下载用于测试半导体装置的机械手系统的取放装置的技术资料

文档序号:3221109

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一种用于测试半导体装置的机械手系统的取放装置,其包括用于从一用户托盘上拾起各半导体装置的真空吸取装置,一个用于使各真空吸取装置向上和向下运动的缸,及一个用于对已从各真空吸取装置中脱离出的各半导体装置进行定位的定准器。各半导体装置的定位操作是...
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