具有对准单元的基板接合装置以及使用该装置对准基板的方法制造方法及图纸

本公开是一种具有对准单元的基板接合装置以及使用该装置对准基板的方法。该装置包括具有放置第一基板的第一表面板的第一腔。第二腔与第一腔隔开设置。第二腔具有放置第二基板的第二表面板。第二基板与第一基板接合。对准单元安装于第一和第二腔中的至少一个。对准单元能够在第一与第二基板之间执行六自由度对准。因此，两个基板的水平状态及其间的间距能够被自动调节，从而实现改进的表面板对准效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于接合基板的装置，更具体地，涉及一种具 有对准单元的基板接合装置以及使用该装置对准基板的方法，其中 对准单元能够使用多个致动器实现六自由度对准。
技术介绍
基板接合装置用于将薄膜显示装置的两个基板彼此接合(bond)。薄膜显示装置的实例包括TFT-LCD面板、PDP、 OLED 等。这些薄膜显示装置以这样的方式制造TFT基板与滤色片基板 接合，使得它们彼此相对并在其间具有几微米的间隙。TFT基板设 置有以矩阵形式形成的多个TFT (薄膜晶体管)，并且滤色片基板 由滤色片、遮光薄膜等形成。基板接合通过按压两个基4反来完成。因此，基板接合装置包括 第一腔以及与第一腔隔开的第二腔。每个腔均设置有其上附有基板 的表面板(surface plate )。然后，第一腔在精确地保持两个表面板 ;f皮此平4亍的同时下降。在基4反-波此更加靠近之后，4丸行两个基4反的 接合。同时，如果没有严格地保持两个表面板之间的对齐，在基板接 合的对准操作期间就会产生对准误差。因此，在处理之前，必须完 成安装于腔的表面板的精确对准。在这种情况下，通过使用 一个或多个螺栓将表面板紧固在聽上 来完本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于接合基板的装置，所述装置包括：第一腔，具有其上放置有第一基板的第一表面板；第二腔，与所述第一腔隔开设置，所述第二腔具有其上放置有第二基板的第二表面板，所述第二基板与所述第一基板接合；以及对准单元，安装于所述第 一和第二腔中的至少一个，所述对准单元适于在所述第一与第二基板之间执行六自由度对准。

【技术特征摘要】
KR 2006-8-25 10-2006-00811411. 一种用于接合基板的装置，所述装置包括第一腔，具有其上放置有第一基板的第一表面板；第二腔，与所述第一腔隔开设置，所述第二腔具有其上 放置有第二基板的第二表面板，所述第二基板与所述第一基板 接合；以及对准单元，安装于所述第一和第二腔中的至少一个，所 述对准单元适于在所述第一与第二基板之间执行六自由度对 准。2. 根据权利要求1所述的装置，其中，所述对准单元包括连接板，适于可根据所述六自由度对准而移位； 支撑板，与所述连接板隔开设置；以及多个致动器，安装在所述连接板与所述支撑板之间，所 述致动器的一端枢转连接于所述连接板，并且所述致动器的另 一端枢转连接于所述支撑板。3. 根据权利要求2所述的装置，其中，所述多个致动器包括第一 致动器、第二致动器、第三致动器、第四致动器、第五致动器、 以及第六致动器，这些所述致动器安装于不同的位置，以便于 能够彼此协同操作。4. 根据权利要求3所述的装置，其中，所述对准单元设置在所述 第一腔与所述第一表面板之间，并且所述连4妄4反结合于所述第 一表面板，所述支撑板结合于所述第一腔。5. 根据权利要求3所述的装置，其中，所述对准单元设置在所述 第二腔与所述第二表面板之间，并且所述连接板结合于所述第二表面板，所述支撑板结合于所述第二腔。6. 根据权利要求3所述的装置，其中，所述对准单元被设置成支 撑所述第一腔，并且所述连接板结合于所述第一腔。7. 根据权利要求3所述的装置，其中，所述对准单元被设置成支 撑所述第二腔，并且所述连接板结合于所述第二腔。8. 根据权利要求3所述的装置，其中，所述对准单元被设置成以 这样的方式支撑所述第一表面板所述连接板连接于所述第一 表面板，并且所述多个致动器穿过所述第一腔。9. 根据权利要求8所述的装置，其中，波紋管安装在所述多个致 动器的周围，以密封所述致动器以及所述第 一腔的通孔。10. 才艮据权利要求3所述的装置，其中，所述对准单元^皮i殳置成以 这样的方式支撑所述第二表面板所述连接板连接于所述第二 表面板，并且所述多个致动器穿过所述第二腔。11. 根据权利要求IO所述的装置，其中，波紋管安装在所述多个 致动器的周围，以密封所述致动器以及所述第二腔的通孔。12. 根据权利要求3所述的装置，其中，所述第一表面板设置有用 于将所述第一基板附于其上的多个第...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴时玄，
申请(专利权)人：爱德牌工程有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]