【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及运输装置，具体而言，本专利技术涉及具有很多互锁联接以轻松传输诸如半导体组合件之类物品的双传动单元的运输装置。
技术介绍
通常，半导体生产系统包括自动传送诸如晶片、液晶显示LCD基片等半导体组合件的运输装置，以通过自动化生产线来提高工作效率。现在主要应用选择性柔度组合件机械手。但是最近开始应用平行运输装置，因为和SCARA运输装置比较，其具有简单的结构并在真空下有用。传统平行运输装置具有许多平行互锁联接的双转动单元以传输半导体组合件。比如，美国专利6,189,404公开了一种标题为“用于处理的机器人”的运输装置，其中的转动单元在同心轴通过链接互锁并绕同轴转动轴转动，因此往复一运输台。美国专利5,180,276题为“连杆ARA传输设备”和美国专利5,647,724题为“具有双重基片固定器的基片传输装置”公开了其它不同的传输装置。在传统运输装置中，运输联接与长方形传输台的后部相对边相连接。因此，即使传输台上的小载荷也会导致一个较大的力矩。由于较大力矩产生的应力集中在放置在传输台的后部相对边并将传输台和传输联接相连的枢轴上，这样可传输半导体组合件的载荷就...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种传输装置，包括支撑部分；由支撑部分可转动支撑的第一和第二传动轴；许多分别和第一和第二传动轴组合的传动联接；许多可转动连接到传动联接的传输联接；通过枢轴可转动连接到传输联接并通过传动联接和传输联接协作而往复运动的传输台，第一和第二传动轴在传输台的往复运动方向上排列。2.根据权利要求1中所述的传动装置，其特征在于第一传动轴通过支撑部分的中心，第二传动轴离心通过在传输台往复运动方向位于第一传动轴后的支撑部分。3.根据权利要求1中所述的传动装置，其特征在于将传输联接和传输台连接的枢轴在传输台的往复运动方向上排列。4.根据权利要求1中所述的传动装置，进一步包括将第一传动轴和第二传动轴互锁的配合设备，这样第一和第二传动轴相互反向转动。5.根据权利要求2中所述的传动装置，进一步包括将第一传动轴和第二传动轴互锁的配合设备，这样第一和第二传动轴相互反向转动。6.根据权利要求1中所述的传动装置，其特征在于传动联接带有槽部分以避免和第一及第二传动轴干涉。7.根据权利要求1中所述的传动装置，其特征在于和第一及第二传动轴在内部末端结合的传动联接的外部末端与两对传输联接相连，此两对传输联接分别和两个传输台相连。8.根据权利要求1中所述的传动装置，其特征在于传动联接具有三层结构，这样两个传输台高度不同并交替往复运动。9.根据权利要求8中所述的传动装置，其特征在于传动联接包括和第一传动轴对称结合的第一和第三传动联接；和第二传动轴结合并分别相对第一和第三传动联接上下放置以避免相互干涉的第二和第四传动联接。10.根据权利要求1中所述的传动装置，其特征在于联接与第一和第二传动轴相连，第一和第二传动轴高度不同以避免与连接到那的联接相互干涉。11.根据权利要求1中所述的传动装置，其特征在于枢轴允许第一和第二传动轴在相反的方向上转动。12.根据权利要求1中所述的传动装置，其特征在于联接参照第一和第二转动轴的转动而对称转动。13.根据权利要求1中所述的传动装置，进一步包括驱动第一和第二传动轴的传动部件，传动部件包括，驱动第一或者第二传动轴转动的第一电机；驱动和第一、第二传动轴互锁的支撑部分的支撑轴转动的第二电机；驱动支撑轴和第二电机上下移动的第三电机。14.根据权利要求13中所述的传动装置，其特征在于第一和第二传动轴之一由第一电机间接传动。15.根据权利要求13中所述的传动装置，其特征在于支撑轴与第一和第二传动轴...
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