【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及基板处理系统，特别涉及用在基板处理系统中以方便传送基板的监视 系统。
技术介绍
平板显示器可包括液晶显示器、等离子显示板、有机发光二极管以及其它类似器 件。这些平板显示器可以利用包括处理室、加载锁定真空室和传送室的真空处理设备来制 造。 处理室处理基板的表面，例如，通过在真空中使用等离子、热能或类似物而进行蚀 刻处理。加载锁定真空室从外侧接收未处理基板，并将处理后的基板排放到外侧，同时在大 气状态和真空状态之间进行交替。当将基板引入处理室和由处理室排放时，传送室可以用 作中间保持地点。为此，传送室可以布置在处理室和加载锁定真空室之间。正确排序和传 送基板进出处理室，对于确保正确处理基板和防止基板在传送过程中受损是重要的。附图说明 下面将参照附图描述本专利技术的实施方式，在附图中以相同的附图标记表示类似的 元件。在附图中 图1A和1B是代表性处理室的剖视图，其中图1A示出了抬升销的升高状态，图1B 示出了抬升销的降低状态； 图2A和2B是图1A和1B中所示代表性处理室中安置的基板的俯视图，其中图2A 示出了基板的破裂状态，图2B示出了基板的错误加载状...
【技术保护点】
一种与用于处理基板的处理室一起使用的装置，所述装置包括：闸门阀传感器，其被构造成检测用于打开或关闭处理室中开口的闸门阀的位置并且输出相应的信号；判断装置，其被构造成从闸门阀传感器接收信号，以判断闸门阀处于相对于处理室中开口的打开还是关闭位置，并且输出相应的信号；以及通知装置，其被构造成从所述判断装置接收信号，并且提供闸门阀位置的视频和声频指示中的至少一种。
【技术特征摘要】
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