半导体器件无线测试中的串扰抑制制造技术

本发明专利技术名称为半导体器件无线测试中的串扰抑制，它公开了一种集成在半导体材料裸片上并适用于至少部分进行无线测试的集成电路，而设置要用于集成电路无线测试的选定无线电通信频率的电路系统集成在半导体材料裸片上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及测试集成电路(IC)的方法和系统。
技术介绍
通常在半导体材料晶片上以裸片(die)形式一次制造多个IC。在制造后，半导体晶片被切割以便得到多个IC芯片。 在发运给客户并安装到各种电子系统中前，IC需要测试以评估其功能，并且具体而言确保它们无故障。具体而言，在测试期间，可检测有关全局或本地物理故障的信息(如存在不希望出现的短路和中断事件)和更具体而言的每个裸片操作(例如，检查每个裸片一个或多个输出信号的波形)，以便只有满足预定要求的裸片才移送到随后的制造阶段(如引线结合、封装和最终测试)。 根据已知测试技术，在将半导体晶片切割成各个芯片前测试IC裸片。在晶片级执行的测试称为“晶片筛选”。 例如，如果是非易失性半导体存储器件(如闪存)，则在形成存储器件的每个裸片上执行称为EWS(电晶片筛选)的测试以便验证其操作正确。 为执行测试，使用了通过探针卡(probe card)耦合到包含要测试裸片的半导体晶片的测试器，探针卡用于将半导体晶片接口到测试器。 测试器适用于管理为执行测试而采用的信号。在下文，此类信息将称为测试信号，并包括由测试器生成并由探针卡发送到要测试的每个裸片的数据信号，及由每个裸片响应于已接收数据信号而生成的响应信号。响应信号由每个裸片发送到测试器，测试器处理这些信号以得出在测试的裸片运行正常或不正常的指示。 探针经常(例如在EWS期间)被采用，其中为实现信号交换所必需的探针卡与要测试裸片的电耦合通过物理接触而实现。为此，探针卡包括连接到大量(大约几千级别)机械探针的PCB(印刷电路板)，这些机械探针适用于物理接触要测试的每个裸片的输入/输出接触板(contact pad)。 然而，这种类型的测试系统有几个限制；例如，有可能损坏在测试的裸片接触板；此外，它具有降低的并行测试能力；实际上，在同时测试多个裸片时，机械探针的数量大大增加，并且接触板与机械探针之间的电接触可能不良，并且也可能发生断电。 另外，接触板相互很靠近时，难以确保机械探针与接触板有良好的物理接触。在接触板外形较小和/或每个裸片上存在大量接触板时，此类问题变得突出。 另外，机械探针很昂贵，并且这产生了不利的影响，使得测试系统及最终IC的总成本增大。 在一个备选方案中，在探针卡与要测试的裸片之间通过探针卡中嵌入的无线电电路，完全或至少部分以无线方式交换测试信号。一般情况下，无线探针卡的每个测试点包括能够在无线电频率通过无线通信与裸片通信的至少一个收发信机电路和一根或多根微天线，而裸片上集成有对应的微天线和收发信机电路，以便在测试器与测试中的裸片之间建立无线双向链路。这样，可执行无线测试，并且完全或部分省去机械探针。 此解决方案的缺陷在于在同时测试两个或更多个裸片时，对应于不同裸片的测试信号之间存在串扰。在同时要测试的裸片相互靠近，可能相邻时，此问题特别明显。 为避免串扰现象，不得不一次只测试半导体晶片的一个裸片，但这大大增加了总测试时间。
技术实现思路
根据本专利技术的实施例，不同的无线电通信频率用于两个或更多个裸片的同步无线测试。 具体而言，本专利技术提供了如下解决方案 根据本专利技术的一个方面，提供了一种集成在半导体材料裸片上并适于至少部分地进行无线测试的集成电路，它包括 设置要用于该集成电路的该无线测试的选定无线电通信频率的电路系统集成在该半导体材料裸片上。 根据本专利技术的又一方面，提供了一种半导体材料晶片，包括至少一个第一半导体材料裸片和至少一个第二半导体材料裸片，该第一裸片和第二裸片上集成有相应的集成电路，包括 集成在该第一半导体材料裸片上的、设置要用于该第一集成电路的该无线测试的至少第一选定无线电通信频率的第一部件；以及 集成的该第二半导体材料裸片上的、设置要用于该第二集成电路的该无线测试的至少第二选定无线电通信频率的第二部件，其中该第二频率与该第一频率不同。 根据本专利技术的还有一个方面，提供了一种以无线方式测试集成在至少两个不同半导体材料裸片上的集成电路的方法，包括 为该集成电路设置相应的和不同无线电通信频率。 根据本专利技术的另外还有一个方面，一种测试至少一个第一集成电路和至少一个第二集成电路的测试系统，该第一集成电路和该第二集成电路分别集成在半导体材料晶片的第一半导体材料裸片上和第二半导体材料裸片上，该测试系统包括 适用于在测试器和该半导体材料晶片的该裸片之间充当无线通信接口的无线探针卡，包括 用于设置要用于该第一集成电路的该无线测试的至少第一选定无线电通信频率的第一部件，被集成在该第一半导体材料裸片上；以及 用于设置要用于该第二集成电路的无线测试的至少第二选定无线电通信频率的第二部件，被集成在该第二半导体材料裸片上，该第一选定无线电通信频率与该第二无线电通信频率不同。 本专利技术还提供了其它有利的实施例。 详细地说，本专利技术还提供了集成在半导体材料裸片上并适用于至少部分以无线方式测试的集成电路，其中，设置要用于集成电路无线测试的至少一个选定无线电通信频率的部件集成在半导体材料裸片上。 附图说明 通过下面将参照附图描述，仅作为非限制性示例、说明提供的本专利技术实施例的详细说明，将明白本专利技术的这些和其他特性和优点，其中 图1以示意图方式显示的根据本专利技术实施例的测试系统的方框图； 图2以示意图方式显示的根据本专利技术实施例的图1的通信频率选择器； 图3以示意图方式显示的根据本专利技术另一实施例的通信频率选择器； 图4以示意图方式显示的根据本专利技术实施例的收发信机电路，该电路适用于与通信频率选择器协作以更改无线电通信频率；以及 图5以示意图方式显示的使用根据本专利技术的测试系统的测试设备横截面视图。 具体实施例方式 在下面通篇说明中，图形中相同或类似的要素表示为相同的标号。 参照图1，它以示意图方式显示根据本专利技术实施例的测试系统100的方框图。测试系统100适用于以无线方式测试属于半导体晶片110的多个(例如，数百个)IC裸片105。 集成在裸片105上的特定类型的IC115不是本专利技术的限制；具体而言，并且只作为示例，IC 115可以是或者包括存储器件、微处理器或微控制器、数字逻辑电路、专用集成电路(ASIC)。 要测试裸片105以便评估其功能，测试系统100包括测试器120，该测试器适用于生成要馈入集成在裸片105上IC 115的测试信号；测试器120耦合到无线探针卡125和其操作所必需的电源，而该探针卡适用于由测试器120通过有线和/或无线电信号分发部件130(可以是或者包括电缆、传导线路或迹线(conductive track)、无线电链路或光纤链路)馈入测试信号；无线探针卡125用于将测试器120与晶片110上的各个裸片105接口。 无线探针卡125包括适用于管理与测试器120交换的测试信号的控制电路135和包括多个无线单元140的测试区137，每个无线单元适用于以无线方式与每个裸片105中提供的对应无线通信单元145通信。换而言之，无线探针卡125测试区137的每个无线单元140适用于与要测试的半导体晶片110其中一个裸片105上提供的对应无线通信单元145建立一对一通信关系。要指出的是在本专利技术的一些实施例中，无线探针卡125的多个137无线单元140可包括等本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种集成在半导体材料裸片上并适于至少部分地进行无线测试的集成电路，包括：　　　　设置要用于所述集成电路的所述无线测试的选定无线电通信频率的电路系统集成在所述半导体材料裸片上。

【技术特征摘要】
IT 2007-2-28 MI2007A0003861.一种集成在半导体材料裸片上并适于至少部分地进行无线测试的集成电路，包括设置要用于所述集成电路的所述无线测试的选定无线电通信频率的电路系统集成在所述半导体材料裸片上。2.如权利要求1所述的集成电路，其特征在于，设置所述选定无线电通信频率的所述电路系统适用于允许单独地设置所述无线电通信频率，所述无线电通信频率独立于从与所述半导体材料裸片相同的半导体材料晶片获得的不同半导体材料裸片上集成的至少又一集成电路的频率。3.如权利要求1所述的集成电路，其特征在于，设置所述选定无线电通信频率的所述电路系统包括对应的至少一个可编程元件，所述至少一个可编程元件适用于存储所述选定无线电通信频率的相应指示。4.如权利要求3所述的集成电路，其特征在于，所述至少一个可编程元件包括至少一熔线。5.如权利要求3所述的集成电路，其特征在于，所述至少一个可编程元件包括至少一个非易失性存储单元。6.如权利要求2所述的集成电路，其特征在于，设置所述无线电通信频率的所述电路系统包括集成电路结构从所述集成电路到所述至少又一集成电路的变化。7.一种半导体材料晶片，包括至少一个第一半导体材料裸片和至少一个第二半导体材料裸片，所述第一裸片和第二裸片上集成有相应的集成电路，包括集成在所述第一半导体材料裸片上的、设置要用于所述第一集成电路的所述无线测试的至少第一选定无线电通信频率的第一部件；以及集成在所述第二半导体材料裸片上的、设置要用于所述第二集成电路的所述无线测试的至少第二选定无线电通信频率的第二部件，其中所述第二频率与所述第一频率不同。8.如权利要求7所述的半导体材料晶片，其特征在于，所述至少一个第一半导体材料裸片和所述至少一个第二半导体材料裸片是相邻的。9.如权利要求7所述的半导体材料晶片，其特征在于，用于设置的所述第一部件和用于设置的所述第二部件包括设置所述选定无线电通信频率的所述电路系统，所述电路系统适用于允许单独设置所述无线电通信频率，所述无线电通信...

【专利技术属性】
技术研发人员：A帕加尼，
申请(专利权)人：意法半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：IT[意大利]