用于附着基板的设备及其间隙控制单元制造技术

本发明专利技术公开了一种用于附着基板的设备，该设备包括用于支撑第一基板的第一腔室以及用于支撑第二基板的第二腔室。主密封件设置于第一腔室与第二腔室之间以保持腔室之间的密封和间隙。对准控制部设置于第一腔室与第二腔室之间以便保持密封，并且还使第二腔室相对于第一腔室移动以对准基板。该对准控制部还可控制腔室之间的间隙，从而保持基板之间的均匀间隙。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及一种用于附着基板的设备及其间隙控制单元。
技术介绍
用于附着基板的设备用来使平板显示装置的两个基板彼此附着。薄形平板显示装 置可以是薄膜晶体管液晶显示(TFT-IXD)面板、等离子显示面板(PDP)、OLED或一些其它类 型的显示装置。TFT-IXD装置通常包括TFT基板，其上以矩阵的形式形成有多个TFT(薄膜晶体 管)；以及滤色片基板，其上形成有滤色片或遮光膜。这两个基板彼此相对，并且以几微米 的间隙彼此附着。通过以下步骤进行基板附着首先将基板相对于彼此对准，使它们彼此附着，然后 使用压力将这两个基板压在一起。用于附着基板的设备通常包括第一腔室以及与第一腔室 隔开的第二腔室。每个腔室的内表面均设置有用于在附着之前保持基板的静电卡盘(ESC)。 上腔室还可以包括真空卡盘。在附着过程中，将两个基板传送到设备内并将它们安装于上腔室和下腔室上。将 第一腔室和第二腔室合在一起以形成密封附着空间。然后，用泵对该密封附着空间进行真 空排气，以便在该密封附着空间的内部形成真空状态。在第一腔室与第二腔室之间设置有 密封件，以维持密封附着空间内的真空。然后将基板彼此对准，并将两个基板彼此附着在一 起。仅在两个基板已被放置成彼此紧密邻接之后才进行两个基板的附着。基板必须 被放置成紧密接近以便使它们精确地对准，这对所形成的显示装置的质量来说是非常重要 的。当基板被放置成彼此接近时，使用上述的密封件来维持密封附着空间内的真空。 当基板彼此紧密接近时，并且在附着之前，密封件还有助于控制基板之间的间隙。基板之间 的间隙可以通过密封件的压低(expression)量来决定。用于附着基板的设备中的另一个重要因素是使一个或两个腔室进行水平移动以 将基板适当对准的能力。在用于附着基板的传统设备中，在维持真空状态的同时，间隙保持 和水平移动单独地进行。但是，当这些过程顺序进行时，要用很长时间来完成整个过程。
技术实现思路
为了解决与现有技术相关的以上和其它问题而提出本专利技术。本专利技术的特征在于提 供一种用于附着基板的设备及其间隙控制单元，该间隙控制单元能够在保持真空状态的同 时保持和控制腔室之间的均勻间隙，还能够进行腔室的水平移动。为了实现本专利技术的特征，提供了一种用于附着基板的设备，该设备包括主框架； 第一腔室，安装于主框架上，该第一腔室可以保持第一基板；第二腔室，安装于主框架上，该 第二腔室可以保持第二基板，其中，第一腔室和第二腔室可以合在一起以形成密封附着空 间；主密封件，位于第一腔室与第二腔室之间，其中，该主密封件可保持密封附着空间的密 封；以及对准控制装置，位于第一腔室与第二腔室之间，其中，该对准控制装置也保持密封 附着空间的密封，并且其中，该对准控制装置允许第一腔室和第二腔室中的至少一个腔室 相对于第一腔室和第二腔室中的另一个腔室移动，从而可以在仍然保持密封附着空间的密 封的同时将基板对准。附图说明将参照附图对实施例进行详细描述，附图中相同参考标号表示相同部件，并且附图中图1是示出了用于附着基板的设备的第一实施例的侧部截面图；图2是示出了用于附着基板的设备的对准控制部的分解透视图；图3和图4示出了对准控制部的操作；图5是示出了用于附着基板的设备的另一实施例的侧部截面图；图6是示出了图5所示设备的对准控制部的放大图；图7示出了图5所示设备的对准控制部的操作；图8是示出了用于附着基板的设备的对准控制部的另一实施例的分解透视图；图9是图8所示设备的平面图；图10是示出了用于附着基板的设备的对准控制部的另一实施例的分解透视图；图11是图10所示设备的平面图；图12是示出了用于附着基板的设备的对准控制部的另一实施例的放大图；图13是示出了图12所示的对准控制部的分解透视图；图14是图13所示设备的平面图；图15是示出了用于附着基板的设备的对准控制部的又一实施例的分解透视图； 以及图16是图15所示设备的平面图。 具体实施例方式将参照附图更加详细地描述多个实施例。只要有可能，相同的参考标号将用来表 示具有相同功能的部件。图1示出了用于附着基板的设备100。如图1所示，用于附着基板的设备100设置 有支撑框架190，该支撑框架形成设备的外形。第一腔室110位于支撑框架190内部的上部 处。第二腔室120位于第一腔室110下方。第一腔室110和第二腔室120可以合在一起以 在它们之间形成密封附着空间。基板Sl和S2可为任何显示装置的上基板和下基板，诸如 IXD显示器的TFT基板或滤色片基板。第一腔室110支撑第一基板Si，并且第二腔室120支撑第二基板S2。为此，第一腔 室110和第二腔室120的内表面分别设置有第一卡盘102和第二卡盘158。第一卡盘102和第二卡盘158可以为静电卡盘(ESC)、真空卡盘、ESC和真空卡盘的结合、以及能够将基板 牢固地保持在上腔室和下腔室上的任何其它类型的卡盘。ESC卡盘通过DC电力的施加所产生的静电力来保持基板Sl和S2。该ESC可以是 这样的ESC，其中膜被附着在铝本体上。可使用不同类型的膜，诸如其中插入有聚酰亚胺电 极的类型。而且，尽管未示出，第一腔室110和第二腔室120可设置有用于对准基板Sl和S2 的多个工作台。这些工作台可用来沿χ、γ方向并可能以转动方式移动这两个基板中的一个 或两个，以便正确地对准基板。还可以使用一个或多个摄像机或成像装置来检测对准标记， 目的在于对准基板。可以使用驱动部来移动这两个腔室中的一个或两个，以将它们合在一起。而且，可 以使用一个或多个真空泵在密封附着空间内产生真空。对准控制部140围绕第一腔室和第二腔室的周边而延伸。该对准控制部允许第二 腔室120相对于第一腔室110进行滑动移动。对准控制部140设置于第一腔室110与第二 腔室120之间，以便保持附着空间的密封。该对准控制部还用来控制腔室之间的间隙，进而 控制基板之间的间隙。该对准控制部允许基板在仍然保持密封和间隙的同时相对于彼此移 动以完成对准。如图3和图4所示，主密封件132保持基板Sl和S2之间的密封和间隙。主密封 件132固定于第一腔室110，并用来控制基板Sl和S2之间的间隙。主密封件132由固定板 182固定。如图2所示，对准控制部140包括辅助密封件112，该辅助密封件与第二腔室120 紧密接触，并且无论第二腔室120如何移动，该辅助密封件始终保持密封状态。主体142容 纳辅助密封件112，并且螺钉144将主体142固定于第二腔室120，同时保持预定间隙。主 体142还设置有与第二腔室120相接触的球法兰(ball flange) 150。安装孔142a比螺钉144具有更大的直径，以便允许螺钉144插入到该安装孔中并 在该安装孔中移动。形成有拉长孔152a的一个或多个垫圈152设置于安装孔142a与螺钉 144之间，从而将螺钉144支撑在主体142上。形成有拉长孔152a的垫圈152以及比螺钉 144具有更大直径的安装孔142a允许第二腔室120相对于第一腔室110水平移动，同时保 持密封附着空间内的真空以及间隙。图3和图4中示出了对准控制部140和第二腔室120的移动。图3和图4示出了， 在基板Sl和S2已被安装到第一腔室和第二腔室上之后，并且在第一腔室和第二腔室已合 在一起以形本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于附着基板的设备，所述设备包括：第一腔室；第二腔室，所述第一腔室和所述第二腔室可以合在一起以形成密封附着空间；本体，位于所述第一腔室与所述第二腔室之间；主密封件，能够保持所述本体和所述第一腔室之间的密封；以及第二密封件，能够保持所述本体与所述第二腔室之间的密封。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：崔凤焕，沈锡希，
申请(专利权)人：爱德牌工程有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]