【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于晶圆cp测试，具体涉及一种晶圆cp测试装置。
技术介绍
1、晶圆cp测试通常指的是芯片(integrated circuit，ic)的晶圆级别的测试，其中cp代表的是chip probe，即芯片探针测试。在半导体制造的过程中，晶圆是一个圆形的硅片，上面被制作成许多芯片。cp测试是在这个阶段对每个芯片进行测试，以确保其功能正常和质量可靠。
2、在cp测试的过程中，通常需要通过夹爪将晶圆自晶舟盒内夹取至晶圆测试模块上，在测试完成后对有问题的芯片进行标记并通过夹爪夹取至晶舟盒内，但是在晶圆夹取的过程中，对夹取力度是有着较高要求的，夹取力度过低可能造成晶圆夹紧不够稳定，而夹取力度过大则有可能造成晶圆的损坏，故需要一种能够在晶圆测试夹取过程中，实现晶圆夹取稳定且不会造成晶圆损坏的晶圆cp测试装置的出现。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是克服现有技术的不足而提供一种具有晶圆夹取稳定且不会造成晶圆损坏的晶圆cp测试装置。
2、本专利技术的技术方案如下：
3、一种晶圆cp测试装置，包括壳体、探针测试模块、放料晶舟盒和储料晶舟盒，所述探针测试模块位于壳体内，所述放料晶舟盒和储料晶舟盒可拆卸固定在壳体内，所述壳体内设置有能够旋转调节角度的旋转柱，所述旋转柱上设置有三个能够实现升降位移调节的升降板，所述升降板上设置有伸缩直线模组，所述伸缩直线模组以旋转柱为中心呈圆形阵列，所述伸缩直线模组连接有充压组件，所述充压组件远离升降板的一侧连接有气动夹爪，所述
4、所述探针测试模块、放料晶舟盒以及储料晶舟盒以旋转柱为中心呈圆形阵列。
5、进一步，所述充压组件包括伸缩板、固定轴以及活塞，所述伸缩板开设有充压腔，所述伸缩板连接在伸缩直线模组，所述固定轴固定在伸缩直线模组上，且所述固定轴一端密封伸入充压腔内，所述活塞位于充压腔内并连接在固定轴上，所述伸缩板沿位移方向的两端均设置有与充压腔导通的进气单向阀，所述进气单向阀一侧设置有位于伸缩板上的排气单向阀，所述排气单向阀分别连通稳压组件和充压腔。
6、进一步，所述伸缩板底部开设有圆形腔，稳压组件包括转动密封连接在圆形腔内的外环、密封设置于圆形腔的内筒、转动密封连接在内筒上的内环、密封固定在圆形腔上的两个分隔板以及固定在内环上的旋转板，所述内筒与圆形腔同轴心设置，所述分隔板与内环和外环密封接触，所述旋转板另一侧固定在外环上，所述旋转板密封接触圆形腔上下侧壁，以将圆形腔分隔为连通腔、保压腔和加压腔，所述连通腔连通排气单向阀；
7、所述内环圆周侧面开设有位于加压腔和连通腔的条形孔，所述内筒开设有位于条形孔逆时针的一侧的连通孔，当所述保压腔与加压腔的压强相同时，所述连通孔不连通条形孔，当所述保压腔压强大于加压腔的压强时，所述旋转板带动内环旋转，以使得连通孔与条形孔连通。
8、进一步，所述圆形腔上方设置有开设在伸缩板上的传输腔，所述传输腔连通连通腔和排气单向阀，所述内环上设置有凸起，当所述凸起与分隔板接触时，所述连通孔与条形孔连通。
9、进一步，所述气动控制组件包括转动连接在内筒内的旋转盘、螺纹连接在旋转盘内部的导流筒以及与伸缩板下侧面连通的排气桶，所述导流筒内部设置有凸板，所述凸板的长度小于排气桶的长度，所述凸板侧面开设有导向槽，所述排气桶固定在伸缩板上并插接在导向槽内，所述伸缩板连接有用于驱动旋转盘转动的旋转电机；
10、所述导流筒开设有与连通孔位置对应的圆孔，所述旋转盘开设有与连通孔错位的中间孔，所述排气桶下侧面开设有放气孔，所述排气桶下侧面贴合密封有固定在导流筒上的贴合板，当所述旋转电机带动旋转盘顺时针旋转90°时，所述中间孔与连通孔和圆孔连通。
11、进一步，所述气动夹爪包括密封固定在伸缩板上的气动传输板以及固定在气动传输板远离升降板一侧的弧形板，所述弧形板自上下中位置开设有供晶圆放入的空间，所述空间内设置有固定在弧形板上的多个弹性气囊；
12、所述气动传输板开设有供导流筒升降调节的升降槽，所述升降槽连通有开设在弧形板上的气动通道，所述气动通道连通弹性气囊。
13、进一步，所述伸缩板开设有与排气单向阀连通的加压通道，所述加压通道连通传输腔。
14、进一步，所述伸缩直线模组底部设置有与固定轴连接的固定块，所述伸缩直线模组下侧面设置有两个固定板，所述固定板开设有滑槽，所述伸缩板滑动连接在滑槽内。
15、进一步，所述旋转柱底部设置有转动盘，所述转动盘转动连接有固定在壳体上的底座，所述底座设置有用于驱动旋转柱转动的驱动电机。
16、进一步，所述旋转柱圆周侧面设置有三个升降直线模组，所述升降直线模组连接升降板。
17、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
18、1、本专利技术通过充压组件与伸缩直线模组的配合实现充压，并通过稳压组件实现压强的控制，保证对气动夹爪自动补压的同时避免压强过高，保证晶圆夹取稳定且不会造成晶圆损坏；
19、2、本专利技术采用气动控制组件实现稳压组件与气动夹爪连通的控制以及气动夹爪排气的控制，便于气动夹爪的进去晶圆和放下晶圆的控制。
20、总之，本专利技术具有晶圆夹取稳定且不会造成晶圆损坏的优点。
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1.一种晶圆CP测试装置，包括壳体、探针测试模块、放料晶舟盒和储料晶舟盒，所述探针测试模块位于壳体内，所述放料晶舟盒和储料晶舟盒可拆卸固定在壳体内，其特征在于：所述壳体内设置有能够旋转调节角度的旋转柱，所述旋转柱上设置有三个能够实现升降位移调节的升降板，所述升降板上设置有伸缩直线模组，所述伸缩直线模组以旋转柱为中心呈圆形阵列，所述伸缩直线模组连接有充压组件，所述充压组件远离升降板的一侧连接有气动夹爪，所述充压组件底部设置有与气动夹爪连通的气动控制组件，所述气动控制组件连通有位于充压组件上的稳压组件，所述稳压组件连通充压组件，所述稳压组件能够基于气动夹爪所需气压为气动夹爪自动补压；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆CP测试装置，其特征在于：所述充压组件包括伸缩板、固定轴以及活塞，所述伸缩板开设有充压腔，所述伸缩板连接在伸缩直线模组，所述固定轴固定在伸缩直线模组上，且所述固定轴一端密封伸入充压腔内，所述活塞位于充压腔内并连接在固定轴上，所述伸缩板沿位移方向的两端均设置有与充压腔导通的进气单向阀，所述进气单向阀一侧设置有位于伸缩板上的排气单向阀，所述排气单向阀分别连通稳压组
3.根据权利要求2所述的一种晶圆CP测试装置，其特征在于：所述伸缩板底部开设有圆形腔，稳压组件包括转动密封连接在圆形腔内的外环、密封设置于圆形腔的内筒、转动密封连接在内筒上的内环、密封固定在圆形腔上的两个分隔板以及固定在内环上的旋转板，所述内筒与圆形腔同轴心设置，所述分隔板与内环和外环密封接触，所述旋转板另一侧固定在外环上，所述旋转板密封接触圆形腔上下侧壁，以将圆形腔分隔为连通腔、保压腔和加压腔，所述连通腔连通排气单向阀；
4.根据权利要求3所述的一种晶圆CP测试装置，其特征在于：所述圆形腔上方设置有开设在伸缩板上的传输腔，所述传输腔连通连通腔和排气单向阀，所述内环上设置有凸起，当所述凸起与分隔板接触时，所述连通孔与条形孔连通。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆CP测试装置，其特征在于：所述气动控制组件包括转动连接在内筒内的旋转盘、螺纹连接在旋转盘内部的导流筒以及与伸缩板下侧面连通的排气桶，所述导流筒内部设置有凸板，所述凸板的长度小于排气桶的长度，所述凸板侧面开设有导向槽，所述排气桶固定在伸缩板上并插接在导向槽内，所述伸缩板连接有用于驱动旋转盘转动的旋转电机；
6.根据权利要求5所述的一种晶圆CP测试装置，其特征在于：所述气动夹爪包括密封固定在伸缩板上的气动传输板以及固定在气动传输板远离升降板一侧的弧形板，所述弧形板自上下中位置开设有供晶圆放入的空间，所述空间内设置有固定在弧形板上的多个弹性气囊；
7.根据权利要求6所述的一种晶圆CP测试装置，其特征在于：所述伸缩板开设有与排气单向阀连通的加压通道，所述加压通道连通传输腔。
8.根据权利要求7所述的一种晶圆CP测试装置，其特征在于：所述伸缩直线模组底部设置有与固定轴连接的固定块，所述伸缩直线模组下侧面设置有两个固定板，所述固定板开设有滑槽，所述伸缩板滑动连接在滑槽内。
9.根据权利要求1所述的一种晶圆CP测试装置，其特征在于：所述旋转柱底部设置有转动盘，所述转动盘转动连接有固定在壳体上的底座，所述底座设置有用于驱动旋转柱转动的驱动电机。
10.根据权利要求9所述的一种晶圆CP测试装置，其特征在于：所述旋转柱圆周侧面设置有三个升降直线模组，所述升降直线模组连接升降板。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆cp测试装置，包括壳体、探针测试模块、放料晶舟盒和储料晶舟盒，所述探针测试模块位于壳体内，所述放料晶舟盒和储料晶舟盒可拆卸固定在壳体内，其特征在于：所述壳体内设置有能够旋转调节角度的旋转柱，所述旋转柱上设置有三个能够实现升降位移调节的升降板，所述升降板上设置有伸缩直线模组，所述伸缩直线模组以旋转柱为中心呈圆形阵列，所述伸缩直线模组连接有充压组件，所述充压组件远离升降板的一侧连接有气动夹爪，所述充压组件底部设置有与气动夹爪连通的气动控制组件，所述气动控制组件连通有位于充压组件上的稳压组件，所述稳压组件连通充压组件，所述稳压组件能够基于气动夹爪所需气压为气动夹爪自动补压；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆cp测试装置，其特征在于：所述充压组件包括伸缩板、固定轴以及活塞，所述伸缩板开设有充压腔，所述伸缩板连接在伸缩直线模组，所述固定轴固定在伸缩直线模组上，且所述固定轴一端密封伸入充压腔内，所述活塞位于充压腔内并连接在固定轴上，所述伸缩板沿位移方向的两端均设置有与充压腔导通的进气单向阀，所述进气单向阀一侧设置有位于伸缩板上的排气单向阀，所述排气单向阀分别连通稳压组件和充压腔。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆cp测试装置，其特征在于：所述伸缩板底部开设有圆形腔，稳压组件包括转动密封连接在圆形腔内的外环、密封设置于圆形腔的内筒、转动密封连接在内筒上的内环、密封固定在圆形腔上的两个分隔板以及固定在内环上的旋转板，所述内筒与圆形腔同轴心设置，所述分隔板与内环和外环密封接触，所述旋转板另一侧固定在外环上，所述旋转板密封接触圆形腔上下侧壁，以将圆形腔分隔为连通腔、保压腔和加压腔，所述连通腔连通排气单向阀；
4.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴卓鸿，许金戈，周桃平，
申请(专利权)人：无锡芯启博科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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