槽阀组合件及其操作方法技术

本发明专利技术提供一种槽阀组合件，其包括：主体，其包括彼此面向的第一和第二侧，在所述第一和第二侧上分别形成第一和第二开口；第一板，沿第一方向驱动所述第一板以关闭或打开所述第一开口；第二板，其与所述第一板间隔开并与所述第一板平行，所述第二板关闭或打开所述第二开口；以及驱动部分，其用于驱动所述第一和第二板。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种槽阀组合件，且更明确地说，涉及一种用于在制造半导体装置的设 备中打开和关闭腔室的槽阀组合件和 一种操作所述槽阀组合件的方法。
技术介绍
用于制造半导体装置的设备被分成群集型和流线型。在群集型设备中，独立地并行 处理多个衬底。另一方面，在流线型设备中，依序连续处理多个衬底。群集型设备包括负载锁定腔室、多个处理腔室、转移腔室。在负载锁定腔室中存放 衬底。在每一处理腔室中处理衬底。转移腔室与负载锁定腔室和每一处理腔室耦合。将 衬底从负载锁定腔室转移到处理腔室中且从处理腔室转移到负载锁定腔室中。槽阀组合 件安置在负载锁定腔室与转移腔室之间和每一处理腔室与转移腔室之间。槽阀充当狭槽 和例如负载锁定腔室与转移腔室之间和每一处理腔室与转移腔室之间的压力等条件的 控制器。图1是用于制造半导体装置的相关技术群集型设备的示意性平面图。在图1中，群集型设备IO包括负载锁定腔室20、第 到第三处理腔室30、 40和 50、转移腔室60、第一到第四槽阀组合件70a、 70b、 70c和70d。负载锁定腔室20以及第一到第三处理腔室30、 40和50安置在转移腔室60的外侧 以围绕转移腔室60。第一槽阀组合件70a安置在负载锁定腔室20与转移腔室60之间， 且第二到第四槽阀组合件70b到70d分别安置在第一到第三处理腔室30、 40和50中的 每一者与转移腔室60之间。简要阐释群集型设备10中对衬底的处理过程。首先，将衬底(未图示)转移到负 载锁定腔室20中并存放在其中。通过机械手(未图示)穿过转移腔室60将负载锁定腔 室20中的衬底转移到第一到第三处理腔室30、 40和50中的一者中。再次通过机械手 将在处理腔室30、 40和50中所处理的衬底转移到负载锁定腔室20中。在完成对衬底 的所有处理之后，将负载锁定腔室20中的衬底输出到设备10的外部。6分别通过第一到第四槽阀组合件70a到70d打开或关闭负载锁定腔室20与转移腔 室60之间和第一到第三处理腔室30、 40和50中的每一者与转移腔室60之间的空间。 举例来说，当将衬底从设备10的外部转移到负载锁定腔室20中时，通过第一槽阀70a 关闭负载锁定腔室20与转移腔室60之间的空间。当通过机械手将衬底从负载锁定腔室 20转移到转移腔室中时，通过第一槽阀70a打开负载锁定腔室20与转移腔室60之间的 空间。类似地，当通过机械手将衬底从转移腔室60分别转移到第一到第三处理腔室30、 40和50中时，分别通过第二到第四槽阀组合件70b到70d打开转移腔室60与第一到第 三处理腔室30、 40和50中的每一者之间的空间。另一方面，当分别在第一到第三处理 腔室30、 40和50中进行处理时，分别通过第二到第四槽阀组合件70b到70d关闭转移 腔室60与第一到第三处理腔室30、 40和50中的每一者之间的空间。彼此独立地操作 第一到第四槽阀组合件70a到70d。虽然未图示，但槽阀组合件包括各种元件，例如O形环。由于所述元件包括由于连 续使用而消耗的零件，所以所述元件中需要更换或修理过程。这些过程可称为维护或修 理过程。用于槽阀组合件的元件的维护或修理过程在对相应处理腔室进行排气以在其中获 得大气(ATM)条件之后进行。在用于槽阀组合件的元件的维护或修理过程期间，打开 处理腔室与转移腔室之间的槽阀，使得转移腔室也具有ATM条件。当转移腔室具有ATM条件时，存在由于颗粒而使衬底受到污染的问题，使得难以在转移腔室中获得良好的操 作条件。因此，在用于槽阀组合件的元件的维护或修理过程期间，不仅处理腔室停止， 而且转移腔室也停止。因而，设备的工作比率降低，使得半导体装置的生产成本增加。 虽然未作阐释，但在流线型设备中也存在上述问题，原因在于耦合在狭槽组合件两 侧的腔室在用于槽阀组合件的元件的维护或修理过程期间停止。
技术实现思路
因此，本专利技术针对于一种槽阀组合件和一种操作所述槽阀组合件的方法，其实质上 避免了由于相关技术的限制和缺点而引起的问题中的- 一者或一者以上。本专利技术的优点是提供一种槽阀组合件，其能够正常操作而无需在用于槽阀组合件的 维护或修理过程期间停止，以及一种操作所述槽阀组合件的方法。本专利技术的额外特征和优点将在以下描述中陈述，且通过所述描述将明白，或可通过 实践本专利技术而认识到其部分。本专利技术的目的和其它优点将通过在书面描述和其权利要求 书以及附图中明确指出的结构实现和达到。为了实现这些和其它优点且根据本专利技术的目的，如所实施和广义描述的， 一种槽阀 组合件包括主体，其包括彼此面向的第一和第二侧，分别在所述第一和第二侧上形成 第一和第二开口；第一板，沿着第一方向驱动所述第一板以关闭或打开第一开口；第二 板，其与第一板间隔开且与之平行，所述第二板关闭或打开第二开口；以及驱动部分， 其用于驱动第一和第二板。在另一方面中， 一种用于制造半导体装置的设备包括处理腔室，其用于在衬底上 执行半导体装置的制造过程；负载锁定腔室，其用于存放衬底；转移腔室，通过所述转 移腔室将衬底从负载锁定腔室转移到处理腔室或从处理腔室转移到负载锁定腔室；槽阀 组合件，其安置在转移腔室与处理腔室之间和负载锁定腔室与转移腔室之间以打开或阻 断转移腔室与处理腔室之间和负载锁定腔室与转移腔室之间的路径，所述槽阀组合件包 括主体，其包括彼此面向的第一和第二侧，分别在所述第一和第二侧上形成第一和第 二开口，其中所述转移腔室耦合到第一开口，且处理腔室或负载锁定腔室耦合到第二开 口第一板，沿着第一方向驱动所述第一板以关闭或打开第一开口第二板，其与第一 板间隔开且与之平行，所述第二板关闭或打开第二开口；以及驱动部分，其用于驱动第 一和第二板。在另一方面中， 一种操作槽阀组合件的方法包括通过将第-一和第二板安置在最小 高度位置处来打开第一和第二开口，所述第一和第二开口分别形成在主体的第一和第二 侧上，且所述第一和第二板安置在主体中；沿着第一方向驱动第一和第二板以安置在最 大高度位置处，通过第一板关闭第一开口；以及沿着第二方向驱动处于最大高度位置处 的第二板，所述第二方向垂直于第一方向，通过第二板关闭第二开口。在另一方面中， 一种操作槽阀组合件的方法包括通过将第一和第二板安置在最小 高度位置处来打开第一和第二开口，所述第一和第二开口分别形成在主体的第一和第二 侧上，且所述第一和第二板安置在主体中；沿着第一方向驱动第一板以安置在最大高度 位置处，通过第一板关闭第一开口；沿着第一方向驱动第二板以安置在最大高度位置处； 以及沿着第二方向驱动处于最大高度位置处的第二板，所述第二方向垂直于第一方向， 通过第二板关闭第二开口。在另一方面中， 一种操作槽阀组合件的方法包括通过将第一、第二和第三板安置 在最小高度位置处来打开第一、第二和第三开口，所述第一和第二开口分别形成在主体 的第一和第二侧上，第三开口形成在安置于第一与第二侧之间的侧壁处，且第一和第二 板安置在主体中；沿着第一方向驱动第一和第三板以安置在最大高度位置，通过第三板 关闭第三开口；沿着第二方向驱动处于最大高度位置处的第一板，所述第二方向垂直于第一方向，通过第一板关闭第一开口；以及沿着第一方向驱动第二板以安置在最大高度 位置处，通过第二板关闭第二开口。应了解，前述概括描本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种槽阀组合件，其包含：　主体，其包括彼此面向的第一和第二侧，在所述第一和第二侧上分别形成第一和第二开口；　第一板，沿第一方向驱动所述第一板以关闭或打开所述第一开口；　第二板，其与所述第一板间隔开并与所述第一板平行，所述第 二板关闭或打开所述第二开口；以及　驱动部分，其用于驱动所述第一和第二板。

【技术特征摘要】
KR 2007-11-23 10-2007-0120239;KR 2008-8-26 10-20081. 一种槽阀组合件，其包含主体，其包括彼此面向的第一和第二侧，在所述第一和第二侧上分别形成第一和第二开口；第一板，沿第一方向驱动所述第一板以关闭或打开所述第一开口；第二板，其与所述第一板间隔开并与所述第一板平行，所述第二板关闭或打开所述第二开口；以及驱动部分，其用于驱动所述第一和第二板。2. 根据权利要求1所述的槽阀组合件，其中所述第一板被从最小高度位置驱动到最大 高度位置，且其中所述第一板在所述最大高度位置处关闭所述第一开口。3. 根据权利要求2所述的槽阀组合件，其中沿所述第一方向一起驱动所述第二板与所 述第一板，且正沿垂直于所述第一方向的第二方向驱动处于所述最大高度位置处的 所述第二板以关闭所述第二开口。4. 根据权利要求3所述的槽阀组合件，其中所述驱动部分包括第一和第二驱动部分，其用于沿所述第一方向驱动所述第一和第二板； 多个驱动元件，其安置在所述第一板与第二板之间且沿所述第二方向驱动所述第 二板以及控制单元，其控制所述多个驱动元件。5. 根据权利要求4所述的槽阀组合件，其进一步包含固定棒，所述固定棒位于所述第 一侧的内表面处且安置在高于所述第一开口的位置处。6. 根据权利要求5所述的槽阀组合件，其中当所述第一板定位在所述最大高度位置处 时，所述第一板的上端插入到所述固定棒的空间中。7. 根据权利要求6所述的槽阀组合件，其中所述固定棒包括第一部分，其与所述第 二侧间隔开并与所述第二侧并行；以及第二部分，其连接所述第一部分的末端与所 述第二侧，且其中所述空间由所述第二侧与所述第一和第二部分界定。8. 根据权利要求1所述的槽阀组合件，其进一步包含第一压力维持单元，其位于所述第一板的面向所述第一开口的表面上； 第二压力维持单元，其位于所述第二板的面向所述第二开口的表面上；以及 第一和第二支撑件，其支撑所述第一和第二板且连接到所述驱动部分。9. 根据权利要求8所述的槽阀组合件，其进一步包含第三压力维持单元，所述第三压力维持单元位于所述第一开口的边缘上且具有锥形形状，其中所述第一压力维持单 元具有倒锥形形状，且其中当由所述第一板关闭所述第一开口时，所述第一压力维 持单元接触所述第三压力维持单元。10. 根据权利要求1所述的槽阀组合件，其中所述第一和第二板分别具有大于所述第一 和第二开口的尺寸。11. 根据权利要求1所述的槽阀组合件，其进一步包含侧壁，所述侧壁安置在所述第一 侧与第二侧之间且包括对应于所述第 一 和第二开口的第三开口 。12. 根据权利要求11所述的槽阀组合件，其进一步包含第三板，所述第三板安置在所 述第二侧与所述侧壁之间且被沿所述第一方向驱动。13. 根据权利要求12所述的槽阀组合件，其中所述第三板被从所述最小高度位置驱动 到所述最大高度位置且在所述最大高度处关闭所述第三开口。14. 根据权利要求13所述的槽阀组合件，其中一起驱动所述第三板与所述第二板。15. 根据权利要求14所述的槽阀组合件，其进一步包含第一压力维持单元，其位于所述第一板的面向所述第一开口的表面上； 第二压力维持单元，其位于所述第二板的面向所述第二开口的表面上； 第一和第二支撑件，其支撑所述第一板且连接到所述驱动部分；以及 第三和第四支撑件，其支撑所述第二和第三板且连接到所述驱动部分。16. 根据权利要求14所述的槽阀组合件，其中所述驱动部分包括.-第一和第二驱动部分，其用于沿所述第一方向驱动所述第一板； 第三和第四驱动部分，其用于沿所述第一方向驱动所述第二和第三板； 多个驱动元件，其安置在所述第二板与第三板之间且沿...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳璨亨，韩根助，禹仁根，
申请(专利权)人：周星工程股份有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]