有机淀积设备及利用该设备淀积有机物质的方法技术

本发明专利技术提供了一种有机材料淀积系统和方法。有机材料淀积设备可包括内部形成有处理空间的腔室和供给源装置，该供给源装置生成有机源并通过设于所述处理空间中的喷淋头将所述有机源注入并扩散进所述处理空间中。所述衬底由载台装置支撑，该载台装置在所述处理空间中向上和向下移动该衬底以调整所述衬底与所述喷淋头之间的距离。抽取口设于所述处理空间的上部的上端，提供将气流经所述处理空间导向所述载台装置的真空排气路径。这使得厚度均匀的有机薄膜能够利用构造较为简单的设备进行淀积。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种有机淀积设备以及利用该设备的淀积方法，更具体地说， 涉及一种在衬底上淀积有机薄膜的设备及利用该设备的淀积方法。
技术介绍
近来向信息社会的转变，支持了显示技术的重要性，显示技术允许通过 以用户能可视化感知的文本和图像方式显示数据，以使数据能够随时随地地被访问。由于更早的阴极射线管(CRT)显示器相对较大的尺寸和较大的重 量，显示装置市场的客户倾向反映出对平板显示器，诸如液晶显示器(LCD)、 等离子体显示器(PDP)、以及有机电致发光显示器(organic light emitting diodes, OLED)日益增长的需求。LCD是使用单独光源的被动型器件。LCD具有一些技术缺陷，如视角、 响应时间、对比度等等。PDP在视角和响应时间方面可提供比LCD更佳的特 性。然而，PDP更难以小型化，更费电，而且制造成本更高。有机电致发光显示器(下文中称为OLED)是自发光的，因此无需单独 的光源。OLED的耗电更小，响应时间更短，几乎没有无视角的缺陷，并且 可以将任意类型的小型移动图像在大屏幕上逼真地再现出来。而且，OLED 的结构更容易制造，并且能够最终制造出超薄(本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机淀积设备，包括：　内部形成有处理空间的腔室，所述处理空间包括第一端和与所述第一端相对的第二端；　供给源装置，所述供给源装置生成有机源并将所述有机源通过设于所述处理空间的所述第二端的散布装置供给到所述处理空间中；　载 台装置，所述载台装置设于所述处理空间的所述第一端，与所述散布装置相对，其中所述载台装置支撑所述处理空间中的衬底并移动所述衬底，从而调整所述衬底与所述散布装置之间的距离；以及　第一口，设于所述腔室一端，对应于所述处理空间的所述第一端，其 中，所述第一口提供穿过所述处理空间将气流导向所述载台装置和所述处理空间外部的真空排气路径。

【技术特征摘要】
KR 2008-4-14 10-2008-00342241.一种有机淀积设备，包括内部形成有处理空间的腔室，所述处理空间包括第一端和与所述第一端相对的第二端；供给源装置，所述供给源装置生成有机源并将所述有机源通过设于所述处理空间的所述第二端的散布装置供给到所述处理空间中；载台装置，所述载台装置设于所述处理空间的所述第一端，与所述散布装置相对，其中所述载台装置支撑所述处理空间中的衬底并移动所述衬底，从而调整所述衬底与所述散布装置之间的距离；以及第一口，设于所述腔室一端，对应于所述处理空间的所述第一端，其中，所述第一口提供穿过所述处理空间将气流导向所述载台装置和所述处理空间外部的真空排气路径。2，如权利要求l所述的设备，其中，所述栽台装置包括支撑所述衬底的衬底夹具；以及支承轴，所述支承轴具有对应于所述处理空间的所述第一端向外延伸穿 过所述腔室外壁的第 一端以及结合至所述衬底夹具的第二端。3. 如权利要求2所述的设备，其中，所述载台装置进一步包括 结合至所述支承轴的所迷第一端并且方向与所述衬底夹具平行的平板； 放置于所述腔室与所述平板之间的移动台；以及 结合至所述腔室侧面的夹具移动模块，其中，所述夹具移动模块支撑所述移动台并向上和向下移动所述移动台。4. 如权利要求2所述的设备，其中，所述栽台装置进一步包括 在所述处理空间中支撑图案化的掩模的至少一个臂部；以及至少 一个对应的掩模移动模块，所述至少 一个掩膜移动模块包括至少一 个驱动器，所述至少一个驱动器移动所迷至少一个臂部从而相对于所述衬底 移动所述掩模。5. 如权利要求4所述的设备，其中，所述至少一个掩模移动模块包括多 个掩模移动模块，所述多个掩膜移动模块移动各自支撑所述掩模的相应边缘 部分的对应的多个臂部，其中所述多个掩模移动模块单独操作从而调整对应 臂部的伸出距离。6. 如权利要求l所述的设备，其中，所述供给源装置包括蒸发有机物质以生成所述有机源的源发生器；以及放置于所述源发生器和所述散布装置之间的混合器，其中，所述混合器 将所述源发生器生成的所述有机源与载气混合，所述载气运送所述有机源穿 过所述散布装置并进入所述处理空间中。7. 如权利要求l所述的设备，其中，所述散布装置包括 扩散空间，所述扩散空间接收并扩散来自所述源发生器的所述有机源；以及多个散布孔，所述多个散布孔自所述扩散空间延伸进所述处理空间中， 从而将所述有机源散布进入所述处理空间中。8. 如权利要求1所述的设备，进一步包括对应于所述处理空间的所述第 二端设于所述腔室一端的第二口，其中，在真空操作期间所述第一口和所述 第二口均为打开，并且，当所述有机源经所述散布装置被供给进所述处理空 间中时，所述第一口保持打开，而所述第二口被关闭，从而将气流从所述处 理空间的所述第二端导向所述第一端，并抽吸所述有机源越过由所述载台装 置保持的所述衬底。9. 如权利要求8所迷的设备，其中，所述处理空间的...

【专利技术属性】
技术研发人员：安泳雄，郑基泽，池钟烈，金相烈，
申请(专利权)人：爱德牌工程有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]