一种防短路的点型蒸发源制造技术

本实用新型专利技术涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种防短路的点型蒸发源，一种防短路的点型蒸发源，包括金属壳体、加热框架和坩埚；所述加热框架固定在金属壳体的内侧壁上；所述坩埚配置在加热框架所限定的范围内；所述加热框架包括：加热件，用于加热并气化坩埚内的金属材料；支撑件，用于将加热件固定在金属壳体的内侧壁上；隔离件，其为绝缘设置且配置在加热件和支撑件之间，以防止沉积在加热框架上的金属材料将金属壳体与加热件电连接；可有效地预防短路的发生。的发生。的发生。

【技术实现步骤摘要】
一种防短路的点型蒸发源


[0001]本技术涉及蒸镀
，尤其涉及一种防短路的点型蒸发源。

技术介绍

[0002]采用加热源将置于坩埚中的材料加热成气态沉积到基板上的技术在面板制造行业中称之为蒸镀工艺，随着显示面板行业的发展，OLED显示屏幕已逐渐市场主流，在OLED显示面板的制作过程中蒸镀工艺是最核心的技术。蒸镀工艺根据蒸发材料的不同将其分为有机蒸镀技术和无机蒸镀，其对应的材料分别为有机材料和无机材料，有机材料的气化点较(200
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500℃)，一般采用线性蒸镀源(线源)，无机材料的气化点较高，如Ag需要高达1300℃的温度才能沉积到基板上，多采用点蒸发源(点源)，本技术涉及点蒸发源的加热件分布。
[0003]现有技术中，采用点蒸发源对金属材料(例如Ag)加热成气化，该气化的金属材料会充满整个金属壳体的内部；且在蒸镀过程中，被气化的金属材料会沉积在加热框架上，若沉积的金属材料将电热丝——金属壳体连接起来，将会构成短路，影响蒸镀工艺的正常进行。
[0004]有鉴于此，特提出本申请。

技术实现思路

[0005]本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，而提供一种防短路的点型蒸发源。
[0006]为了达到上述目的，本技术采用的技术方案如下：
[0007]一种防短路的点型蒸发源，包括金属壳体、加热框架和坩埚；所述加热框架固定在金属壳体的内侧壁上；所述坩埚配置在加热框架所限定的范围内；所述加热框架包括：加热件，用于加热并气化坩埚内的金属材料；支撑件，用于将加热件固定在金属壳体的内侧壁上；隔离件，其为绝缘设置且配置在加热件和支撑件之间，以防止沉积在加热框架上的金属材料将金属壳体与加热件电连接。
[0008]进一步地，所述支撑件上设有第一嵌孔，该第一嵌孔与隔离件固定处形状相适配。
[0009]进一步地，所述隔离件上设有第二嵌孔，该第二嵌孔与加热件的外部形状相适配。
[0010]进一步地，所述隔离件上还设有避空孔，以防止沉积的金属材料与加热件接触。
[0011]进一步地，所述隔离件为哑铃形，其包括上隔离部、下隔离部和连接部，所述上隔离部、下隔离部靠近连接部端的直径大于远离连接部端的直径。
[0012]进一步地，所述上隔离部、下隔离部与连接部为间隙设置，且该间隙小于0.5mm。
[0013]进一步地，所述上隔离部为中空的圆台形，且该上隔离部的顶端壁厚小于1.0mm。
[0014]进一步地，所述隔离件为筒形，该隔离件的顶端和底端设有避空孔。
[0015]进一步地，所述隔离件的顶端壁厚小于1.0mm。
[0016]进一步地，所述隔离件与金属壳体为不接触设置。
[0017]由于采用了以上技术方案，本技术具有以下有益效果：
[0018]本技术的点蒸发装置，其加热件通过隔离件固定在支撑件上，可有效地防止金属材料在加热框架上沉积时将加热件与金属壳体电连接；
[0019]此外，本技术的隔离件上端部设置里避空孔，可有效地避免金属材料在隔离件上端部沉积时接触到加热件，从而进一步增加了点型蒸发源的防短路性能。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本技术的一些实施例，而非对本技术的限制。
[0021]图1为现有技术中加热框架的结构示意图；
[0022]图2为实施例一中加热框架在加热件与支撑件连接处的结构示意图；
[0023]图3为图2中隔离件的结构示意图；
[0024]图4为图2中支撑件的结构示意图；
[0025]图5为实施例二中加热框架在加热件与支撑件连接处的结构示意图。
[0026]附图标记：
[0027]1.金属壳体；2.金属材料；3.加热框架；31.支撑件；311.第一嵌孔；32.加热件；33.隔离件；331.上隔离部；332.连接部；333.下隔离部；334.避空孔；335.第二嵌孔。
具体实施方式
[0028]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术做进一步详细说明。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以各种不同的配置来布置和设计。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0030]除非另作定义，本专利文件中所使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本技术专利说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变，其仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0031]下面结合附图，对本技术的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例中的特征可以相互组合。
[0032]实施例一：
[0033]请参阅图1至4，现有技术中的加热框架在支撑件与加热件之间不设由隔离部，容易导致短路，相较于现有技术，本技术提供一种防短路的点型蒸发源，包括金属壳体1、加热框架3和坩埚(图中未示出)，所述金属壳体1的材质为不锈钢；所述加热框架3固定在金属壳体1的内侧壁上；所述坩埚配置在加热框架所限定的范围内；所述加热框架包括：加热件32，用于加热并气化坩埚内的金属材料2；支撑件31，用于将加热件32固定在金属壳体1的内侧壁上；隔离件33，其为绝缘设置且配置在加热件32和支撑件31之间，以防止沉积在加热框架3上的金属材料2将金属壳体1与加热件32电连接。
[0034]需要说明的是，本实施例中，所述加热件32为竖直延伸的多根并于电源电连接，更具体地，该加热件32的材质为钽；所述支撑件31有多个，且在竖直面上平行设置以用于限定多根加热件32的位置并将多根加热件32固定在金属壳体1上。此外，本实施例中，所述加热框架3的横截面形状为圆环形，所述坩埚位于该加热框架3所限定的范围内，在另一实施例中，所述加热框架3的横截面形状也可以为多边形或者异形。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防短路的点型蒸发源，包括金属壳体、加热框架和坩埚；所述加热框架固定在金属壳体的内侧壁上；所述坩埚配置在加热框架所限定的范围内；其特征在于，所述加热框架包括：加热件，用于加热并气化坩埚内的金属材料；支撑件，用于将加热件固定在金属壳体的内侧壁上；隔离件，其为绝缘设置且配置在加热件和支撑件之间，以防止沉积在加热框架上的金属材料将金属壳体与加热件电连接。2.根据权利要求1所述的点型蒸发源，其特征在于，所述支撑件上设有第一嵌孔，该第一嵌孔与隔离件固定处形状相适配。3.根据权利要求2所述的点型蒸发源，其特征在于，所述隔离件上设有第二嵌孔，该第二嵌孔与加热件的外部形状相适配。4.根据权利要求3所述的点型蒸发源，其特征在于，所述隔离件上还设有避空孔，以防止沉积的金属材料与加热件...

【专利技术属性】
技术研发人员：李有亮，
申请(专利权)人：成都骏创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：