一种在炉管作业中提高产能的方法技术

本发明专利技术公开了一种在炉管作业中提高产能的方法，采用α－８Ｓ型的炉管装置，在１３９个槽的小舟上不变更小舟的槽间距，减少片盒放置棚架上两端假片片盒的数量来增加产品片盒的数量至１０个；使小舟上可处理的产品的数量增加至１２５枚，进行每炉５个批产品的生产。本发明专利技术在基本不增加费用和不变更产品工艺条件的基础上，提高原有的１３９槽装置的产能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种半导体芯片制造工艺方法，特别是涉及一种在东京电子的α-8S型炉管作业中提高产能的方法。
技术介绍
在芯片制造过程中，东京电子的α-8S型炉管目前采用的生产方式是采用139槽的小舟进行每炉4个批产品的处理，即每炉处理100枚制品(参见图1)。新型的炉管是采用170槽的小舟进行每炉6个批产品，即每炉处理150枚制品的处理(参见图2)。但是，采用6个批产品处理的170槽的小舟，由于其小舟上的槽间距和投入的片盒的槽间距不同，需要采用新型的搬送系统，费用很高。而且对于原来采用的是每炉4个批处理的装置要改造成为每炉6个批处理的装置，除了要将搬送系统全部变更外，还需要将原有的139槽的小舟换成179槽的小舟。这也是一笔很大的开销。此外，由于小舟的槽间距产生了变化，对原来采用139槽的装置的用户来说，产品上的工艺条件产生了很大的变化。所需要的产品评价的时间也非常的长。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供，在基本不增加费用和不变更产品工艺条件的基础上，提高原有的139槽装置的产能。为解决上述技术问题，本专利技术，采用α-8S型的炉管装置，在139个槽的小舟上不变更小舟的槽间距，减少片盒放置棚架上两端假片片盒的数量来增加产品片盒的数量至10个；使小舟上可处理的产品的数量增加至125枚，进行每炉5个批产品的生产。采用本专利技术的方法，使用原有的小舟，且不变更小舟的槽间距(即保留和片盒的槽间距一致的6.35mm的139槽小舟的槽间距)，这样可以不需要采用可变机械手片间距的机械手系统，也不需要购入新型的小舟，可以节省大量的改造费用。并且由于小舟的槽间距没有变化，不需要对产品的工艺条件进行变动，节省了大量的产品评价时间。在采用了每炉处理5批制品后，比过去采用每炉4批的处理方式提高了近25％的产能，和采用179槽的小舟进行处理的改造相比，每台装置节约的改造费用约为40万人民币。附图说明图1是现有技术139槽小舟作业模式示意图；图2是现有技术170槽小舟作业模式示意图；图3是应用本专利技术后进行高温推井工艺结果比较图；图4是应用本专利技术后进行栅氧化工艺结果比较图；图5是应用本专利技术后进行低压氮化硅工艺结果比较图；图6是现有技术每炉4批作业的片盒棚架片放置模式示意图；图7是本专利技术每炉5批作业的片盒棚架片放置模式示意图；图8是本专利技术采用139槽小舟作业，槽间距6.35mm，每炉5批制品处理时，小舟上硅片放置位置分配模式示意图。具体实施例方式本专利技术采用的是东京电子生产的α-8S型的炉管装置进行的，所用的小舟为139槽，槽间距为6.35mm。以高温推井工艺为例首先将片盒棚架片盒放置模式进行变更，具体的变更模式参见图6、7所示。由于该炉体装置采用的是连续炉作业方式(即一炉产品处理结束后，立即进行下一炉的产品处理)，所以在片盒棚架上必须包括两炉的产品片盒的位置。如图6、7所示，本专利技术将原有的两个参考片回收片盒的位置让出给制品片盒，保留了两个参考片片盒以保证连续作业。而减少了两个两端假片片盒的位置让给两个参考片回收片盒(两端假片片盒由于在小舟上的两端假片数量的减少，每炉只需要一个片盒的假片，所以两个两端假片片盒就可以保证该装置的连续作业)。同时增加了一个充填假片片盒，来保证在先导片作业时，可以有5个批的充填假片来充填小舟。其次，将小舟两端假片的数量由34枚减少至8枚，将多出来的26个槽中的25个槽让给制品片，而剩下的一个槽用于放置增加的一枚参考片，以保证增加的区域有足够的参考片来监视工艺的结果。具体情况参见图8所示。采用本专利技术的方法后，对在小舟上的扩展区域进行了工艺结果的测试，其测试结果如工艺比较图，图3～图5所示。完全符合产品的工艺要求。最后通过对产品在不同区域的分割评价，可以确认其最终的晶体管特性和产品成品率，延展的位置和原4批作业位置的产品结果完全没有差异。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在炉管作业中提高产能的方法，采用α－８Ｓ型的炉管装置，在１３９个槽的小舟上不变更小舟的槽间距，其特征在于：减少片盒放置棚架上两端假片片盒的数量来增加产品片盒的数量至１０个；使小舟上可处理的产品的数量增加至１２５枚，进行每炉５个批产品的生产。

【技术特征摘要】
1.一种在炉管作业中提高产能的方法，采用α-8S型的炉管装置，在139个槽的小舟上不变更小舟的槽间距，其特征在于减少片盒放置棚架上两端假片片盒的数量来增加产品片盒的数量至10个；使小舟上可处理的产品的数量增加至125枚，进行每炉5个批产品的生产。2.如权利要求1所述的一种在炉管作业中提高产能的方法，其特征在于将原有的两个参考片回收片盒的位置让出给制品片盒，同...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚亮，倪立华，朱荣海，刘继广，谢煊，陈超英，沈馨如，董颖，卢键，侯翔宇，
申请(专利权)人：上海华虹NEC电子有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]