用于处理衬底的设备和方法技术

一种用于处理衬底的群组设备，包括用以接收衬底的负载闭锁腔室、与负载闭锁腔室相邻的传送腔室、每个都具有面对传送腔室的侧面的一个或者多个处理腔室、以及位于传送腔室中用以将衬底装载或者卸载到负载闭锁腔室中或者一个或者多个处理腔室的至少一个中的机器人。旋转台包含在负载闭锁腔室中，用以支承衬底并将衬底旋转到希望取向。

【技术实现步骤摘要】

本申请描述的一个或者多个实施例涉及对衬底进行处理。
技术介绍
对显示器件需求的增加引起了技术快速进步。液晶、等离子体和其他平板显示器已很受欢迎，因为这些显示器与阴极射线管(CRT)显示器相比更 薄、更轻而且消耗的能量低。然而，由于这些显示器复杂的内部结构，用于 制造平板显示器的工艺成本高，并且比用于CRT显示器的工艺更难以实施。
技术实现思路
才艮据一个实施例，用于处理衬底的群组i殳备(cluster apparatus)包括 用于从外^4妄收衬底并临时存储该衬底的负载闭锁腔室、与负载闭锁腔室相 邻的传送腔室；每个都有一个与传送腔室相邻的側面的多个处理腔室、安装 在传送腔室中用以从所述负载闭锁腔室和多个处理腔室之一卸载衬底的传送 机器人、以及安装在负载闭锁腔室中用以旋转支承衬底的旋转台。每个处理 腔室可具有矩形形状的水平面积，每个处理腔室的矩形水平面积的一个长边 可与传送腔室相邻。还有，传送机器人可包括至少一对用于支承衬底的臂。 另夕卜，旋转台可包括在支承着衬底的同时被驱动升起的多个支承销，以及支 承多个支承销并被驱动旋转的旋转块。衬底可以是矩形板，当衬底从外界被装载进负载闭锁腔室中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于处理衬底的群组设备，包括：　用以接收衬底的负载闭锁腔室；　与所述负载闭锁腔室相邻的传送腔室；　一个或者多个处理腔室，每个所述处理腔室都具有面对所述传送腔室的侧面；　机器人，位于所述传送腔室中，用以将所述衬底装载到所述负载闭锁腔室或所述一个或者多个处理腔室的至少一个中，或者从所述负载闭锁腔室或所述一个或者多个处理腔室的至少一个中卸载；以及　旋转台，位于所述负载闭锁腔室中，用以支承所述衬底并将所述衬底旋转到希望取向。

【技术特征摘要】
KR 2008-4-18 10-2008-00359321.一种用于处理衬底的群组设备，包括用以接收衬底的负载闭锁腔室；与所述负载闭锁腔室相邻的传送腔室；一个或者多个处理腔室，每个所述处理腔室都具有面对所述传送腔室的侧面；机器人，位于所述传送腔室中，用以将所述衬底装载到所述负载闭锁腔室或所述一个或者多个处理腔室的至少一个中，或者从所述负载闭锁腔室或所述一个或者多个处理腔室的至少一个中卸载；以及旋转台，位于所述负载闭锁腔室中，用以支承所述衬底并将所述衬底旋转到希望取向。2. 如权利要求1所述的群组设备，其中，所述一个或者多个处理腔室的 每个都具有矩形形状的水平面积，并且所述矩形水平面积的一个长边与所述传送腔室相邻。3. 如权利要求1所述的群组设备，其中，所述机器人具有用于支承所述 衬底的至少一对臂。4. 如权利要求1所述的群组设备，其中，所述旋转台包括 用以支承并升起所述衬底的一个或者多个支承销；以及 支承所述一个或者多个支承销的旋转块。5. 如权利要求1所述的群组设备，其中，所述衬底具有矩形形状，其中， 所述衬底的短边先从外部位置被装栽进所述负载闭锁腔室，以及所述旋转台旋转所述衬底以使所述衬底的长边指向所述传送腔室，所述 衬底的长边先被装载进所述传送腔室，当在所述一个或者多个处理腔室中的 至少一个中进行处理后，所述旋转台进一步旋转所述衬底以使所述衬底的短 边指向所述负载闭锁腔。6. 如权利要求1所述的群组设备，其中，各处理腔室的面对所述传送腔 室的侧面所具有的宽度对应于所述衬底在从所述传送腔室卸栽时衬底的面对 所述处理腔室的边。7. 如权利要求1所述的群组设备，其中，当所述传送腔室面对所述处理 腔室中的每个时，所述处理腔室相对所述传送腔室在安装面积内具有相同取向。8. 如权利要求7所述的群组设备，其中，所述负载闭锁腔室相对于所述 传送腔室的取向不同于所述处理腔室。9. 如权利要求1所述的群组设备，其中，当将所述衬底从所述传送腔室 装载进所述处理腔室中时，所述旋转台将所述衬底旋转相同的预定角度。10. —种用于处理...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄荣周，
申请(专利权)人：爱德牌工程有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]