台面型固体放电管管芯制造技术

技术编号:3225228 阅读:168 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
实用新型专利技术是关于对台面型固体放电管管芯的改进,其特征是管芯二表面的基区和衬底区PN结交界面(4)开有纵向槽,槽内填充钝化玻璃粉,经熔结定型形成电子钝化玻璃体。玻璃体中的硼离子、磷离子形成了带负电的离子团,对正电荷粘污的固定作用,以及玻璃体钝化层厚度较平面工艺二氧化硅层厚数千倍,较二氧化硅层具有更高的强度,使得钝化保护效果大大提高,较现有技术大大提高了PN结的击穿电压和高温性能,可以承受1600V以上电压,以及在高温(例如80℃及以上)环境下工作,性能稳定,长期使用性能不下降,高温稳定性好。(*该技术在2017年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

台面型固体放电管管芯
技术涉及一种用于过电压保护的固体放电管,尤其涉及固体放电 管管芯的改进。 背承扶术现有台面型固体放电管芯,结构如附图说明图1所示,在硅片基底3两面,采 用平面工艺选择性镜像对称扩散基区2和发射区1。这种面型固体放电管管 芯,由于基区2和发射区1交界面,承受较高反向电压,虽然两者结合表 面存在二氧化硅层作为钝化保护,但受二氧化硅层钝化最高电压限制,加 上制作工艺限制,单个PN结的耐压, 一般不超过400V,最优良制作工艺 也不会超过1000V:其次,交界面高温性能不好,容易造成漏电,尤其是 使用时间长后,稳定性会下降。上述存在问题,虽然为行业技术人员所知 晓,但长期以来没有得到有效解决,不足依然客观存在。
技术实现思路
技术的目的在于克服上述己有技术的不足,提供一种耐压高,高 温性能好的台面型固体放电管芯。技术目的实现,主要改进是在平面型固体放电管管芯,表面的基 区和衬底区PN结交界面(4)处开有纵向槽,并在槽内填充钝化玻璃粉, 经熔结定型形成电子钝化玻璃体,从而克服现有技术的不足,实现实用新 型目的。具体说,技术台面型固体放电管管芯,包括硅片基底两面、 镜像对称扩散基区和发射区,其特征在于管芯二表面的基区和衬底区PN结 交界面(4)开有纵向槽,槽内填充钝化玻璃粉,经熔结定型形成电子钝化 玻璃体。技术由于在平面型固体放电管管芯,表面的基区和衬底区PN结交 界面(4)处开有纵向槽,开槽施加玻璃粉,经熔结定型形成电子钝化玻璃 体,玻璃体中的硼离子、磷离子形成了带负电的离子团,对正电荷粘污的 固定作用,以及玻璃体钝化层厚度较平面工艺二氧化硅层厚数千倍,较二 氧化硅层具有更高的强度,使得钝化保护效果大大提高,较现有技术大大提高了 PN结的击穿电压和高温性能,可以承受1600V以上电压,以及在 高温(例如80'C及以上)环境下工作,性能稳定,长期使用性能不下降, 高温稳定性好。以下结合一个具体实施方式,进一步说明技术。 關翻图1为现有技术台面型固体放电管管芯结构示意图。 图2为技术台面型固体放电管管芯结构示意图。实施例参见图2,技术台面型固体放电管管芯,在基底硅片3两 面镜像对称扩散基区2和发射区1 ,再在管芯二表面的基区和衬底区PN结 交界面(4),采用化学腐蚀方法腐蚀出纵向槽4.1和4.2,槽内填充钝化玻 璃粉,经熔结定型形成电子钝化玻璃体。本文档来自技高网...

【技术保护点】
台面型固体放电管管芯,包括硅片基底两面、镜像对称扩散基区和发射区,其特征在于管芯二表面的基区和衬底区PN结交界面(4)开有纵向槽,槽内填充钝化玻璃粉,经熔结定型形成电子钝化玻璃体。

【技术特征摘要】
1、台面型固体放电管管芯,包括硅片基底两面、镜像对称扩散基区和发射区,其特征在于管芯二表面的...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈俊标许志峰陈夕宁
申请(专利权)人:江苏东光微电子股份有限公司
类型:实用新型
国别省市:32[中国|江苏]

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1