一种芯片划片自动喷液装置制造方法及图纸

技术编号:32516319 阅读:44 留言:0更新日期:2022-03-02 11:11
本发明专利技术公开了一种芯片划片自动喷液装置,包括壳体、匚形架、液箱、出液管和雾化喷头,所述雾化喷头安装在匚形架上,还包括有喷液组件,所述喷液组件安装在壳体内,且通过出液管连接至雾化喷头;以及调节组件,所述调节组件与匚形架连接,用于带动匚形架作往复运动;还包括有驱动组件;通过驱动电机转动盘转动,进而带动转动盘之间的曲轴和曲轴上轴套转动,进而通过连接杆带动活塞杆往复运动,从而推动活塞板往复运动,使得活塞筒内的气压周期性变化,活塞筒内气压降低时,液箱内的溶液依次穿过输送管、分流管、进液管,送至活塞筒内,活塞筒内的气压增大时,活塞通过内的溶液通过出液管、雾化喷嘴喷出,或者通过回流管流回液箱,从而实现持续自动喷液液。而实现持续自动喷液液。而实现持续自动喷液液。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片划片自动喷液装置


[0001]本专利技术涉及一种喷液装置,具体是一种芯片划片自动喷液装置。

技术介绍

[0002]集成电路英语:integrated circuit,缩写作 IC;或称微电路(microcircuit)、微芯片(microchip)、晶片/芯片(chip),在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备,也包括被动组件等)小型化的方式,并时常制造在半导体晶圆表面上。
[0003]砂轮划片机的主要功能包括对准和切割,对准的目的是寻找需求切割的位置,即刀片切 割的位置。切割的目的是沿着对准的位置,将芯片分离成单独的颗粒。
[0004]对芯片进行划片加工时,需要对芯片表面喷洒保护液,防止芯片氧化,现有的自动喷液装置无法持续喷液,且喷射范围无法完全覆盖芯片表面,进而影响芯片加工的合格率,存在一定的不足。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种芯片划片自动喷液装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种芯片划片自动喷液装置,包括壳体、匚形架、液箱、出液管和雾化喷头,所述雾化喷头安装在匚形架上,还包括有喷液组件,所述喷液组件安装在壳体内,且通过出液管连接至雾化喷头;以及调节组件,所述调节组件与匚形架连接,用于带动匚形架作往复运动;以及驱动组件,所述驱动组件安装在壳体内,用于驱动喷液组件以及调节组件运转。
[0007]作为本专利技术进一步的方案:所述驱动组件包括有传动单元,所述传动单元分别连接至喷液组件和调节组件,所述传动单元带动喷液组件将液箱内的输送至雾化喷头,同时带动调节组件驱动匚型架沿设定方向运动;以及驱动单元,所述驱动单元安装在壳体内部,且与传动单元连接,所述驱动单元包括有驱动部件以及驱动传动单元转动的曲轴。
[0008]作为本专利技术再进一步的方案:所述喷液组件包括有连接机构以及驱动机构,所述连接机构一端与驱动单元连接,另一端连接至驱动机构,所述驱动机构上安装有回流管以及输送管,且回流管个输送管另一端均与液箱连接,所述驱动机构用于驱动液箱内的溶液通过出液管输送至雾化喷头。
[0009]作为本专利技术再进一步的方案:所述连接机构包括有轴套以及连接杆,所述轴套与曲轴转动连接,所述曲轴的外表面与连接杆的一端固定连接,所述连接杆的另一端通过销轴与驱动机构连接。
[0010]作为本专利技术再进一步的方案:所述驱动机构包括有活塞筒、活塞杆和活塞板,所述活塞杆的另一端贯穿活塞筒且延伸至活塞筒内与活塞板的一侧固定连接,所述活塞板与活
塞筒内壁滑动连接,所述活塞筒远离活塞杆的一端开设有进液口、第一出液口和第二出液口,所述输送管的一端贯穿液箱顶板且延伸至液箱内腔底部,所述输送管的另一端延伸至壳体内与分流管连通,所述分流管表面开设有若干分流孔,所述进液管的一端与分流管上的分流孔相连。
[0011]作为本专利技术再进一步的方案:所述出液管上安装有第二单向阀,所述回流管上安装有第三单向阀,所述第二单向阀和第三单向阀均为电磁阀,且所述第二单向阀和第三单向阀电性连接。
[0012]作为本专利技术再进一步的方案:所述调节组件包括不完全齿轮、直齿轮、齿条、第一转杆、第二转杆和第三转杆,所述不完全齿轮、直齿轮、齿条相互啮合,所述第一转杆的一端安装有不完全齿轮,所述第二转杆远离转动盘的一端通过轴承与壳体内壁转动连接,所述第二转杆的外表面连接至传动单元,所述直齿轮固定套设在第三转杆上,所述第三转杆通过轴承与壳体传动连接。
[0013]与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:1.本专利技术在使用时,通过驱动电机驱动转动盘转动,转动盘之间的曲轴和曲轴上轴套转动,进而通过连接杆带动活塞杆往复运动,从而推动活塞板往复运动,使得活塞筒内的气压周期性变化,活塞筒内气压降低时,液箱内的溶液依次穿过输送管、分流管、进液管,送至活塞筒内,活塞筒内的气压增大时,活塞通过内的溶液通过出液管、雾化喷嘴喷出,或者通过回流管流回液箱,从而实现持续自动喷液液,满足划片机工作需求。
[0014]2.活塞筒设置有多个(附图中为4个),对应的雾化喷头也设置有多个(与活塞筒数量相同),可以将雾化喷头安装在划片机的不同位置,做到全面喷射,由第二单向阀和第三单向阀的相互作用,使得回流管和出液管不会同时开启或关闭,从而灵活控制多个雾化喷嘴的开启与关闭。
[0015]3.通过电机驱动第一转轴转动还会带动不完全齿轮转动,不完全齿轮与齿条啮合时,驱动齿条向前运动,当不完全齿轮与直齿轮啮合时,通过直齿轮与齿条的啮合作用,驱动齿条往后运动,从而实现齿条的前后往复运动,进一步的,带动匚形架前后往复运动,从而扩大匚形架上的雾化喷嘴的喷射范围。
附图说明
[0016]图1为一种芯片划片自动喷液装置的结构示意图。
[0017]图2为图1中A

A的剖视图。
[0018]图3为一种芯片划片自动喷液装置中不完全齿轮的结构示意图。
[0019]附图中的标注分别为:1、壳体;2、转动盘;3、曲轴;4、轴套;5、连接杆;6、活塞杆;7、活塞板;8、活塞筒;9、液箱;10、进液管;11、分流管;12、回流管;13、输送管;14、出液管;15、雾化喷嘴;16、第一单向阀;17、第二单向阀;18、第三单向阀;19、不完全齿轮;20、直齿轮;21、齿条;22、第一转杆;23、主动轮;24、从动轮;25、皮带;26、第二转杆;27、第三转杆;28、匚形架。
具体实施方式
[0020]下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。
[0021]请参阅图1

3,作为本专利技术的一个实施例,一种芯片划片自动喷液装置,包括壳体1、匚形架28、液箱9、出液管14和雾化喷头,所述雾化喷头安装在匚形架28上,还包括有喷液组件,所述喷液组件安装在壳体1内,且通过出液管14连接至雾化喷头;以及调节组件,所述调节组件与匚形架28连接,用于带动匚形架28作往复运动;以及驱动组件,所述驱动组件安装在壳体1内,用于驱动喷液组件以及调节组件运转。
[0022]在本实施例中,驱动组件分别连接有调节组件和喷液组件,驱动组件工作时带动喷液组件将液箱9内的溶液输送至喷头,完成对芯片划片的喷漆,同时驱动组件带动调节组件运转,调节组将带动匚形架28前后往复运动,从而扩大匚形架28上的雾化喷嘴15的喷射范围。
[0023]作为本专利技术的一个实施例,所述驱动组件包括有传动单元,所述传动单元分别连接至喷液组件和调节组件,所述传动单元带动喷液组件将液箱9内的输送至雾化喷头,同时带动调节组件驱动匚型架沿设定方向运动;以及驱动单元,所述驱动单元安装在壳体1内部,且与传动单元连接,所述驱动单元包括有驱动部件以及驱动传动单元转动的曲轴3。
[0024]在本实施例中,所述驱动单元设有两组,且对称设置,所述驱动部件可以为曲柄摇杆机构或电机与转动盘2配合等,这里选取电机与转动盘2配合,所述转动盘2与电机输出端连接,所述曲轴3两端与转动盘2本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片划片自动喷液装置,包括壳体、匚形架、液箱、出液管和雾化喷头,所述雾化喷头安装在匚形架上,其特征在于,还包括有喷液组件,所述喷液组件安装在壳体内,且通过出液管连接至雾化喷头;以及调节组件,所述调节组件与匚形架连接,用于带动匚形架作往复运动;以及驱动组件,所述驱动组件安装在壳体内,用于驱动喷液组件以及调节组件运转。2.根据权利要求1所述的一种芯片划片自动喷液装置,其特征在于,所述驱动组件包括有传动单元,所述传动单元分别连接至喷液组件和调节组件,所述传动单元带动喷液组件将液箱内的输送至雾化喷头,同时带动调节组件驱动匚型架沿设定方向运动;以及驱动单元,所述驱动单元安装在壳体内部,且与传动单元连接,所述驱动单元包括有驱动部件以及驱动传动单元转动的曲轴。3.根据权利要求1所述的一种芯片划片自动喷液装置,其特征在于,所述喷液组件包括有连接机构以及驱动机构,所述连接机构一端与驱动单元连接,另一端连接至驱动机构,所述驱动机构上安装有回流管以及输送管,且回流管个输送管另一端均与液箱连接,所述驱动机构用于驱动液箱内的溶液通过出液管输送至雾化喷头。4.根据权利要求3所述的一种芯片划片自动喷液装置,其特征在于,所述连接机构包括有轴套以及连接杆,所述轴套与曲轴转动连接,所述曲轴的外...

【专利技术属性】
技术研发人员:章泽润
申请(专利权)人:无锡芯坤电子科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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