【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种外观检查装置的基板保持装置，该外观检查装置将基板载置于框状的载物台上，进行基板的检查，其特征在于， 该基板保持装置具有：保持基板的背面周缘部的框上的载物台；在载物台的开口部内支撑基板的背面的支撑部件；以及进退单元，其使支撑部件选择地获取支撑基板的支撑位置和从基板退避的退避位置。
【技术特征摘要】
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