【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种半导体器件的测试方法,尤其是涉及一种功率MOS器件的测试方法和实现该方法的产品。
技术介绍
使用8英寸硅圆片进行大功率MOS器件制造时,由于单个分立器件的芯片面积较小,一片硅片上的有效芯片个数通常较多。用于器件的封装和测试的成本甚至还超过了芯片制造本身。为了降低测试成本,在进行硅片测试时,现有的测试方案如下1,使用抽样测试的方法,当良品率达到一定值,如80%以上时,则不对硅片上的所有芯片进行测试而将硅片进行封装。2,对于抽样测试良品率小于80%的硅片,进行硅片上全数芯片的测试,测试后将不良芯片剔除。抽样测试虽然大大降低了硅片测试的成本,但是对于进行多个芯片封装的情况,当硅片的良品率不高、在进行硅片测试时只进行了抽样测试而未对硅片上全数芯片测试,也未将不良芯片剔除时,多个芯片封装后的良品率将大幅度降低。如当硅片的良品率为80%,如果将其上的两个芯片封在一起,其为良品的概率就仅有80%×80%=64%,这种情况下有36%的芯片封装成本被浪费。已有测试方法的缺点是,在硅片的良品率不高的情况下,封装后的良品率将大幅度下降,浪费大量的封装成本。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是,提供一种可以降低封装成本损失的大功率MOS器件测试方法及实现该方法的产品。为解决上述技术问题,本专利技术一种功率MOS器件的测试方法,包括以下步骤第一步,待测芯片用相同探针并联后连接到测试机的Gate Sense,Gate Force,Source Sense以及Source Force端;第二步,同时对硅片上的多个器件进行测试;第三步,挑出良品率较低的硅片;第四 ...
【技术保护点】
一种功率MOS器件的测试方法,其特征在于:第一步,将待测芯片用相同探针并联后连接到测试机的GateSense,GateForce,SourceSense以及SourceForce端;第二步,同时对硅片上的多个 器件进行测试;第三步,挑出良品率较低的硅片;第四步,对良品率较低的硅片进行全数芯片测试;第五步,将不良的芯片剔除。
【技术特征摘要】
1.一种功率MOS器件的测试方法,其特征在于第一步,将待测芯片用相同探针并联后连接到测试机的Gate Sense,Gate Force,Source Sense以及Source Force端;第二步,同时对硅片上的多个器件进行测试;第三步,挑出良品率较低的硅片;第四步,对良品率较低的硅片进行全数芯片测试;第...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈志伟,
申请(专利权)人:上海华虹NEC电子有限公司,
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]
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