压电元件及其制造方法技术

一种压电元件，把压电体的表面上形成了电极５、６的压电振动片２安装到插头３上之后、封装到外壳４内而完成之前，在大气压或接近于大气压的压力下，在规定的放电气体中产生气体放电，在该气体放电３６中生成常温下的液体或气体的有机化合物的激励活性源种，并把插头和压电振动片的表面暴露其中。在这些表面上叠层有机物，从而形成被覆整个电极及其分割线１８、插头的安装连接部等的树脂被覆膜９。在音叉型压电振子的情况下，从树脂被覆膜的上方照射激光来进行频率的调整。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种压电元件，例如由水晶等压电晶体或压电陶瓷等材料构成的压电振子、SAW(Surface Acoustic Wave声表面波)器件，特别是涉及一种利用在大气压或接近大气压力的气压下在等离子体内生成的激励活性源种的表面处理技术制造的。以往，利用基于压电效应的谐振作用的压电元件已由人们所公知，并且被用作振子、滤波器和振荡器等。在压电元件中，有使用频带大约为20kHz～1MHz的音叉型振子、大约4～125MHz的AT切割振子等的压电振子和利用声表面波的SAW器件。一般，压电振子由振动片和用来安装该振动片且与外部电连接的插头构成，该振动片由压电振子的表面上形成了电极的水晶板等压电体构成，在该插头中用所谓密封端子，把振动片气密性地密封在外壳中。SAW器件可以稳定地得到100MHz～1000MHz频带的高频率，并被用作构成振荡电路的SAW振子、高频率用的SAW滤波器等。一般，SAW器件具有由在其表面上形成微细梳形电极的水晶板之类的压电体构成的SAW片。通常，SAW片被整个贴固在支撑体上，并真空封装在外壳中，但是，最近本申请人开发了一种SAW器件，是把SAW片局部安装在与压电振本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电元件，具有在压电体的表面形成了电极的元件片、安装所述元件片的插头和气密性地容纳所述元件片的外壳，其特征在于所述元件片的表面由树脂被覆膜所被覆，所述树脂被覆膜是用有机化合物的激励活性源种形成的，所述有机化合物的激励活性源种是在大气压或接近于大气压的压力下，在规定的放电气体中由气体放电生成的。

【技术特征摘要】
JP 1996-4-2 102001/96;JP 1997-1-14 15976/971.一种压电元件，具有在压电体的表面形成了电极的元件片、安装所述元件片的插头和气密性地容纳所述元件片的外壳，其特征在于所述元件片的表面由树脂被覆膜所被覆，所述树脂被覆膜是用有机化合物的激励活性源种形成的，所述有机化合物的激励活性源种是在大气压或接近于大气压的压力下，在规定的放电气体中由气体放电生成的。2.根据权利要求1的压电元件，其特征在于所述树脂被覆膜由有机物的叠层膜构成。3.根据权利要求1的压电元件，其特征在于所述树脂被覆膜由硅树脂膜构成。4.根据权利要求1至3的任一项权利要求的压电元件，其特征在于所述树脂膜具有由包含在所述有机化合物中的无机元素或其氧化物构成的下层部分。5.根据权利要求1的压电元件，其特征在于所述元件片是按弯曲振动模式振动的压电振动片。6.根据权利要求1的压电元件，其特征在于所述元件片是按厚度滑移模式振动的压电振动片。7.根据权利要求1的压电元件，其特征在于所述元件片是按弹性振动模式振动的压电振动片。8.根据权利要求1的压电元件，其特征在于所述元件片是利用声表面波的SAW片。9.根据权利要求5的压电元件，其特征在于所述压电振动片呈音叉形状，所述音叉形状具有连接到所述插头的基端部和从该基端部沿长度方向延长的2个腕部；沿所述长度方向，在所述腕部与所述基端部结合的叉部附近的区域中，所述树脂被覆膜的膜厚比其他区域的树脂被覆膜的厚度薄。10.根据权利要求9的压电元件，其特征在于所述叉部附近的所述树脂被覆膜的膜厚是其他区域的树脂被覆膜厚度的1/2左右。11.根据权利要求10的压电元件，其特征在于所述叉部附近的所述树脂被覆膜的膜厚是500～1000。12.一种制造压电元件的方法，所述压电元件具有在压电体的表面形成了电极的元件片、安装所述元件片的插...

【专利技术属性】
技术研发人员：池上恭光，宫川拓也，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]