【技术实现步骤摘要】
台面型固体放电管管芯
技术涉及一种用于过电压保护的固体放电管,尤其涉及固体放电 管管芯的改进。 背承扶术现有台面型固体放电管芯,结构如附图说明图1所示,在硅片基底3两面,采 用平面工艺选择性镜像对称扩散基区2和发射区1。这种面型固体放电管管 芯,由于基区2和发射区1交界面,承受较高反向电压,虽然两者结合表 面存在二氧化硅层作为钝化保护,但受二氧化硅层钝化最高电压限制,加 上制作工艺限制,单个PN结的耐压, 一般不超过400V,最优良制作工艺 也不会超过1000V:其次,交界面高温性能不好,容易造成漏电,尤其是 使用时间长后,稳定性会下降。上述存在问题,虽然为行业技术人员所知 晓,但长期以来没有得到有效解决,不足依然客观存在。
技术实现思路
技术的目的在于克服上述己有技术的不足,提供一种耐压高,高 温性能好的台面型固体放电管芯。技术目的实现,主要改进是在平面型固体放电管管芯,表面的基 区和衬底区PN结交界面(4)处开有纵向槽,并在槽内填充钝化玻璃粉, 经熔结定型形成电子钝化玻璃体,从而克服现有技术的不足,实现实用新 型目的。具体说,技术台面型固体放电管管芯,包括硅片基底两面、 镜像对称扩散基区和发射区,其特征在于管芯二表面的基区和衬底区PN结 交界面(4)开有纵向槽,槽内填充钝化玻璃粉,经熔结定型形成电子钝化 玻璃体。技术由于在平面型固体放电管管芯,表面的基区和衬底区PN结交 界面(4)处开有纵向槽,开槽施加玻璃粉,经熔结定型形成电子钝化玻璃 体,玻璃体中的硼离子、磷离子形成了带负电的离子团,对正电荷粘污的 固定作用,以及玻璃体钝化层厚度较平面工艺二氧 ...
【技术保护点】
台面型固体放电管管芯,包括硅片基底两面、镜像对称扩散基区和发射区,其特征在于管芯二表面的基区和衬底区PN结交界面(4)开有纵向槽,槽内填充钝化玻璃粉,经熔结定型形成电子钝化玻璃体。
【技术特征摘要】
1、台面型固体放电管管芯,包括硅片基底两面、镜像对称扩散基区和发射区,其特征在于管芯二表面的...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈俊标,许志峰,陈夕宁,
申请(专利权)人:江苏东光微电子股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:32[中国|江苏]
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