【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种用于在衬底表面上形成材料层的化学气相沉积法,包括使用柱形立式氢化物气相外延(HVPE)生长反应器,其具有延长的扩散层、均匀化隔膜、独立的侧壁气体加热器和衬底加热器、柱形侧壁气体清除管道和柱形侧壁气体出口缝。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:王望南,沙基依格雷维奇斯蒂帕诺夫,
申请(专利权)人:雷诺根公司,
类型:发明
国别省市:GB[英国]
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