超薄太阳能级硅片制造技术

本实用新型专利技术涉及一种超薄太阳能级硅片，是一种太阳能电池基片材料。其本体为上、下两平行平面组成的方形薄片，方形薄片四角为四个相同的４５°倒角，上、下两平面的距离为１６５μｍ－１９５μｍ范围，超薄太阳能级硅片上、下两平面表面光洁、平整、无瑕疵，本体的翘曲度小于７５μｍ。超薄太阳能级硅片由硅晶圆棒切割而成，其优点为因其由高精密机床成型切割而成，免除了传统用砂轮滚磨四角为圆角的工序，提高了成品质量，加工方便，且切削余料为块状，可回炉再利用，从而降低了超薄太阳能级硅片的制造成本。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种超薄太阳能^u圭片，是一种太阳能电池基片材料。
技术介绍
目前太阳能I5^圭片是将硅单晶结晶圆棒切割而成的高质量硅片。目前国内 硅晶材料稀缺，价格昂贵。随着可再生能源的广泛应用，太阳能绍J圭片的市场需求量越来越大。传统的即目前国际上fi4使用的太阳能硅片为四角为圆角的方形薄片，厚度在200pm以上，这种太阳能级电池硅片的加工程序为先将硅 晶圓棒切割成截面为方形、四角留有坯棒圆棱的柱体，而后再用砂轮将坯棒圆 棱滚磨到标准圆角尺寸，磨削量约为2mm—4mm。这种截面状的太阳能级硅片 存在以下缺点 一是滚磨加工下来的废屑为粉末状，飘扬在空气中污染环境， 且不能回收再利用；二是滚磨加工容易损伤柱体圆棱，发生崩边和爆裂等质量 问题，从而降低了成品的合格率。
技术实现思路
本技术要解决的技术问^^提供一种加工简便，产品合格率高，制造 成本低的超薄太阳能i5^圭片。实现上述目的的技术方案是是提供一种超薄太阳能级硅片，其本体为由 上、下两平行平面組成的方形薄片，方形薄片四角为四个相同的45。倒角。 本体上、下两平面的距离在165,—195pm范围内，翘曲度小于75,。 采用上述:技术方案后，改变传统用砂轮滚磨四角为圆角的工序为采用高精 密机床将硅晶圆棒直接切割成截面为方形、四角为相同45°倒角的八角方型柱 体。其优点为(1)该截面状的太阳能级硅片完全由精密机床切割而成，加工 工艺简单，精度高，切削余料可回收再利用，降低了产品的制造成本。(2)免 除了砂轮滚磨半成品硅晶棒柱体圆棱的加工工序，不再发生棱角崩边和爆裂现 象，提高了成品的合格率。(3)将太阳能级硅片的厚度从200nm降至180nm， ^f呆证其本体的翘曲度小于75|im，使每公斤硅晶圆棒的硅片产出量增加。附图说明图1为本技术的立体示意图；图2为本技术主^L示意图3为图2俯视示意图； 图4为本技术成品加工示意图； 图5为图4中A的示意图。具体实施方式以下结合附图和实施例对本技术作进一步详细的说明。 (实施例1)见图1、图2和图3所示为超薄太阳能级硅片立体示意图、主^L图和俯i见 图，本实施例为规3各125mmX125mm的超薄太阳能级硅片，由上、下两平行 平面2、 3组成，其四角4为四个相同的45。倒角。上、下两平面2、 3的距离 在165tim—195nm范围内，表面光洁、平整、无瑕疯，其翘曲度小于75pm。见图4所示为超薄太阳能级A圭片的成品加工示意图传统太阳能级硅片的加工方法是先将D二①156mm硅单晶结晶棒切割成截 面为125mmX125mm方形、四角为留有坯棒圆棱的柱体，而后采用砂轮将坯 棒圓棱滚磨到F=O150mm的标准圆角尺寸。本实施例的加工方法是采用高精密机床直接将D二①156mm硅单晶结晶坯 才奉直4妄切割成截面为125mmX125mm方形、四角为四个相同的45。倒角、倒 角对^巨离为B=147. 02mm的八角方型柱体，然后沿柱体轴线方向切割成厚度 为180Mm士15^im的超薄太阳能级硅片。由于工艺先进，表面光洁、平整、无瑕 疯，其本体的翘曲度小于75nm。见图5所示为超薄太阳能级》圭片的传统力口工方法即四角为圆角与本实用新 型即四角为45。倒角的超薄太阳能级硅片材料利用情况示意图。图中最外层圆 弧是硅晶棒坯体尺寸，里层圆弧是传统法需要用砂轮^J^后的主体尺寸，里层 圆SM目对应的弦为本技术太阳能^U圭片的四角被直接切割成的45°倒角 的主体尺寸，图中阴影部分为传统砂轮滚削消耗掉的部分。本实施例因直接切 割成45°倒角的八角方型柱体，切割后的硅晶余料成块状，可回炉再生产。本 实施例每叱可节约材料21公斤，若每公斤价格为2500元，每吨可节约人民币 5. 25万元。此外，本实施例超薄太阳能级硅片的厚度为180|im±15nm，比现有的普通 太阳能级硅片200nm士15Mm薄，经计算每公斤可多切割4片，每p屯可多产4000 片，若每片为55元，可增加收入22万元。(实施例2)实施例2为M^ 156mmX 156mm的超薄太阳能^J 圭片，其主体1由上、 下两平4亍平面2、 3组成，其四角4为四个相同的45。倒角。上、下两平面2、 3的距离在165^m—195pm范围内，表面光洁、平整、无瑕疯，其翘曲度小于 75|im。本实施例加工方法是采用高精密机床直接将D=O>203mm硅单晶结晶棒切 割成截面为156mmX 156mm方形、四角为相等45°倒角，对角距离为B二195mm 的八角方型柱体，然后沿柱体轴线方向切割成厚度为180|im±15^m的超薄太阳 能级硅片。本实施例每吨可节约材料12.98公斤，若每公斤价格为2500元，每 吨可节约人民币3. 25万元。本实施例其厚度比现有的普通太阳能级硅片薄，经计算每公斤可多切割5 片，每吨可多产5000片，若每片为50元，可增加J)认25万元。。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超薄太阳能级硅片，其本体（１）为由上、下两平行平面（２、３）组成的方形薄片，其特征在于：方形薄片四角（４）为四个相同的４５°倒角。

【技术特征摘要】
1、一种超薄太阳能级硅片，其本体(1)为由上、下两平行平面(2、3)组成的方形薄片，其特征在于方形薄片四角(4)为四个相同的45°倒角。2、 根据权利要求1所述的超薄太阳能级硅片，...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛和璜，
申请(专利权)人：常州有则科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]