具有冷却系统的半导体装置制造方法及图纸

技术编号:3205329 阅读:187 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
半导体装置具有半导体模块和冷却部件。半导体模块包括具有平坦形状的功率器件、结合到第一器件表面的第一电极、结合到第二器件表面的第二电极、连接到器件控制电路的第一端子、连接到器件驱动电路的第二端子、以及使器件、第一电极、第二电极、第一端子以及第二端子成一体的模制树脂。模制树脂形成得使第一电极面和第二电极面露出。冷却部件通过绝缘部件夹持半导体模块。半导体装置具有与模制树脂的第一树脂面共平面的第一电极的第一电极面,和/或与模制树脂的第二树脂面共平面的第二电极的第二电极面。(*该技术在2024年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及安装在车辆上用于功率控制的半导体装置。
技术介绍
通常,如电动车辆和电动混合车辆的车辆配制得使用逆变器通过将来自电池的直流电转换成交流电的DC到AC转换驱动随车携带的电动机。逆变器包括多个半导体模块。每个半导体模块具有一个或多个半导体器件、半导体器件两面上的一对电极板、以及将半导体模块连接到外部控制电路和驱动电路的连接端子。在半导体器件的工作期间,半导体模块因半导体器件而产生热。要克服该问题,现已提出多种方法以抑制产生热(例如,日本专利首次公开No.2001-320005和日本专利首次公开No.2002-95267)。在日本专利首次公开No.2001-320005中介绍的半导体装置夹在一对冷却管之间,在冷却管内流动有冷却剂。此外,绝缘部件和/或柔软的导热材料插在半导体模块和冷却管之间,通过将压力施加到绝缘部件和柔软的导热材料,提高了半导体模块的冷却性能。另一方面,对于日本专利首次公开No.2002-95267中介绍的电冷却装置,半导体的一对电极板穿过金属部件或绝缘板夹在一对冷却管之间,金属部件或绝缘板具有的线性的热膨胀系数接近半导体的热膨胀系数。因此,可以避免半导体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体装置,包括:半导体模块包括功率半导体器件、一对第一和第二电极板、以及使功率半导体器件和一对第一和第二电极板成一体的模制树脂部件,在半导体模块的厚度方向中,半导体模块具有相对的第一和第二模块表面,每个第一和第二模块表面包括每 个电极板的电极面和模制树脂部件的模制树脂面;以及冷却部件,在半导体模块的厚度方向放置在半导体模块的两侧上,配置以冷却半导体模块;其中在厚度方向中在半导体模块的两侧的每一侧上,每个电极面与每个模制树脂面共平面,模制树脂部件由与 电极板相比具有更高线性膨胀系数的模制树脂制成。

【技术特征摘要】
JP 2003-5-26 148022/03;JP 2003-12-19 423099/031.一种半导体装置,包括半导体模块包括功率半导体器件、一对第一和第二电极板、以及使功率半导体器件和一对第一和第二电极板成一体的模制树脂部件,在半导体模块的厚度方向中,半导体模块具有相对的第一和第二模块表面,每个第一和第二模块表面包括每个电极板的电极面和模制树脂部件的模制树脂面;以及冷却部件,在半导体模块的厚度方向放置在半导体模块的两侧上,配置以冷却半导体模块;其中在厚度方向中在半导体模块的两侧的每一侧上,每个电极面与每个模制树脂面共平面,模制树脂部件由与电极板相比具有更高线性膨胀系数的模制树脂制成。2.一种半导体装置,包括半导体模块,将直流电转换成交流电,包括功率半导体器件,基本上平坦,在垂直于功率半导体器件的方向上在功率半导体器件两侧上具有第一器件表面和第二器件表面,结合到功率半导体器件的第一器件表面的第一电极板,第一电极板具有第一电极板的结合面相对侧上的第一电极面,结合到功率半导体器件的第二器件表面的第二电极板,第二电极板具有第二电极板的结合面相对侧上的第二电极面,第一组连接端子,电连接到控制电路并用于控制功率半导体器件,第二组连接端子,电连接到驱动电路并用于驱动功率半导体器件,以及模制树脂部件,形成得使功率半导体器件、第一和第二电极板、以及第二组连接端子成一体,并且在模制树脂部件的两侧上具有第一和第二树脂面;以及冷却部件,放置在半导体模块的两侧上,配置以冷却半导体模块,其中第一和第二电极板的第一和第二电极面中的至少一个与模制树脂部件的第一和第二树脂面中的至少一个共平面,模制树脂部件由具有的线性膨胀系数高于第一和第二电极板的线性膨胀系数的模制树脂制成。3.根据权利要求2的半导体装置,其中第一电极面与第一树脂面共平面。4.根据权利要求2的半导体装置,其中第二电极面与第二树脂面共平面。5.根据权利要求2的半导体装置,其中第一电极面与第一树脂面共平面,并且第二电极面与第二树脂面共平面。6.根据权利要求2的半导体装置,其中模制树脂部件形成得露出第一电极板的第一电极面和第二电极板的第二电极面。7.根据权利要求1的半导体装置,其中模制树脂部件形成得露出第一电极板的第一电极面和第二电极板的第二电极面。8.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员:中村重信石山弘酒井泰幸
申请(专利权)人:株式会社电装
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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