【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于测试半导体装置的机械手系统的取放装置，更具体地说，涉及一种传送许多从一用户托盘上拾起并传送到一测试托盘上的半导体装置的取放装置。在电子工业中，总是不断地要求生产诸如集成电路或半导体晶片之类的成本低且尺寸小的电子装置。增加这种电子装置的产量，即减少其单位成本的方法之一是借助于同时测试许多这种装置而增加这些电子装置的测试速度。为了测试这样的半导体装置，要用一机械手系统。当这些半导体装置在一用于测试半导体装置的机械手系统中进行测试时，一个装纳许多半导体装置的托盘被用作一单元进行传送。此处，用户用于输入和输出该半导体装置的托盘称之为用户托盘，而用于机械手系统中的标准托盘称之为测试托盘。为了便于供给和输出这些被测试的半导体装置，该半导体装置需要从该用户托盘传送到该测试托盘或从该测试托盘传送到该用户托盘。附图说明图1表示由美国专利No.5307011公开的机械手系统执行的测试过程。含有被测试的半导体装置的用户托盘装载于一料盒上，并且该料盒由一升降机进行升降。一负载捕捉器抓住该升起的料盒中的用户托盘，并将该托盘装载于一缓冲器上。该用户托盘从该缓冲器被传送...
【技术保护点】
一种用于测试半导体装置的机械手系统的取放装置，所述取放装置包括： 一支承架； 一个装在所述支承架上的操作板； 一个用于使所述操作板升降的升降缸； 一组连接到所述操作板上并根据所述操作板的升降而升降的缸； 一组连接到各缸上从而随其升降的真空吸取装置，所述真空吸取装置用于从一用户托盘上拾起各半导体装置； 用于使所述真空吸取装置在各半导体装置由所述真空吸取装置拾起之后运动到一预定关系的布置装置；及 当所述半导体装置从所述真空吸取装置上脱离时用于接纳这些半导体装置并对其进行定位的定位装置。
【技术特征摘要】
KR 1997-4-4 12445/971.一种用于测试半导体装置的机械手系统的取放装置，所述取放装置包括一支承架；一个装在所述支承架上的操作板；一个用于使所述操作板升降的升降缸；一组连接到所述操作板上并根据所述操作板的升降而升降的缸；一组连接到各缸上从而随其升降的真空吸取装置，所述真空吸取装置用于从一用户托盘上拾起各半导体装置；用于使所述真空吸取装置在各半导体装置由所述真空吸取装置拾起之后运动到一预定关系的布置装置；及当所述半导体装置从所述真空吸取装置上脱离时用于接纳这些半导体装置并对其进行定位的定位装置。2.如权利要求1所述的机械手系统的取放装置，其特征在于所述布置装置包括一个与所述真空吸取装置相连的伸展件，所述伸展件沿一纵向伸展并缩回，以便改变所述真空吸取装置之间的距离；及一个用于使所述伸展件伸缩的伸缩缸。3.如权利要求2所述的机械手系统的取放装置，其特征在于所述伸展件包括一组相互间按Z字形并可绕枢轴转动地连接的连杆，从而...
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