【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种在平板显示器面板的衬底上淀积有机物质的方法，该方法包括：将衬底提供至处理空间，并在放置于所述处理空间中的夹具上支撑所述衬底；密封所述处理空间；通过设于所述处理空间的第一端的第一口和第二端的第二口对所述处理空间排气，从而在所述处理空间中形成真空；关闭所述第二口，从而终止通过该口的所述排气，而让所述第一口打开从而保持通过该口的所述排气；以及通过散布装置将有机源注入所述处理空间中，并将所述有机源淀积于所述衬底上，其中，通过在所述散布装置中形成的扩散空间接收并扩散来自源发生器的所述有机源；以及在所述散布装置中形成的多个散布孔自所述扩散空间延伸进所述处理空间中，从而将所述有机源散布进入所述处理空间中，其中，通过夹具移动模块支撑移动台并向上和向下移动所述移动台，从而使所述夹具被升高或降低。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：安泳雄，郑基泽，池钟烈，金相烈，
申请(专利权)人：爱德牌工程有限公司，
类型：发明
国别省市：
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