【技术实现步骤摘要】
本技术涉及的是半导体加工技术设备，特别是用于对晶体晶向测定的装置
技术介绍
X射线晶体定向仪是一种利用X射线衍射原理来测定晶体的晶面取向。现有X射线晶体定向仪包括有机台、在机台内装有高压变压器装置和控制器装置、在机台上端设置安装有X射线出射装置、测角装置、射线接受装置构成。现有X射线晶体定向仪一般在机台上采用双向X射线出射装置，对称设置测角装置和射线接受装置，形成双工位的X射线晶体定向仪。现有技术X射线晶体定向仪其测角装置上的工作台是一普通平台，将晶体棒放在上面进行测量，测量调整并不方便，而且现如今单晶技术的发展，晶体棒尺寸已达到8″×700mm，重100kg，测角装置上的普通工作台已不能适应使用需求。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术的不足进行改进，提供一种改进的X射线晶体定向仪，以提高承载能力和操作灵活准确性，充分满足对尺寸大、重量高的晶棒测定和检测工作本技术包括有机台1、在机台内装有高压变压器装置和控制器装置、在机台上端设置安装有X射线出射装置2、射线接收装置3、测角装置4构成，其特征是测角装置4上的工作台装置5是由托板50、通过支架相互平行转动安装在托板50上的一对转辊51、52，在其中一个转辊51的辊轴安装支架上设有辊轴锁紧装置54，托板50的一端下侧与测角装置4的中心旋转轴41固定连接，带动托板50旋转，托板50的另一端下侧连接设有托板导轮56，在测角装置4的箱壳40上表面上设有与托板导轮56配合的弧形导轨46；在机台1上采用双向X射线出射装置2，对称设置射线接收装置3和测角装置4，即形成双工位的X射线晶体定向仪。本技术其工作台装置5承载能力...
【技术保护点】
Ｘ射线晶体定向仪，由机台（１）、在机台内装有高压变压器装置和控制器装置、在机台上端设置安装有Ｘ射线出射装置（２）、射线接收装置（３）、测角装置（４）构成，其特征是：测角装置（４）上的工作台装置（５）是由托板（５０），通过支架相互平行转动安装在托板（５０）上的一对转辊（５１、５２），在其中一个转辊（５１）的辊轴安装支架上设有转辊辊轴锁紧装置（５４），托板（５０）的一端下侧与测角装置（４）的中心旋转轴（４１）固定连接，托板（５０）的另一端下侧连接设有托板导轮（５６），在测角装置（４）的箱壳（４０）上表面上设有与托板导轨（５６）配合的弧形导轨（４６）。
【技术特征摘要】
1.X射线晶体定向仪，由机台(1)、在机台内装有高压变压器装置和控制器装置、在机台上端设置安装有X射线出射装置(2)、射线接收装置(3)、测角装置(4)构成，其特征是测角装置(4)上的工作台装置(5)是由托板(50)，通过支架相互平行转动安装在托板(50)上的一对转辊(51、52)，在其中一个转辊(51)的辊轴安装支架上设有转辊辊轴锁紧装置(54)，托板(50)的一端下侧与测角装置(4)的中心旋转轴(41)固定连接，托板(50)的另一端下侧连接设有托板导轮(56)...
【专利技术属性】
技术研发人员：王言，
申请(专利权)人：丹东辽东射线仪器有限公司，
类型：实用新型
国别省市：21[中国|辽宁]
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