一种晶圆检测设备及晶圆检测方法技术

本发明专利技术提供一种晶圆检测设备及晶圆检测方法，涉及晶圆检测领域。一种晶圆检测设备，包括操作台，所述操作台的上侧表面固定连接有防护罩，所述操作台上侧表面的右侧固定连接有支架，所述操作台上侧表面左侧的前后两方均固定连接有支撑板，后侧的所述支撑板的右侧表面转动连接有两个丝杆，两个所述丝杆的杆壁均螺纹连接有移动板，上侧的所述移动板的下侧表面固定连接有喷气壳。本发明专利技术通过设置喷气壳和吸气壳，在晶圆进行检测的时候，喷气壳将晶圆表面的灰尘吹下，而吸气壳接着将吹出的灰尘进行吸收，从而避免灰尘会再次落在晶圆的表面或者操作台上，干扰检测结果，保持防护罩内部环境的洁净。洁净。洁净。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆检测设备及晶圆检测方法


[0001]本专利技术涉及晶圆检测领域，具体为一种晶圆检测设备及晶圆检测方法。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点，同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点。
[0003]晶圆测试是对晶片上的每个晶粒进行针测，在检测头装上以金线制成细如毛发之探针，与晶粒上的接点接触，测试其电气特性，不合格的晶粒会被标上记号，而后当晶片以晶粒为单位切割成独立的晶粒时，标有记号的不合格晶粒会被淘汰，不再进行下一个制程，以免徒增制造成本。
[0004]现有的晶圆在进行检测的时候，由于晶圆的表面容易沾上灰尘，从而在进行检测的时候容易影响检测的结果，并且现有的清理方式，通过喷头将晶圆表面的灰尘吹出，但是在使用的时候，灰尘容易分散在空气中，从而在灰尘落下的时候，灰尘仍然容易回落到晶圆的表面，从而导致灰尘清理得不够彻底。

技术实现思路

[0005](一)解决的技术问题
[0006]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种晶圆检测设备及晶圆检测方法，解决了现有的晶圆在进行检测的时候，由于晶圆的表面容易沾上灰尘，从而在进行检测的时候容易影响检测的结果，并且现有的清理方式，通过喷头将晶圆表面的灰尘吹出，但是在使用的时候，灰尘容易分散在空气中，从而在灰尘落下的时候，灰尘仍然容易回落到晶圆的表面，从而导致灰尘清理得不够彻底的问题。
[0007](二)技术方案
[0008]为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种晶圆检测设备，包括操作台，所述操作台的上侧表面固定连接有防护罩，所述操作台上侧表面的右侧固定连接有支架，所述操作台上侧表面左侧的前后两方均固定连接有支撑板，后侧的所述支撑板的右侧表面转动连接有两个丝杆，两个所述丝杆的杆壁均螺纹连接有移动板，上侧的所述移动板的下侧表面固定连接有喷气壳，下侧的所述移动板的下侧表面固定连接有吸气壳，所述吸气壳的下侧表面和左侧表面与喷气壳的右侧表面均开设有多个风口，所述支架右侧表面的后侧开设有第一空腔，所述第一空腔的内部设置有驱动机构。
[0009]优选的，所述驱动机构包括两个直齿轮，两个所述丝杆的右端均贯穿支架内壁的
右侧至第一空腔的内部，两个所述丝杆杆壁的右侧均与直齿轮的内壁固定连接，所述支架的右侧表面固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端贯穿支架的右侧表面至第一空腔的内部，所述驱动电机的输出端与下侧的丝杆的右端固定连接，两个所述直齿轮的后侧表面共同啮合连接有传动齿轮，所述第一空腔内壁的左右两侧均开设有第一凹槽，两个所述第一凹槽的内部均设置有移动块，两个所述移动块的相对一侧表面共同转动连接有支杆，所述支杆的杆壁与传动齿轮的内壁固定连接。
[0010]进一步，右侧的所述第一凹槽内壁的前后两侧共同转动连接有螺杆，右侧的所述移动块的前侧表面开设有螺纹口，所述螺纹口的内壁与螺杆的杆壁螺纹连接，所述操作台右侧表面位于第一空腔的前侧开设有第二空腔，所述第二空腔的内壁固定连接有马达，所述马达的输出端贯穿第二空腔内壁的后侧至第一空腔的内部，所述马达的输出端与螺杆的前端固定连接。
[0011]更进一步，左侧的所述第一凹槽内壁的前后两侧共同固定连接有第一滑竿，左侧的所述移动块的前侧表面开设有第一圆口，所述第一滑竿的内壁与第一圆口的内壁滑动连接。
[0012]更加进一步，前侧的所述支撑板的右侧表面和支架内壁右侧的前方共同固定连接有两个第二滑竿，两个所述移动板左侧表面的前侧均开设有第二圆口，两个所述第二圆口的内壁分别与相对应的第二滑竿的杆壁滑动连接。
[0013]更加进一步，所述操作台上侧表面固定连接有两个电动滑轨，两个所述电动滑轨的内壁均通过电动滑块滑动连接有移动台，所述移动台的上方设置有检测台，所述检测台的上侧表面设置有夹紧装置，所述移动台的上侧表面开设有第二凹槽，所述第二凹槽的内部设置有转动装置。
[0014]更加进一步，所述转动装置包括齿环，所述齿环的上侧表面与检测台的下侧表面固定连接，所述齿环的四周均啮合连接有驱动齿轮，多个所述驱动齿轮的下侧表面均固定连接有传动杆，所述移动台的四周开设有第三空腔，多个所述传动杆的下端均贯穿第二凹槽内壁的下侧至第三空腔的内部，多个所述传动杆杆壁的下侧均固定连接有链轮，多个所述链轮的表面共同通过链条转动连接，所述移动台的左侧表面开设有第四空腔，所述第四空腔的内壁固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端贯穿第四空腔内壁的上侧至第三空腔的内部，所述伺服电机的输出端与左侧的传动杆的下端固定连接。
[0015]更加进一步，所述第二凹槽内壁的下侧开设有环形滑槽，所述环形滑槽的内壁通过环形滑块与齿环的下侧表面滑动连接。
[0016]更加进一步，所述支架内壁的上侧固定连接有电动缸，所述电动缸的输出端固定连接有检测部件。
[0017]一种晶圆检测方法，具体操作步骤如下：
[0018]S1、对装置中需要进行通电的设备接通外接电源，将需要进行检测的晶圆放在检测台上，通过夹紧装置进行夹持保持稳定，启动马达带动螺杆进行转动，从而使得移动块带动支杆上的传动齿轮进行移动，使得传动齿轮移动到与两个直齿轮啮合的位置，在第一滑竿的作用下，使得传动齿轮在进行移动的时候保持稳定；
[0019]S2、启动驱动电机带动下方的直齿轮进行转动，从而通过传动齿轮的传动带动上方的直齿轮进行移动，使得两个丝杆上的移动板分别带动喷气壳和吸气壳进行移动，在第
二滑竿的作用下，岸边从hi两个移动板在进行移动时候的稳定的，并且对喷气壳与外部的风机进行连接，吸气壳与外部的气泵进行连接，从而在喷气壳和吸气壳移动的时候，喷气壳将晶圆表面的杂质吹出，而吸气壳将吹出的杂质快速进行吸收；
[0020]S3、清洁完成后，将喷气壳和吸气壳均移动至靠近支撑板的位置，启动驱动电机带动下方的直齿轮进行转动，从而在传动齿轮的传动下，带动上方的直齿轮同时进行转动，从而使得两个丝杆同时进行移动，带动喷气壳和吸气壳进行移动，当喷气壳移动至最左方的时候，关闭驱动电机，启动马达，带动传动齿轮远离两个直齿轮，从而在传动齿轮的转动下，带动吸气壳移动至最左方；
[0021]S4、对晶圆进行检测，启动电动缸和检测部件，在电动缸的作用下，带动检测部件靠近检测的位置，并且启动电动滑轨，带动晶圆移动至检测部件的下方，在晶圆进行检测的时候，启动伺服电机，通过链条带动所有的传动杆上的链轮进行转动，从而带动所有的驱动齿轮进行转动，带动检测台上的齿环进行转动，从而使得晶圆在进行检测的时候可以进行全面检测本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆检测设备，包括操作台(1)，其特征在于：所述操作台(1)的上侧表面固定连接有防护罩(29)，所述操作台(1)上侧表面的右侧固定连接有支架(2)，所述操作台(1)上侧表面左侧的前后两方均固定连接有支撑板(3)，后侧的所述支撑板(3)的右侧表面转动连接有两个丝杆(4)，两个所述丝杆(4)的杆壁均螺纹连接有移动板(5)，上侧的所述移动板(5)的下侧表面固定连接有喷气壳(6)，下侧的所述移动板(5)的下侧表面固定连接有吸气壳(7)，所述吸气壳(7)的下侧表面和左侧表面与喷气壳(6)的右侧表面均开设有多个风口(8)，所述支架(2)右侧表面的后侧开设有第一空腔，所述第一空腔的内部设置有驱动机构。2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测设备，其特征在于：所述驱动机构包括两个直齿轮(9)，两个所述丝杆(4)的右端均贯穿支架(2)内壁的右侧至第一空腔的内部，两个所述丝杆(4)杆壁的右侧均与直齿轮(9)的内壁固定连接，所述支架(2)的右侧表面固定连接有驱动电机(20)，所述驱动电机(20)的输出端贯穿支架(2)的右侧表面至第一空腔的内部，所述驱动电机(20)的输出端与下侧的丝杆(4)的右端固定连接，两个所述直齿轮(9)的后侧表面共同啮合连接有传动齿轮(10)，所述第一空腔内壁的左右两侧均开设有第一凹槽，两个所述第一凹槽的内部均设置有移动块(11)，两个所述移动块(11)的相对一侧表面共同转动连接有支杆(12)，所述支杆(12)的杆壁与传动齿轮(10)的内壁固定连接。3.根据权利要求2所述的一种晶圆检测设备，其特征在于：右侧的所述第一凹槽内壁的前后两侧共同转动连接有螺杆(13)，右侧的所述移动块(11)的前侧表面开设有螺纹口，所述螺纹口的内壁与螺杆(13)的杆壁螺纹连接，所述操作台(1)右侧表面位于第一空腔的前侧开设有第二空腔，所述第二空腔的内壁固定连接有马达(14)，所述马达(14)的输出端贯穿第二空腔内壁的后侧至第一空腔的内部，所述马达(14)的输出端与螺杆(13)的前端固定连接。4.根据权利要求3所述的一种晶圆检测设备，其特征在于：左侧的所述第一凹槽内壁的前后两侧共同固定连接有第一滑竿(15)，左侧的所述移动块(11)的前侧表面开设有第一圆口，所述第一滑竿(15)的内壁与第一圆口的内壁滑动连接。5.根据权利要求1所述的一种晶圆检测设备，其特征在于：前侧的所述支撑板(3)的右侧表面和支架(2)内壁右侧的前方共同固定连接有两个第二滑竿(16)，两个所述移动板(5)左侧表面的前侧均开设有第二圆口，两个所述第二圆口的内壁分别与相对应的第二滑竿(16)的杆壁滑动连接。6.根据权利要求1所述的一种晶圆检测设备，其特征在于：所述操作台(1)上侧表面固定连接有两个电动滑轨(17)，两个所述电动滑轨(17)的内壁均通过电动滑块滑动连接有移动台(18)，所述移动台(18)的上方设置有检测台(19)，所述检测台(19)的上侧表面设置有夹紧装置(21)，所述移动台(18)的上侧表面开设有第二凹槽，所述第二凹槽的内部设置有转动装置。7.根据权利要求6所述的一种晶圆检测设备，其特征在于：所述转动装置包括齿环(22)，所述齿环(22)的上侧表面与检测台(19)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾卫民，张梅，吴熙文，周桃平，
申请(专利权)人：无锡芯启博科技有限公司，
类型：发明
国别省市：