【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
集成电路的制造包括将掩模上的几何形状转移到半导体晶片的表面上。之后,蚀刻与几何形状相对应或几何形状之间的区域相对应的半导体晶片。几何形状从掩模到半导体晶片的转移通常涉及平板印刷方法。该方法包括将光敏预聚合物溶液施用于半导体晶片。预聚合物溶液中的溶剂通过蒸发除去,然后烘烤形成的聚合物薄膜。膜通过支撑理想几何图案的光掩模而被辐射曝光,例如紫外光。然后通过将晶片浸泡在显影液中将光敏材料的图像显影。根据光敏材料的特性,在显影过程中除去曝光或未曝光区域。之后,晶片放置于蚀刻溶液中,该溶液将没有被光敏材料保护的区域蚀刻掉。由于它们对蚀刻过程的抵抗,因此光敏材料也被称为光致抗蚀剂。这些材料可以例如是对紫外光,电子束,x-射线,或者离子束敏感的材料。光致抗蚀剂预聚合物溶液的高成本使得它希望设计出提高涂布过程的效率从而使聚合物溶液消耗量降为最少的方法。此外,光致抗蚀剂层的厚度均匀性在集成电路的制造中是重要的标准。它确保半导体晶片上几何图案令人满意地重现。光致抗蚀剂中的溶剂在应用过程中易于蒸发,提高了聚合物溶液的粘度,并抑制了最后形成的膜的均匀化。这导致厚度不均匀。因此,希望能够控制溶剂从聚合物溶液中蒸发的速度。环境湿度是影响光致抗蚀剂层厚度的一个因素。通常需要一个晶片内15至20埃以及一个晶片一个晶片地,一批一批地,一天一天地20至25埃数量级的光致抗蚀剂涂层均匀度。这小于1%的相对湿度差带来的影响。此外,在通常所用的采用光敏重氮醌化合物的正性光致抗蚀剂中,需要一定的水分与光分解反应的产物发生反应,生成所需要的水溶性羧酸。本专利技术的目的和概述本专利技术的目的是提供一 ...
【技术保护点】
一种利用聚合物溶液涂布基片表面的方法,该方法包括:将基片安装在封闭式箱体内;对控制气体的溶剂蒸汽浓度进行控制,使其大于约50%的饱和度;使控制气体通过入口进入箱体;将聚合物溶液挤出在箱体内的基片表面上; 使基片自旋;以及通过出口从箱体排出控制气体以及控制气体中悬浮的任何溶剂蒸汽和粒子杂质。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2001-2-28 09/795,924;US 2001-6-30 09/895,7871.一种利用聚合物溶液涂布基片表面的方法,该方法包括将基片安装在封闭式箱体内;对控制气体的溶剂蒸汽浓度进行控制,使其大于约50%的饱和度;使控制气体通过入口进入箱体;将聚合物溶液挤出在箱体内的基片表面上;使基片自旋;以及通过出口从箱体排出控制气体以及控制气体中悬浮的任何溶剂蒸汽和粒子杂质。2.根据权利要求1的方法,其中所述基片是具有顶面,中心和外缘的晶片;以及其中挤出聚合物溶液包括挤出光致抗蚀剂带,所述带具有宽度,所述带以螺旋形图案覆盖基片的整个顶面,其中所述光致抗蚀剂以恒定的挤压速度从挤压槽挤出,所述基片以一转速旋转,挤压头以一径向速度移动,相对于旋转的基片而径向移动的挤压头以恒定的切线速度运动。3.根据权利要求2的方法,其中所述光致抗蚀剂带以螺旋形图案挤出,在所述晶片外缘开始,在所述晶片中心结束。4.根据权利要求2的方法,其中所述光致抗蚀剂带以螺旋形图案挤出,在所述晶片中心开始,在所述晶片外缘结束。5.根据权利要求2的方法,其中所述光致抗蚀剂带的宽度在晶片直径的约十分之一和约三分之一之间。6.根据权利要求1的方法,其中所述基片是具有顶面,中心,直径和外缘的晶片;将所述基片安装在封闭式箱体中,包括将所述晶片安装于卡盘上,所述晶片的顶面水平对准并向上定位;以及挤出聚合物溶液包括将所述挤压头设置在邻近所述晶片外缘并位于所述晶片顶面上方,所述挤压头被构成为将所述光致抗蚀剂挤出挤压槽,所述挤压槽具有由第一端和第二端限定的长度,以所述挤压槽相对于晶片径向对准的方式设置挤压头,所述挤压槽的第一端设置在邻近晶片外缘,挤压槽的第二端在晶片外缘的外面,使所述晶片绕其中心旋转,其中所述晶片以一转速旋转,所述挤压头以一径向速度移动,相对于所述旋转的晶片而径向移动的挤压头以恒定的切线速度运动;从挤压槽挤出所述光致抗蚀剂带,所述带的宽度基本上等于槽的长度,其中所述光致抗蚀剂以恒定的压出速度从挤压槽挤出,以及在从挤压槽挤出光致抗蚀剂,并保持挤压槽相对于晶片径向对准的同时,从晶片外缘朝晶片中心向内径向移动挤压头,直到光致抗蚀剂覆盖晶片的整个顶面。7.根据权利要求6的方法,其中所述挤压槽的长度在半导体晶片直径的约十分之一和三分之一之间。8.根据权利要求6的方法,其中保持挤压槽相对于晶片径向对准进一步包括同样保持挤压槽在晶片顶面上方一定的距离。9.根据权利要求6的方法,其中保持挤压槽相对于晶片径向对准进一步包括确定挤压槽和晶片顶面之间的距离,并调整挤压槽的位置以保持该距离。10.根据权利要求9的方法,其中保持挤压槽相对于晶片径向对准进一步包括用光学传感器确定挤压槽和晶片顶面之间的距离。11.根据权利要求6的方法,其中所述光致抗蚀剂带以覆盖晶片的整个顶面的螺旋形图案涂布在晶片上。12.根据权利要求11的方法,包括以下步骤移开挤压头,以及高速旋转晶片。13.根据权利要求1的方法,其中基片...
【专利技术属性】
技术研发人员:E古勒,T钟,J刘易冷,EC李,RP曼达尔,JC格拉姆博,TC贝特斯,DR绍尔,ER沃德,JH纯,S韩,
申请(专利权)人:硅谷集团公司,
类型:发明
国别省市:US[美国]
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