固体摄像器件及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种固体摄像器件，具有设置了光电转换部（１１ａ）、垂直ＣＣＤ（２）、垂直总线部（１６）的半导体基板，垂直ＣＣＤ（２）具有传送通道（２ａ）、第一垂直传送电极（６）、第二垂直传送电极（９）和遮光膜（１３），将第一传送电极（６）和第二传送电极（９）配置成，在没形成传送通道（２ａ）的区域上第二传送电极（９）位于第一传送电极（６）的上面，在形成有传送通道（２ａ）的区域上，第一传送电极（６）和第二传送电极（９）相邻接，形成有第二传送电极（９）的传送通道（２ａ）的区域上的部分在上述半导体基板的厚度方向不与第一传送电极（９）重合。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
近年来，随着数字照相机和数字电影摄影机特别是带照相机的便携式电话的快速普及，固体摄像器件的需求急速发展。特别是近期，随着多像素化和动画对应的需求，要求固体摄像器件的高速驱动。作为其中之一的解决办法，已知有遮光膜也兼任着向垂直CCD(charge coupled device即，电荷耦合器件)的传送电极供给传送脉冲的分路布线结构(例如，参照日本特开平10-223881号公报)。使用图21～图29，说明具有分路布线结构的固体摄像器件的一例(现有例1)。首，说明固体摄像器件的整体结构。图21是概略地示出以前的具有分路布线结构的固体摄像器件的整体结构的结构图。如图21所示，在半导体基板101上的受光区域101a矩阵状地配置多个像素104来形成固体摄像器件。作为半导体基板101，例如可举出硅基板。此外，图21中示出的固体摄像器件采用线路间传送，各像素具有垂直CCD102和光电二极管部111。在半导体基板101上，与最终行的垂直CCD102邻接地形成着水平CCD103。在水平CCD103的输出端设置着输出放大器103b。垂直CCD102和水平CCD103具有电荷传本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种固体摄像器件，其特征在于，具有设置了传送信号电荷的电荷传送部和向电荷传送部供给传送脉冲的总线部的半导体基板；电荷传送部具有：形成在上述半导体基板上的传送通道；在上述传送通道上横切其而设置的多个第一传送电极和多个第二传送电极；覆盖上述传送通道形成在上述第一传送电极和上述第二传送电极的上面的遮光膜；上述总线部具有供给不同的传送脉冲的多个总线布线，上述多个总线布线分别与上述多个第一传送电极和上述多个第二传送电极中的某一个连接；将上述多个第一传送电极和上述多个第二传送电极配置成，至少在与形成上述总线布线的区域在上述半导体基板的厚度方向重合的区域中，上述第二传送电极位于上述第一传送电极的上面，在形成...

【技术特征摘要】
JP 2005-4-1 106681/20051.一种固体摄像器件，其特征在于，具有设置了传送信号电荷的电荷传送部和向电荷传送部供给传送脉冲的总线部的半导体基板；电荷传送部具有形成在上述半导体基板上的传送通道；在上述传送通道上横切其而设置的多个第一传送电极和多个第二传送电极；覆盖上述传送通道形成在上述第一传送电极和上述第二传送电极的上面的遮光膜；上述总线部具有供给不同的传送脉冲的多个总线布线，上述多个总线布线分别与上述多个第一传送电极和上述多个第二传送电极中的某一个连接；将上述多个第一传送电极和上述多个第二传送电极配置成，至少在与形成上述总线布线的区域在上述半导体基板的厚度方向重合的区域中，上述第二传送电极位于上述第一传送电极的上面，在形成有述传送通道的区域上，上述第一传送电极和上述第二传送电极相邻；将上述第二传送电极形成为，形成了该上述传送通道的区域上的部分在上述半导体基板的厚度方向至少不与被施加不同传送脉冲的上述第一传送电极重合。2.如权利要求1所述的固体摄像器件，其特征在于，上述电荷传送部包括在垂直方向上传送上述信号电荷的垂直电荷传送部；上述垂直电荷传送部的上述传送通道沿着垂直方向设有多个；上述垂直电荷传送部的上述第一传送电极和上述第二传送电极横切着上述垂直电荷传送部的上述多个传送通道而设置；将上述垂直电荷传送部的上述第二传送电极形成为，形成了该上述垂直电荷传送部的上述传送通道的区域上的部分在上述半导体基板的厚度方向不与上述垂直电荷传送部的上述第一传送电极重合。3.如权利要求2所述的固体摄像器件，其特征在于，上述垂直电荷传送部的上述遮光膜分别覆盖上述垂直电荷传送部的上述多个传送通道而形成；上述遮光膜在形成有上述传送通道的区域，通过接触孔与上述垂直电荷传送部的上述第一传送电极或上述第二传送电极连接。4.如权利要求2所述的固体摄像器件，其特征在于，在上述半导体基板上还设有将入射光转换为信号电荷的光电转换部；上述光电转换部在上述半导体基板上沿着垂直方向和水平方向矩阵状地配置有多个。5.如权利要求4所述的固体摄像器件，其特征在于，在上述半导体基板上形成有使在垂直方向相互邻接的上述光电转换部分离的像素分离部；将上述垂直电荷传送部的上述第二传送电极形成为，形成有该上述像素分离部的区域上的部分，也在上述半导体基板的厚度方向不与上述垂直电荷传送部的上述第一传送电极重合。6.如权利要求1所述的固体摄像器件，其特征在于，上述电荷传送部包括在上述水平方向上传送上述信号电荷的水平电荷传送部；上述水平电荷传送部的上述传送通道沿着水平方向设置；上述水平电荷传送部的上述第一传送电极和上述第二传送电极横切着上述水平电荷传送部的上述传送通道而设置；将上述水平电荷传送部的上述第二传送电极形成为，形...

【专利技术属性】
技术研发人员：山田彻，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]