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本公开是一种具有对准单元的基板接合装置以及使用该装置对准基板的方法。该装置包括具有放置第一基板的第一表面板的第一腔。第二腔与第一腔隔开设置。第二腔具有放置第二基板的第二表面板。第二基板与第一基板接合。对准单元安装于第一和第二腔中的至少一个。...
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