具有对准单元的基板接合装置以及使用该装置对准基板的方法制造方法及图纸

本公开是一种具有对准单元的基板接合装置以及使用该装置对准基板的方法。该装置包括具有放置第一基板的第一表面板的第一腔。第二腔与第一腔隔开设置。第二腔具有放置第二基板的第二表面板。第二基板与第一基板接合。对准单元安装于第一和第二腔中的至少一个。对准单元能够在第一与第二基板之间执行六自由度对准。因此，两个基板的水平状态及其间的间距能够被自动调节，从而实现改进的表面板对准效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于接合基板的装置，更具体地，涉及一种具 有对准单元的基板接合装置以及使用该装置对准基板的方法，其中 对准单元能够使用多个致动器实现六自由度对准。
技术介绍
基板接合装置用于将薄膜显示装置的两个基板彼此接合(bond)。薄膜显示装置的实例包括TFT-LCD面板、PDP、 OLED 等。这些薄膜显示装置以这样的方式制造TFT基板与滤色片基板 接合，使得它们彼此相对并在其间具有几微米的间隙。TFT基板设 置有以矩阵形式形成的多个TFT (薄膜晶体管)，并且滤色片基板 由滤色片、遮光薄膜等形成。基板接合通过按压两个基4反来完成。因此，基板接合装置包括 第一腔以及与第一腔隔开的第二腔。每个腔均设置有其上附有基板 的表面板(surface plate )。然后，第一腔在精确地保持两个表面板 ;f皮此平4亍的同时下降。在基4反-波此更加靠近之后，4丸行两个基4反的 接合。同时，如果没有严格地保持两个表面板之间的对齐，在基板接 合的对准操作期间就会产生对准误差。因此，在处理之前，必须完 成安装于腔的表面板的精确对准。在这种情况下，通过使用 一个或多个螺栓将表面板紧固在聽上 来完成表面^^的对准。通常，通过^f吏用^fe平器以及水平调节工具手 动完成这种对准工作。
技术实现思路
在传统的表面^反对准的情况下，由4支术工人来调节平坦性和平 行度。因此，需要花费大量时间来进行表面板的调节，并且根据工 人^支术的不同^f吏得完成的对准也不同。此外，由于基板接合装置^皮重复使用，所以可能会石皮坏表面板 的对准状态。因此，需要定期调节表面板的对准状态。此外，在使 用多个表面板以接合大面积基板的情况下，难以将所有的表面板对 准成为同一^J准4犬态。因此，本专利技术致力于解决现有4支术中出现的上述问题，并且本 专利技术的目的在于提供一种具有能够实现六自由度对准的对准单元 的基板接合装置。本专利技术的另 一 目的在于提供一种使用这种基板接合装置对准 基板的方法。为了达到上述目的，根据本专利技术，提供一种用于接合基板的装 置。该装置包括第一腔，该第一腔具有其上放置有第一基板的第一 表面板。第二腔与第一腔隔开设置。该第二腔具有放置有第二基板 的第二表面板。第二基板与第一基板接合。对准单元安装于第一和 第二腔中的至少 一 个。对准单元适于在第 一 与第二基板之间执行六 自由度2寸准。根据本专利技术的另一方面，提供一种调节用于接合第一和第二基 板的装置中的第 一基板与第二基板之间的距离的方法。该方法包括以下步骤测量彼此相对的第一与第二基板之间的距离；以及根据 测量结果，通过使用具有多个致动器的六自由度对准单元来调节第 一与第二基板之间的距离。根据本专利技术的基板接合装置和基板对准方法，能够以六自由度 自动对准并调节两个表面4反的水平状态及其间的间3巨。因此，与传 统的手动调节表面板之间的间隔相比较，能够实现改进的对准效率。此外，通过基才反4妄合装置和基才反对准方法，能够以更有效的方 式执行对基板接合装置的维修，并且能够不断地并自动地执行表面 板之间的间距的调节，从而进一 步提高基板接合的产率。附图说明通过以下结合附图对本专利技术优选实施例的详细描述，本专利技术的 上述和其它目的、特4正和优点将变得更加明显，附图中图1是示出根据本专利技术第一实施例的基板接合装置的示意性截 面图；图2是示出根据本专利技术第一实施例的对准单元的放大透视图；图3是解释4艮据本专利技术第一实施例的基板接合装置中的基板对 准方法的流程图；图4是示意性地示出根据本专利技术第二实施例的基板接合装置的 截面图；图5是示意性地示出才艮据本专利技术第三实施例的基板接合装置的 截面图； 图6是示意性地示出根据本专利技术第四实施例的基板接合装置的 截面图；图7是示意性地示出根据本专利技术第五实施例的基板接合装置的 截面图；图8是示意性地示出才艮据本专利技术第六实施例的基板4妄合装置的 截面图；以及图9是示意性地示出根据本专利技术第七实施例的基板接合装置的 截面图。具体实施方式现在，参照附图，将详细描述本专利技术的优选实施例。 第一实施例图1是示意性地示出根据本专利技术第一实施例的基板接合装置的 截面图，其中该装置通常以100表示。参照图1，基板接合装置包 才舌第一腔110、第二腔130、以及对准单元150。第一腔110与第二 月空130之间形成有处理空间la,在该处理空间，第一基4反S1和第 二基板S2彼此接合。第一和第二基板Sl和S2可以是TFT基板或 滤色片基板。第一腔110 i殳置有其上》文置有第一基4反Sl的第一表面板111。 第一表面板111设置有用于连接第一基板S1的第一^)^盘113。第一 表面板111与第一^盘113之间安装有用于使第一-^盘113结合于 第一表面才反111的第一-^盘4反115。第二腔130设置有其上放置有第二基板S2的第二表面板131。 第二表面板131设置有用于连接第二基板S2的第二卡盘133。第二 表面^反131与第二卡盘133之间安装有用于4吏第二卡盘133结合于 第二表面4反131的第二卡盘纟反135。第一和第二表面^反ill和131中的^f壬意一个i殳置有用于测量第 一表面板111与第二表面板131之间的间距的间距传感器117。间 距传感器117安装于多个不同的位置。例如，四个间距传感器117 可分别安装于第一表面板111的每个角，以指向第二表面板131。 间距传感器117可采用无触点传感器，例如激光传感器或超声波传 感器。第一和第二卡盘113和133可采用静电卡盘(ESC ),该静电卡 盘通过4吏用静电力能够附上第一和第二基板S1和S2。静电卡盘以 这样的方式配置正负电极设置在具有期望厚度的绝缘体的内部， 并且电力施加于这些电才及，以产生静电力。即，由于电介质4及4b, 基板表面显示出人造极性，从而产生静电力。照相机171安装于第一腔110的上侧部，用于拍下形成在提供 的第一和第二基板Sl和S2(以下称为两个基才反)中的对准标记(未 示出)。在第二腔130的下侧部i殳置有照明装置173，用于照亮照相 机171侧，使得照相机171能够拍下对准标记(未示出)。此外， 在第一力空110与第二月空130之间形成有照相孔171a，其可穿过第一 腔110与第一^盘113之间，并且在第一腔110与第二腔130之间 形成有照明孔173a，其可穿过第二腔130与第二卡盘113之间。第一腔110被安装成由升降驱动单元190支撑。升降驱动单元 190被设置成，当接合两个基板Sl和S2时，第一腔110下降以封 闭(seal)处理空间la。在两个基板Sl和S2接合之前和之后，第一腔110上升，以打开处理空间la,从而便于两个基才反Sl和S2 的运输。另一方面，尽管未示出，第一腔110和第二腔130可设置有排 气泵(未示出)以及供气泵(未示出)。排气泵用于在接合两个基 板Sl和S2时将处理空间la变成真空状态。供气泵用于将处理气 体提供到处理空间la中，以便于向两个基板S1和S2力口压。此夕卜， 第一和第二腔110和130可i殳置有升降销(未示出)以及升降驱动 单元(未示出)，用于引导被引入处理空间la的两个基板S1和S2， 使其进入第一^盘113和第二卡盘133。另一方面，第一表面一反》于准单元150a i殳本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于接合基板的装置，所述装置包括：第一腔，具有其上放置有第一基板的第一表面板；第二腔，与所述第一腔隔开设置，所述第二腔具有其上放置有第二基板的第二表面板，所述第二基板与所述第一基板接合；以及对准单元，安装于所述第 一和第二腔中的至少一个，所述对准单元适于在所述第一与第二基板之间执行六自由度对准。

【技术特征摘要】
KR 2006-8-25 10-2006-00811411. 一种用于接合基板的装置，所述装置包括第一腔，具有其上放置有第一基板的第一表面板；第二腔，与所述第一腔隔开设置，所述第二腔具有其上 放置有第二基板的第二表面板，所述第二基板与所述第一基板 接合；以及对准单元，安装于所述第一和第二腔中的至少一个，所 述对准单元适于在所述第一与第二基板之间执行六自由度对 准。2. 根据权利要求1所述的装置，其中，所述对准单元包括连接板，适于可根据所述六自由度对准而移位； 支撑板，与所述连接板隔开设置；以及多个致动器，安装在所述连接板与所述支撑板之间，所 述致动器的一端枢转连接于所述连接板，并且所述致动器的另 一端枢转连接于所述支撑板。3. 根据权利要求2所述的装置，其中，所述多个致动器包括第一 致动器、第二致动器、第三致动器、第四致动器、第五致动器、 以及第六致动器，这些所述致动器安装于不同的位置，以便于 能够彼此协同操作。4. 根据权利要求3所述的装置，其中，所述对准单元设置在所述 第一腔与所述第一表面板之间，并且所述连4妄4反结合于所述第 一表面板，所述支撑板结合于所述第一腔。5. 根据权利要求3所述的装置，其中，所述对准单元设置在所述 第二腔与所述第二表面板之间，并且所述连接板结合于所述第二表面板，所述支撑板结合于所述第二腔。6. 根据权利要求3所述的装置，其中，所述对准单元被设置成支 撑所述第一腔，并且所述连接板结合于所述第一腔。7. 根据权利要求3所述的装置，其中，所述对准单元被设置成支 撑所述第二腔，并且所述连接板结合于所述第二腔。8. 根据权利要求3所述的装置，其中，所述对准单元被设置成以 这样的方式支撑所述第一表面板所述连接板连接于所述第一 表面板，并且所述多个致动器穿过所述第一腔。9. 根据权利要求8所述的装置，其中，波紋管安装在所述多个致 动器的周围，以密封所述致动器以及所述第 一腔的通孔。10. 才艮据权利要求3所述的装置，其中，所述对准单元^皮i殳置成以 这样的方式支撑所述第二表面板所述连接板连接于所述第二 表面板，并且所述多个致动器穿过所述第二腔。11. 根据权利要求IO所述的装置，其中，波紋管安装在所述多个 致动器的周围，以密封所述致动器以及所述第二腔的通孔。12. 根据权利要求3所述的装置，其中，所述第一表面板设置有用 于将所述第一基板附于其上的多个第...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴时玄，
申请(专利权)人：爱德牌工程有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]