部件供给装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种部件供给装置，其不会使装置长时间地停止，而变更用于推顶贴合于粘合片上的管芯的推针。将贴合于粘合片上的切割晶圆Ｗ定位于规定位置上，使安装于推顶头（４０）上的推针（５０）从粘合片的下方推顶，从而使构成该切割晶圆的管芯Ｄ剥离，同时利用吸附头（３０）从上方吸附保持该管芯后，向表面安装装置侧供给，在该部件供给装置中，前述推顶头（４０）是可以利用旋转驱动单元以水平方向的旋转轴为中心进行旋转的旋转体，在该旋转体的周围，以规定的旋转角度间隔，朝向与旋转轴正交的方向安装不同类型的推针（５０）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种部件供给装置，其具有用于使贴合于粘合片上的 管芯剥离的推针。
技术介绍
作为将对形成电路的硅晶圆切割而形成的管芯(电子部件)向表 面安装装置供给的部件供给装置，己知下述装置，其利用吸附头，从 处于被定位于规定位置上且贴合在粘合片上的状态的切割晶圆，吸附 保持管芯并依次供给。在这种部件供给装置中，例如，如专利文献l所记载，由于管芯 贴合于粘合片上，仅通过由吸附头从上方吸附不能进行保持，因此， 通过使安装于推顶头上的推针同时从粘合片的下方向上方推顶该管 芯，可以使目标管芯剥离，从而可靠地进行吸附保持。并且，在上述 专利文献1中，设置下述的推顶头，其为了防备推针的折断等而在多 个位置上安装规定数量的推针，通过使位置变化而选择要利用的推 针。另一方面，安装于推顶头上的推针，根据所处理的管芯大小而其数量不同， 一般地，准备有安装1根推针的小尺寸用的，及安装4根 推针的大尺寸用的等多种。并且，在供给的管芯尺寸改变的情况下， 必须从当前使用的推针配置(推针类型)变更为其他的推针配置。 专利文献l:特开平7 — 74188号公报
技术实现思路
但是，在现有的部件供给装置中，由于推针机械地安装在推顶头上， 因此在变更推针类型的情况下，在将推针从该推顶头卸下，更换为其他 的推针后，必须进行推针的高度调整及对正调整，从而在每次更换推针时，都必须使装置长时间地停止，因此存在不可避免地使生产效率下降 的问题。特别地，在准备形成有大小尺寸不同的管芯的多个切割晶圆，例如 在同一个基板上交互地混合搭载尺寸不同的管芯的情况下，除了准备安 装不同的推针的2台装置的情况之外，必须将运转动作分为2次，在中 途更换推针，因此存在生产性显著下降的问题。并且，这些推针类型的变更，即使在上述专利文献l所记载的结构 中，也同样必须进行，此外，在专利文献1所记载的装置中，由于是使 推顶头以垂直轴为中心在水平方向上旋转的结构，因此必须设置较大的空间以进行旋转，从而存在很难适用于小型装置的问题。本专利技术就是为了解决前述现有的问题点而提出的，其目的在于，不 会使装置长时间地停止，而可以变更为不同类型的推针，同时可以适用 于小型的装置。本专利技术提供一种部件供给装置，其将贴合于粘合片上的切割晶圆定 位于规定位置处，安装于推顶头上的推针从粘合片的下方推顶，从而使 构成该切割晶圆的管芯剥离，同时利用吸附头从上方吸附保持该管芯， 之后向表面安装装置侧供给，其特征在于，前述推顶头是可以利用旋转 驱动单元以水平方向的旋转轴为中心进行旋转的旋转体，在该旋转体的 周围，以规定的旋转角度间隔，朝向与旋转轴正交的方向安装不同类型 的推针。本专利技术还提供一种部件供给装置，其将贴合于粘合片上的切割晶圆 定位于规定位置处，安装于推顶头上的推针从粘合片的下方推顶，从而 使构成该切割晶圆的管芯剥离，同时利用吸附头从上方吸附保持该管芯， 之后向表面安装装置侧供给，其特征在于，前述推顶头是可以利用旋转 驱动单元以水平方向的旋转轴为中心进行旋转的旋转体，在该旋转体的 周围，以规定的旋转角度间隔，朝向与旋转轴正交的方向安装不同类型 的推针，该部件供给装置具有控制单元，其根据从控制表面安装装置的 生产程序读出的管芯尺寸，按照预先设定的旋转角度数据，利用前述旋 转驱动单元使推顶头旋转，从而使对应的推针与推顶方向一致。在本专利技术中，前述推顶头，可以利用XY驱动单元在水平方向上移动。专利技术的效果根据本专利技术，由于在由以水平方向的旋转轴为中心进行旋转的旋转 体构成的推顶头的周围，安装不同类型的推针，因此仅利用旋转驱动单 元，将该推顶头旋转至目标推针与推顶方向一致的角度，就可以变更为 任意推针，从而不会使装置长时间地停止，可以供给尺寸不同的管芯。附图说明图1是表示本专利技术涉及的一个实施方式的部件供给装置与使用 该装置的表面安装装置的关系的概要的俯视图。图2是将本实施方式的部件供给装置的要部放大而表示的斜视图。图3是表示适用于本实施方式的推顶头和所安装的推针的关系 的放大斜视图。图4是说明安装在适用本实施方式的推顶头上的推针的自动识 别的说明图。图5是示出表示推针类型和与其特征相对应的旋转角度的例子 的数据表的说明图。图6是表示本实施方式的作用的流程图。具体实施例方式下面，参照附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。图1是表示本专利技术涉及的一个实施方式的部件供给装置、和使 用该部件供给装置的表面安装装置的关系的概要的俯视图。本实施方式的部件供给装置10，利用后面详述的动作，将管芯 向表面安装装置12供给。该表面安装装置12具有搭载头14，其将供给的管芯吸附保持 后，搭载至被定位的基板(未图示)上；X轴16，其使该搭载头14 在X方向(图中左右方向)上移动；左右的Y轴18，其使该X轴16和搭载头14 一体地在Y方向上移动；基板识别装置20，其设置于该搭载头14上，识别基板标记等；部件识别装置22，其高精度地 识别利用搭载头14吸附保持的管芯；以及输送部24，其输送基板并进行定位。本实施方式的部件供给装置IO具有吸附头30，其从上方吸附 多个管芯D，该管芯D构成贴合于粘合片上的切割晶圆W，被切割 为格子状；第1X轴32，其使该吸附头30在X方向上移动；管芯识 别装置34，其用于在吸附之前，通过图像识别对要吸附的管芯进行 定位；第2X轴36，其使该管芯识别装置34在X方向上移动；左右 Y轴38，其使这两个X轴32、 36分别在Y方向上独立地移动；推 顶头40，其安装有推针，该推针在利用吸附头30吸附管芯D时，从 下侧(粘合片的背侧)推顶该管芯D而使其剥离；以及供给部42， 其为了将由吸附头30吸附保持的管芯D送出至表面安装装置12的 搭载头部14上而进行置载。在本实施方式中，如在图2中将要部抽出所示，利用前述第1X 轴32和Y轴38，使吸附头30移动至切割晶圆W的上方，从而可以 定位于目标管芯D的上方。另外，在切割晶圆W的下方，前述推顶头40可以利用由相同 结构构成的X轴44和Y轴46，定位于目标管芯D的下方。这样，在将各头部30、 40分别定位于同一个管芯D的上方和下 方之后，吸附头30使吸附嘴下降而吸附该管芯D，同时推顶头40 将经由支架48安装的推针50推出，使该管芯D剥离，对从上方的 吸附保持进行辅助。在本实施方式中，如在图3中将利用X轴44和Y轴46可在 XY方向上进行移动的推顶头40抽出而示意地表示所示，该推顶头 40作为正方体形状的旋转体而形成，其可以利用与X轴固定连结的 电动机(旋转驱动单元)52，以水平方向的旋转轴(未明示)为中心 旋转，成为可以在该正方体周围的4个面上，将不同类型的推针50， 在与旋转轴正交的方向上经由支架48安装的结构。为了便于说明， 在这里示出3根支架48，仅对于其中的2根明示出安装有1根和2根推针50这2种类型，其他省略。因此，在将推顶头40定位于管芯吸附位置的下方后，通过利用图示的电动机52向箭头方向旋转90° ，可以将安装于该推顶头40 上的推针50从图3的(A)变更为(B)，通过与管芯尺寸匹配的类 型的推针从下方推顶，从而可以对吸附头30的吸附保持进行辅助。另外，在本实施方式中，可以通过例如螺钉紧固，手动更换支 撑安装于推顶头40上的推针50的支架，使所使用的推针本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种部件供给装置，其将贴合于粘合片上的切割晶圆定位于规定位置处，将安装于推顶头上的推针从粘合片的下方推顶，从而使构成该切割晶圆的管芯剥离，同时利用吸附头从上方吸附保持该管芯，之后向表面安装装置侧供给，其特征在于，　前述推顶头是可以利用 旋转驱动单元以水平方向的旋转轴为中心进行旋转的旋转体，　在该旋转体的周围，以规定的旋转角度间隔，朝向与旋转轴正交的方向安装不同类型的推针。

【技术特征摘要】
JP 2007-11-12 2007-2933071. 一种部件供给装置，其将贴合于粘合片上的切割晶圆定位于规定位置处，将安装于推顶头上的推针从粘合片的下方推顶，从而使构成该切割晶圆的管芯剥离，同时利用吸附头从上方吸附保持该管芯，之后向表面安装装置侧供给，其特征在于，前述推顶头是可以利用旋转驱动单元以水平方向的旋转轴为中心进行旋转的旋转体，在该旋转体的周围，以规定的旋转角度间隔，朝向与旋转轴正交的方向安装不同类型的推针。2. —种部件供给装置，其将贴合于粘合片上的切割晶圆定位于规 定位置处，将安装于推顶头上的推针从...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩濑温资，
申请(专利权)人：JUKI株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]