太阳能选择性吸收膜的连续卷绕镀膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及用于金属薄板带在真空条件下表面物理气相沉积的领域。一种太阳能选择性吸收膜的连续卷绕镀膜装置，包括开卷机组（１０），其主要特点设置的真空镀膜室包括有Ａ低真空室（２０ａ、２０ｂ），离子处理室（３０），Ｂ低真空室（４０），高真空室（５０），５个真空镀膜室（６０），室与室之间有法兰密封连接，并设有金属薄板带（１）通过的窗口（２）；Ａ低真空室（２０ａ、２０ｂ）、离子处理室（３０）、Ｂ低真空室（４０）、高真空室（５０）、真空镀膜室（６０）与真空机组（９０）相连；在真空镀膜室外还设有收卷机组（８０），连续镀膜的控制系统（１００）。这种装置的优点在于：可在金属薄板带上镀多层膜、反应膜，膜层厚度可独立进行控制，膜层均匀致密，附着力强适合工业化生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太阳能集热器
，具体涉及一种太阳能选择性吸收膜的连续巻绕镀膜装置。
技术介绍
平板型太阳集热器是集热器中一种基本的类型，结构简单、运行稳定可靠、成本适宜，还具有承压能力强、吸热面积大等特点，是太阳能与建筑结合最佳选择的集热器类型之一。太阳能选择性吸收膜是其核心部件之一，其性能好坏以及成本直接决定了集热器的热效率以及制造成本。对于太阳能选择性吸收膜的制备方法大体分为化学涂层法和真空镀膜法两种。如专利ZL91104451.5 ^Hf了一种通过直流阳才及氧化和交流电解方法制备太阳能选择性吸收层的方法及设备，该设备较为简单，且可以实现连续的生产，但制备的吸收膜层材料较为单一，因此吸收效率较低，且制备过程污染严重。国际上较为先进的制备选择性吸收膜的方法多采用真空镀膜技术。真空4 技术生产工艺不存在污染问题，膜光学性能优良。但就目前所公开的真空镀蹲方法存在以下的缺点(l)镀制膜层材料单一，从而影响选择性吸收膜的吸收效率；(2)各功能膜层的制备不能在同一真空室体中连续进行，不但影响生产效率，更为主要的是环境对膜层存在污染，从而影响薄膜效率，如专利99126652.8公开了一种光-热转换效率较高，机械强度较大且制造工艺相对简单的太阳能选择性吸收涂层及制备方法，其创新点为设计有活化金属层由偏压溅镀完成，铝/氧/氮复合层由磁控溅镀完成。对应于现有技术的真空镀膜设备则为间歇式真空镀膜设备，但这类设备存在以下缺点(l)每完成一个工序，都要打开真空室门，装卸带巻，生产效率低，不适合工业连续生产，如专利200810020179.1公开了一种太阳能选择性吸收涂层及其制备方法，制备工艺为将基体装入镀膜机中、负电压轰击清洗基体，随后通负偏压，'使钬耙通电，沉积TiN层；随后通入氧气，沉积TiO层和6Ti02。接着使Si02靶通电，通入氩气和氧气，沉积减反射层。(2)镀膜参数 难以保证一致，产品质量一致性差；(3)靶材由于冷却不良，每次装卸基片， 暴露大气后有一定程度的氧化和污染，影响膜层质量。
技术实现思路
本专利技术的目的在于避免现有技术的不足，提供一种太阳能选择性吸收膜 的连续巻绕4M装置。这种装置的优点在于可在金属薄板带上镀多层膜、 反应膜、膜层厚度可独立进行控制、膜层均匀致密、附着力强、适合工业化生产。为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案为 一种太阳能选择性吸收膜 的连续巻绕镀膜装置，包括开巻机组(IO),其主要特点设置的真空镀膜室 包括有A低真空室(20a、 20b)，离子处理室(30) ， B低真空室(40)， 高真空室(50) , 5个真空镀膜室(60)，室与室之间有法兰密封连接，并 设有金属薄板带(1)通过的窗口 (2) ; A低真空室(20a、 20b)、离子处 理室(30) 、 B低真空室(40)、高真空室(50)、真空镀膜室(60)与真 空机组(90)相连；在真空镀膜室外还设有收巻机组(80)，连续镀膜的控 制系统(100)。所述的太阳能选择性吸收膜的连续巻绕镀膜装置，所述的开巻机组(10 ) 包括上巻滚轮(10-1),开巻滚轮(10-2)，在上巻滚轮(10-1)与开巻 滚轮(10-2 )的前方设有切头(10-3 )、焊接(10-4 );在1#S辊(10-5) 和2#S辊(10-7 )之间设有入口金属薄板带(1)张紧轮系统(10-6 );在 2#S辊(10-7 )之后设有清洗系统(10-8 )，热风干燥(10-9 )。所述的太阳能选择性吸收膜的连续巻绕镀膜装置，所述的A低真空室(20a、 20b )包括有室体(20-1)，其内设有隔板(20-1-1)将室体(20-1) 分隔成2-6个真空室；隔板(20-1-1)上设有金属薄板带(1)通过的窗口(2);在室体(20-1 )的入口处或出口处或室体(20-1)部隔板的窗口 (2) 处设有密封输送辊装置(20-2)，动力驱动机构(20-3)设于密封输送辊装 置(20-2)上；室体(20-1)的上部设有上盖(20-4)，其间设有上盖密封 装置(20-6 ),下部设有机架(20-5 );室体连接处设有密封装置(20-7 ); 室体(20-1)内与滑阀泵机组(90-1、 90-2)、罗茨泵(90-3)相连通；A低真空室(20a、 20b)的真空度为300Pa-2000Pa。所述的太阳能选择性吸收膜的连续巻绕镀膜装置，所述的密封输送辊装置(20-2 )包括相互平行的两个橡胶辊(20-2-3)支撑于两端的轴承座(20-2-5)上，传动齿轮(20-2-1)分别设于两个橡胶辊(20-2-3)的两端，在橡胶辊(20-2-3)轴的一端连接有动力驱动机构(20-3);在橡胶辊(20-2-3)轴的两端设有弹簧(20-2-2)，密封板(20-2-4)设于橡胶辊(20-2-3)上；在金属薄板带(1)通过的窗口 (2)的两侧设有通过密封垫(20-2-6)与室体连接的联结座(20-2-7),其上设有弹簧片(20-2-8)，将塑料板(20-2-9)压紧在两个橡胶辊(20-2-3)上。所述的太阳能选择性吸收膜的连续巻绕镀膜装置，所述的离子处理室(30)包括有室体(30-1)，其内设有隔板(30-1-1)将室体(30-1)分隔成2-4个真空室；在室体(30-1)的两端及隔板(30-1-1)上设有金属薄板带(l)通过的窗口 (2);在室体(30-1)内设有高压离子处理系统(30-2);在室体(30-1 )内设有布气系统(30-3 );室体(30-1 )的上部设有上盖(30-4 )，其间设有上盖密封装置(30-7),中部设有观察窗(30-5)，下部设有机架(30-6);室体连接处设有密封装置(30-8);室体(30-1)内与滑阀泵机组、罗茨泵(9.0-4)相连通；离子处理室(30)的真空度为lPa-5Pa。所述的太阳能选择性吸收膜的连续巻绕镀膜装置，所述的B低真空室(40)包括有室体(40-1)，其内设有隔板(40-1-1)'将室体(40-1)分隔成2-4个真空室；在室体(40-1)的两端及隔板(40-1-1)上设有金属薄板带(1)通过的窗口 ( 2 );室体(40-1)的上部设有上盖(40-2 )，其间设有上盖密封装置(40-3 )，中部设有观察窗(40-5 ),下部设有机架(40-6 );室体连接处设有密封装置(40-4);室体(40-1)内与滑阀泵机组、罗茨泵(90-5)相连通；B低真空室(40)的真空度为1Pa-350Pa。所述的太阳能选择性吸收膜的连续巻绕镀膜装置，所述的高真空室(50)包括有室体(50-1),其内设有隔板(50-1-1)将室体(50-1)分隔成2-4个真空室；在室体(50-1)的两端及隔板(50-1-1)上设有金属薄板带(1)通过的窗口 (2);室体(50-1)的上部设有上盖(5Q-2)，其间设有上盖密封装置(50-4),下部设有机架(50-3);室体连接处设有密封装置(50-5 );室体(50-1)内与扩散泵、滑阀泵积i且、罗茨泵(90-6)相连通；高真空室(50 )的真空度为7 x 10-3Pa-5Pa。所述的太阳能选择性吸收膜的连续巻绕镀膜装置，所述的镀膜室(60)包括有室体(60-1);其内设有隔板(60-1-1)将室体(60-1)分隔成2-4个真空室本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳能选择性吸收膜的连续卷绕镀膜装置，包括开卷机组（１０），其特征在于设置的真空镀膜室包括有Ａ低真空室（２０ａ、２０ｂ），离子处理室（３０），Ｂ低真空室（４０），高真空室（５０），５个真空镀膜室（６０），室与室之间有法兰密封连接，并设有金属薄板带（１）通过的窗口（２）；Ａ低真空室（２０ａ、２０ｂ）、离子处理室（３０）、Ｂ低真空室（４０）、高真空室（５０）、各真空镀膜室与真空机组（９０）相连；在真空镀膜室外还设有收卷机组（８０），连续镀膜的控制系统（１００）。

【技术特征摘要】
1.一种太阳能选择性吸收膜的连续卷绕镀膜装置，包括开卷机组(10)，其特征在于设置的真空镀膜室包括有A低真空室(20a、20b)，离子处理室(30)，B低真空室(40)，高真空室(50)，5个真空镀膜室(60)，室与室之间有法兰密封连接，并设有金属薄板带(1)通过的窗口(2)；A低真空室(20a、20b)、离子处理室(30)、B低真空室(40)、高真空室(50)、各真空镀膜室与真空机组(90)相连；在真空镀膜室外还设有收卷机组(80)，连续镀膜的控制系统(100)。2. 如权利要求1所述的太阳能选择性吸收膜的连续巻绕镀膜装置，其特征 在于所述的开巻机组(10)包括上巻滚轮(10-1)，开巻滚轮(10-2 ), 在上巻滚轮(10-1)与开巻滚轮(10-2 )的前方设有切头(10-3 )、焊接(10-4 );在1#S辊(10-5 )和2#S辊(10-7 )之间设有入口金属薄板带 (1)张紧轮系统(10-6 );在2#S辊(10-7 )之后设有清洗系统(10-8 )， 热风干燥(10-9)。3. 如权利要求1所述的太阳能选择性吸收膜的连续巻绕镀膜装置，其特征在 于所述的A低真空室(20a、 20b)包括有室体(20-1)，其内设有隔板(20-1-1)将室体(20-1)分隔成2-6个真空室；隔板(20-1-1)上设有 金属薄板带(1)通过的窗口 (2);在室体(20-1)的入口处或出口处或 室体(20-1)中部隔板的窗口 (2)处设有密封输送辊装置(20-2)，动 力驱动机构(20-3 )设于密封输送辊装置(20_2 )上；室体(20-1)的上 部设有上盖(20-4 )，其间设有上盖密封装置(20-6 ),下部设有机架(20-5 ); 室体连接处设有密封装置(20-7 );室体(20-1)内与滑阀泵机组(90-1、 90-2 )、罗茨泵(90-3)相连通；A低真空室(20a、 20b)的真空度为300Pa-200Pa。4 如权利要求3所述的太阳能选择性吸收膜的连续巻绕镀膜装置，其特征在 于所述的密封输送辊装置(20-2)包括相互平行的两个橡胶辊(20-2-3) 支撑于两端的轴承座(20-2-5)上，传动齿轮(20-2-1)分别设于两个橡胶辊 (20-2-3)的两端，在橡胶辊(20-2-3)轴的 一 端连接有动力驱动机构 (20-3);在橡胶辊(20-2-3)轴的两端设有弹簧(20-2-2)，密封板(20-2-4) 设于橡胶辊(20-2-3)上；在金属薄板带(1)通过的窗口 (2)的两侧设有 通过密封垫(20-2-6)与室体连接的联结座(20-2-7),其上设有弹簧片 (20-2-8)，将塑料板(20-2-9)压紧在两个橡胶辊(20-2-3)上。5. 权利要求1所述的太阳能选择性吸收膜的连续巻绕镀膜装置，其特征在 于所述的离子处理室(30)包括有室体(30-1)，其内设有隔板(30-1-1) 将室体(30-1 )分隔成2-4个真空室；在室体(30-1 )的两端及隔板(30-l-l) 上设有金属薄板带(1)通过的窗口 (2);在室体(30-1)内设有高压离 子处理系统(30-2 );在室体(30-1)内设有布气系统(30-3 );室体(30-1) 的...

【专利技术属性】
技术研发人员：范多望，范多进，令晓明，孔令刚，
申请(专利权)人：兰州大成自动化工程有限公司，
类型：发明
国别省市：62[]