【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种多晶硅薄膜制备方法,其特征包括有如下步骤:A.基底清洗,在超声清洗机中用清洗液和纯净水的混合液对基底进行表面清洗;B.多晶硅薄膜制备,将高纯硅作为靶材,当真空室体内压强抽到2×10↑[-4]Pa后,向真空室体充入氩气,真 空室体内压强达到0.5~5Pa时,在安装基底的工件车和真空室体间加200~1000V的偏压,占空比为45~80%;磁场强度300~500Gs;开始磁控溅射镀膜,在基底表面形成多晶硅薄膜;基底温度为25~30℃,镀膜时,真空室体温度为25~30℃。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:范多旺,王成龙,范多进,令晓明,孔令刚,
申请(专利权)人:兰州大成自动化工程有限公司,兰州交通大学,
类型:发明
国别省市:62[中国|甘肃]
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