微型发光二极管巨量转移装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种微型发光二极管巨量转移装置，包括载台以及旋转转塔，载台具有取料位、贴装位、以及在取料位内可活动的第一活动载具和在贴装位内可活动的第二活动载具；取料位用于安装晶圆盘，贴装位用于安装基板；旋转转塔具有沿竖直方向延伸设置的转塔本体和环设于述转塔本体周侧的旋转体，旋转体上沿竖直方向设置有多个吸嘴单元，多个所述吸嘴单元沿旋转体竖直方向可上下移动。本发明专利技术提出的微型发光二极管巨量转移装置结构简单，贴装位置准确，且多个吸嘴单元在转移微晶粒过程中能实现吸嘴单元和微晶粒的提升避位和下压取放，能同时进行微晶粒的拾取

【技术实现步骤摘要】
微型发光二极管巨量转移装置


[0001]本专利技术涉及半导体显示
，特别涉及一种微型发光二极管巨量转移装置。

技术介绍

[0002]随着发光二极管尺寸的减少，在同一个面板上需要贴装的二极管数量急剧上升，然而现有的SMT贴片设备或者是固晶类设备通常都需要经历取料
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矫正
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贴装这一系列流程才能完成一次物料的转移贴装，因此一个面板大概需要数小时到数天不等才能完成二极管的巨量转移，因此当需要贴装的二极管数量急剧上升时，生产的周期就大大加长了。为了解决这一问题，目前大多采用多个贴装头协同作业来完成取料和贴装的工艺，但是多个贴装头协同作业实现的设备结构复杂，且贴装头相互间的动作，容易产生干涉，例如相互振动干扰、刮碰等，这些对贴装的良率影响较大，造成不良品率高，不仅严重浪费，而且反过来制约了生产效率。

技术实现思路

[0003]本专利技术的主要目的是提出一种微型发光二极管巨量转移装置，旨在降低二极管的不良品率以及提高其生产效率。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提出了一种微型发光二极管巨量转移装置，包括：
[0005]载台，具有取料位、贴装位、以及在所述取料位内可活动的第一活动载具和在所述贴装位内可活动的第二活动载具；所述第一活动载具用于安装晶圆盘，所述第二活动载具用于安装基板，所述取料位具有拾取点，所述贴装位具有贴装点；
[0006]旋转转塔，所述旋转转塔设置于所述载台的上方，所述旋转转塔具有沿竖直方向延伸设置的转塔本体和环设于所述转塔本体周侧的旋转体，所述旋转体上沿周向阵列设置有多个沿竖直方向延伸设置的吸嘴单元，多个所述吸嘴单元沿所述旋转体竖直方向可上下移动；所述转塔本体上设置有环形轨道，每一所述吸嘴单元具有滑动设于所述环形轨道上的滑动件；
[0007]所述环形轨道包括第一曲线段和第二曲线段，所述第一曲线段对应所述取料位设置，所述第二曲线段对应所述贴装位设置，所述旋转体对应所述第一曲线段的区域设置有至少两个所述吸嘴单元，至少两个所述吸嘴单元的滑动件滑动至所述第一曲线段上时，其中一个所述吸嘴单元与其他吸嘴单元相比在竖直方向上的高度相对较低且正对所述拾取点设置；
[0008]所述旋转体对应所述第二曲线段的区域设置有至少两个所述吸嘴单元，至少两个所述吸嘴单元的滑动件滑动至所述第二曲线段上时，至少一个所述吸嘴单元与其他吸嘴单元相比在竖直方向上的高度相对较低且正对所述贴装点设置。
[0009]可选地，所述环形轨道还包括连接所述第二曲线段以及所述第一曲线段的第三曲线段，所述第三曲线段包括相互连接的上升段和下降段，所述上升段的一端与所述第一曲线段的一端连接，所述下降段的一端与所述第二曲线段连接。
[0010]可选地，所述环形轨道包括一体连接且在竖直方向上具有高度差的圆弧形第一轨道和圆弧形第二轨道，所述第一曲线段位于所述第一轨道，所述第二曲线段位于所述第二轨道；
[0011]所述第一轨道和所述第二轨道的连接点为所述环形轨道的两最高点，两所述最高点对称设置于所述转塔本体的两侧且置于同一水平面，所述第一轨道在竖直方向上的最低点与所述拾取点相对设置，以使其中一所述吸嘴单元滑动至所述第一轨道的最低点时置于所述拾取点的正上方；
[0012]所述第二轨道在竖直方向上的最低点与所述贴装点相对设置，以使其中一所述吸嘴单元滑动至所述第二轨道的最低点时置于所述贴装点的正上方。
[0013]可选地，所述载台包括间隔设置的第一承载座和第二承载座，所述第一活动载具活动安装于所述第一承载座，所述第二活动载具活动安装于所述第二承载座；
[0014]所述第一承载座和所述第二承载座相对设置。
[0015]可选地，所述第一活动载具包括第一驱动组件，第一驱动组件包括第一X轴移动组件、第一Y轴移动组件，所述第一X轴移动组件和所述第一Y轴移动组件分别用于驱动所述晶圆盘沿X轴、Y轴方向移动；
[0016]所述第二活动载具包括第二驱动组件，所述第二驱动组件包括第二X轴移动组件、第二Y轴移动组件，所述第二X轴移动组件和所述第二Y轴移动组件分别用于驱动所述基板沿X轴、Y轴方向移动。
[0017]可选地，所述第一活动载具还包括：
[0018]第一安装架，用于安装所述第一X轴移动组件；以及
[0019]第一丝杆滑台，沿所述X轴方向延伸设置，所述第一丝杆滑台与所述第一安装架驱动连接，用于驱动所述安装架移动以带动所述第一Y轴移动组件沿所述X轴方向来回移动，所述第一Y轴移动组件朝向所述旋转转塔的一侧设置有所述晶圆盘；
[0020]所述第二活动载具还包括：
[0021]第二安装架，用于安装所述第二X轴移动组件；以及
[0022]第二丝杆滑台，沿所述X轴方向延伸设置，所述第二丝杆滑台与所述第二安装架驱动连接，用于驱动所述安装架移动以带动所述第二Y轴移动组件沿所述X轴方向来回移动，所述第二Y轴移动组件朝向所述旋转转塔的一侧设置有所述基板。
[0023]可选地，所述载台还包括视觉模块，所述视觉模块设置于所述第一承载座或所述第二承载座，并位于所述旋转体的周侧，所述视觉模块具有朝向所述吸嘴单元设置的拍照口。
[0024]可选地，所述旋转体对应各个所述吸嘴单元设置有对应的导向孔，所述导向孔沿竖直方向延伸设置；
[0025]每一所述吸嘴单元具有真空管以及吸嘴，所述真空管沿竖直方向插设于所述导向孔，所述吸嘴连接于所述真空管朝向所述载台的一端，所述真空管与所述滑动件固定连接，所述真空管的另一端用于与真空发生器连通，以对所述真空管抽真空使所述吸嘴拾取微晶粒。
[0026]可选地，所述转塔本体为圆柱凸轮，所述环形轨道为环设于所述圆柱凸轮上的凸轮槽。
[0027]可选地，所述微型发光二极管巨量转移装置还包括多个所述点胶管，多个所述点胶管与多个所述吸嘴单元沿所述旋转体的周向交错设置。
[0028]本专利技术提出的微型发光二极管巨量转移装置将包含多个微晶粒的晶圆盘直接承载在第一活动载具；旋转转塔上具有竖直方向延伸设置的转塔本体和环设于转塔本体周侧的旋转体，旋转体上沿竖直方向设置有多个吸嘴单元，转塔本体上设置有环形轨道，每一吸嘴单元具有滑动设于环形轨道上的滑动件。环形轨道包括第一曲线段和第二曲线段，第一曲线段对应取料位设置，第二曲线段对应贴装位设置，旋转体对应第一曲线段的区域设置有至少两个吸嘴单元，至少两个吸嘴单元的滑动件滑动至第一曲线段上时，其中一个吸嘴单元与其他吸嘴单元相比在竖直方向上的高度相对较低，并对晶圆盘上的微晶粒进行拾取，而与该吸嘴单元相邻的其他吸嘴单元的高度比该吸嘴单元的高度高，使得置于第一曲线段内的其中一个吸嘴单元在吸取物料时，其他的吸嘴单元的底部不会与晶圆盘发生碰触，实现取料避位，降低产品的不良率。相应的，第二曲线段的区域设置有至少两个吸嘴单元，至少两个吸嘴单元的滑动件滑动至第二曲线段上时，其中一个吸嘴单元与其他吸嘴单元相比在竖直方向上的高度相对较低，且该吸嘴单元用于将吸附的微晶粒贴装在基板上，此时，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微型发光二极管巨量转移装置，其特征在于，包括：载台，具有取料位、贴装位、以及在所述取料位内可活动的第一活动载具和在所述贴装位内可活动的第二活动载具；所述第一活动载具用于安装晶圆盘，所述第二活动载具用于安装基板，所述取料位具有拾取点，所述贴装位具有贴装点；旋转转塔，所述旋转转塔设置于所述载台的上方，所述旋转转塔具有沿竖直方向延伸设置的转塔本体和环设于所述转塔本体周侧的旋转体，所述旋转体上沿周向阵列设置有多个沿竖直方向延伸设置的吸嘴单元，多个所述吸嘴单元沿所述旋转体竖直方向可上下移动；所述转塔本体上设置有环形轨道，每一所述吸嘴单元具有滑动设于所述环形轨道上的滑动件；所述环形轨道包括第一曲线段和第二曲线段，所述第一曲线段对应所述取料位设置，所述第二曲线段对应所述贴装位设置，所述旋转体对应所述第一曲线段的区域设置有至少两个所述吸嘴单元，至少两个所述吸嘴单元的滑动件滑动至所述第一曲线段上时，其中一个所述吸嘴单元与其他吸嘴单元相比在竖直方向上的高度相对较低且正对所述拾取点设置；所述旋转体对应所述第二曲线段的区域设置有至少两个所述吸嘴单元，至少两个所述吸嘴单元的滑动件滑动至所述第二曲线段上时，至少一个所述吸嘴单元与其他吸嘴单元相比在竖直方向上的高度相对较低且正对所述贴装点设置。2.如权利要求1所述的微型发光二极管巨量转移装置，其特征在于，所述环形轨道还包括连接所述第二曲线段以及所述第一曲线段的第三曲线段，所述第三曲线段包括相互连接的上升段和下降段，所述上升段的一端与所述第一曲线段的一端连接，所述下降段的一端与所述第二曲线段连接。3.如权利要求1所述的微型发光二极管巨量转移装置，其特征在于，所述环形轨道包括一体连接且在竖直方向上具有高度差的圆弧形第一轨道和圆弧形第二轨道，所述第一曲线段位于所述第一轨道，所述第二曲线段位于所述第二轨道；所述第一轨道和所述第二轨道的连接点为所述环形轨道的两最高点，两所述最高点对称设置于所述转塔本体的两侧且置于同一水平面，所述第一轨道在竖直方向上的最低点与所述拾取点相对设置，以使其中一所述吸嘴单元滑动至所述第一轨道的最低点时置于所述拾取点的正上方；所述第二轨道在竖直方向上的最低点与所述贴装点相对设置，以使其中一所述吸嘴单元滑动至所述第二轨道的最低点时置于所述贴装点的正上方。4.如权利要求1所述的微型发光二极管巨量转移装置，其特征在于，所述载台包括间隔设置的第一承载座和第二承载座，所述第一活动载具活动安装于...

【专利技术属性】
技术研发人员：李瑞，
申请(专利权)人：广东省傲来科技有限公司，
类型：发明
国别省市：