组件、6.放置组件、61.放置台、62.连接件、 63.导向构件、7.触控显示组件、4101.挤压座、4102.固定块、4103.T 形柱、4104.移动板、4105.弹簧、4201.双轴电机、4202.传动轴、4203. 蜗杆、4204.蜗轮、4205.螺纹丝杆、501.泵体、502.进液管、503. 出液管、504.连接管一、505.电磁阀、506.柔性连接管一、507.导热弯管、508.柔性连接管二、509.连接管二、510.本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种便于操作使用的晶圆测试用加热装置，其特征在于，包括，加热箱组件(1)；保温壳体(2)，所述保温壳体(2)设置于所述加热箱组件(1)的上表面；安装箱门(3)，所述安装箱门(3)设置于所述保温壳体(2)的一侧；挤压组件(4)，所述挤压组件(4)设置于所述保温壳体(2)的内部，所述挤压组件(4)包括多个压紧件(41)、以及使多个所述压紧件(41)产生位移的驱动件(42)；循环加热组件(5)，所述循环加热组件(5)设置于多个所述压紧件(41)和加热箱组件(1)之间；放置组件(6)，所述放置组件(6)与所述压紧件(41)的数量相同，所述放置组件(6)均设置于所述加热箱组件(1)和保温壳体(2)之间；触控显示组件(7)，所述触控显示组件(7)设置于所述保温壳体(2)的一侧。2.根据权利要求1所述的一种便于操作使用的晶圆测试用加热装置，其特征在于，所述加热箱组件(1)包括保温箱体(11)、设置于所述温箱体(11)一侧的温度传感器(12)、设置于所述温箱体(11)内部的加热棒(13)、以及箱盖(14)。3.根据权利要求1所述的一种便于操作使用的晶圆测试用加热装置，其特征在于，所述压紧件(41)包括挤压座(4101)，所述挤压座(4101)设置于保温壳体(2)的内部，所述挤压座(4101)的两侧均固定设有多个固定块(4102)，所述固定块(4102)均固定设有T形柱(4103)，多个所述T形柱(4103)套接设有两个移动板(4104)，所述固定块(4102)与移动板(4104)之间均固定设有弹簧(4105)，且弹簧(4105)分别与T形柱(4103)相套接。4.根据权利要求1或3所述的一种便于操作使用的晶圆测试用加热装置，其特征在于，所述驱动件(42)包括双轴电机(4201)，所述双轴电机(4201)设置于保温壳体(2)的上表面，所述双轴电机(4201)的输出轴均固定设有传动轴(4202)，所述传动轴(4202)均固定设有蜗杆(4203)，所述蜗杆(4203)的一侧均齿接设有蜗轮(4204)，所述蜗轮(4204)均固定设有螺纹丝杆(4205)，所述螺纹丝杆(4205)的一端均贯穿保温壳体(2)与保温壳体(2)转动连接并分别与移动板(4104)螺纹连接。5.根据权利要求1或3所述的一种便于操作使用的晶圆测试用加热装置，其特征在于，所述循环加热组件(5)包括泵体(501)，所述泵体(501)与保温壳体(2)固定连接，所述泵体(501)的一侧固定设有进液管(502)，且进液管(502)的一端与加热箱组件(1)固定连接，所述泵体(501)固定设有出液管(503)，所述出液管(50...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴卓鸿，顾卫民，吴熙文，张梅，
申请(专利权)人：无锡芯启博科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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