【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及含氟芳香族聚合物及其用途。
技术介绍
随着电子设备及多层配线板等的日益微小化及高集成化,要求与之相适应的相对介电常数更低的绝缘膜。为了满足该要求、同时可确保在电子设备或多层配线板的制造工序中所必需的350℃以上、最好为425℃以上的耐热性,正在讨论使用含氟芳香族聚合物(以下称FAP。)。例如,在专利第3064011号公报、美国专利5115082号说明书、美国专利59-59157号说明书、特开平9-202824号公报、特开平10-247646号公报、J.Polm.Sci.PartAPolm.Chem.,vol.36,2881(1998)等中,作为FAP公开了含有醚键的含氟芳香族聚合物(以下称聚亚芳基醚或PAE。)。其相对介电常数为2.5-2.9左右,讨论将其作为电子设备或多层配线板的绝缘膜(以下称本绝缘膜。)使用。该PAE中的亚芳基结构为全氟亚苯基、全氟亚联苯基、全氟亚萘次甲基(ナフタニレン)等。PAE为直链,其玻璃化转变温度(以下称Tg。)低、耐热性不充分。如果在PAE中引入交联性官能团、形成交联结构,则可提高Tg,但相对介电常数上升到2.7-3 ...
【技术保护点】
含氟芳香族聚合物,其特征在于,采用选自下述①、②及③的方法中的1种以上的方法,由下述式1所示的支化结构的含氟芳香族化合物(B)制造,1分子中含有2个以上交联性官能团(A),数均分子量为1×10↑[3]~5×10↑[5],含有醚键,式 1***其中,m及n分别独立地表示1~4的整数,p、q及r分别独立地表示0或1~5的整数,a、b及c分别独立地表示0或1~3的整数,2≤m+n≤5,①使上述式1所示的支化结构的含氟芳香族化合物(B)和含有交联性官能团 (A)及酚性羟基的化合物(Y1)在脱HF剂存在下进行缩合反应的方法; ...
【技术特征摘要】
JP 2001-7-12 212379/20011.含氟芳香族聚合物,其特征在于,采用选自下述①、②及③的方法中的1种以上的方法,由下述式1所示的支化结构的含氟芳香族化合物(B)制造,1分子中含有2个以上交联性官能团(A),数均分子量为1×103~5×105,含有醚键,式1 其中,m及n分别独立地表示1~4的整数,p、q及r分别独立地表示0或1~5的整数,a、b及c分别独立地表示0或1~3的整数,2≤m+n≤5,①使上述式1所示的支化结构的含氟芳香族化合物(B)和含有交联性官能团(A)及酚性羟基的化合物(Y1)在脱HF剂存在下进行缩合反应的方法;②使上述含氟芳香族化合物(B)、含有交联性官能团(A)及酚性羟基的化合物(Y1)和不含有交联性官能团、含有2个以上酚性羟基的...
【专利技术属性】
技术研发人员:横冢俊亮,竹尾总明,
申请(专利权)人:旭硝子株式会社,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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