一种静电吸附装置及静电吸附系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及静电吸附领域，其具体公开一种静电吸附装置及静电吸附系统，静电吸附装置包括基板和布置在所述基板上的电极层，在所述基板上布置空间不足的区域内形成至少一对被间隔开的电极端部；所述基板上配置有：电极桥，其用于桥接一对电极端部；以及绝缘套，其包覆在所述电极桥上以使其与外界绝缘隔离；其中，所述电极桥包括横向桥体部、第一桥柱部和第二桥柱部；所述横向桥体部沿基板面方向延伸以跨越所述一对电极端部的间隔空间，所述第一桥柱部贯穿所述基板以电连接所述一对电极端部之其一，所述第二桥柱部之其一，所述第二桥柱部贯穿基板以电连接所述一对电极端部之其二。静电吸附系统包括控制装置以及上述的静电吸附装置，所述静电吸附装置电连接至所述控制装置且受控产生静电吸附力。本实用新型专利技术能够解决电极在有限的空间不能正常分布，遇到需要避让的地方不能在表面直接布电极的技术问题。让的地方不能在表面直接布电极的技术问题。让的地方不能在表面直接布电极的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种静电吸附装置及静电吸附系统


[0001]本技术涉及静电吸附领域，尤其涉及一种静电吸附装置及静电吸附系统。

技术介绍

[0002]静电吸附技术是晶圆半导体生产搬送工艺和面板行业柔性贴合中的关键技术，目前使用设计思路一般都是“三明治”结构，既底部的超高绝缘基材，顶部具有一定半导体特性的介电吸附层，和中间电场能量引入的电极走线层，一般的静电吸附载台采用的是下层绝缘板上铺设电极，电极一般都是整体丝印或者FCCL铜箔蚀刻，如果遇到特殊要求，如沟槽完全开通或两端电极中间存在间隔，电极不能整版丝印或者蚀刻，只能从有限的空间引出电极，不能在基板表面正常铺设电极。电极在有限的空间印上后完成表面Coatting便容易产生不良。故目前亟需一种静电吸附装置，其能够解决在有限的基板表面空间不能铺设电极的问题，减少电极的放电隐患。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，而提供一种静电吸附装置及静电吸附系统。该静电吸附装置通过在基板内安装电极桥充当导电跳线以连接断开的电极，从而能够避开需要避让的位置使被间隔开的电极能够通电。
[0004]为了达到上述目的，本技术采用的技术方案如下：
[0005]一种静电吸附装置，包括基板和布置在所述基板上的电极层，在所述基板上布置空间不足的区域内形成至少一对被间隔开的电极端部；所述基板上配置有：电极桥，其用于桥接一对电极端部；以及绝缘套，其包覆在所述电极桥上以使其与外界绝缘隔离；所述的电机桥嵌置在基板内以避让开基板正面的间隔，通过所述嵌置在基板内的电极桥完成所述电极端部之间的电连接。所述电极桥表面设有绝缘套，电极桥除与电极端部接触的表面外全部表面均被绝缘套包裹以完成与外界的绝缘隔离。
[0006]其中，所述电极桥包括横向桥体部、第一桥柱部和第二桥柱部；所述横向桥体部沿基板面方向延伸以跨越所述一对电极端部的间隔空间，所述的第一桥柱部与第二桥柱部用于跨越横向桥体部与电极之间的间隔空间并与两电极端部分别电连接，其中所述第一桥柱部贯穿所述基板以电连接所述一对电极端部之其一，所述第二桥柱部贯穿基板以电连接所述一对电极端部之其二。
[0007]上述技术方案可以通过以下技术措施进一步优化：
[0008]作为优选，所述横向桥体部设置在所述基板上与所述电极层相对的另一侧，以避开所述基板正面需要避让的部位，横向桥体部与电极端部之间的间隔距离通过所述第一桥柱部与第二桥柱部跨越。
[0009]作为优选，所述基板上被构造出用于接纳所述横向桥体部的凹槽，该凹槽用于将横向桥体部嵌置在基板内，嵌入后所述绝缘套与凹槽的顶面齐平或略突出于凹槽，以使基板的背面依然保持平面，不会影响正常的外形结构。所述基板上具有供所述第一桥柱部穿
过的第一穿孔以及供所述第二桥柱部穿过的第二穿孔，所述的第一穿孔及第二穿孔大小和位置均与第一桥柱部及第二桥柱部适配，一方面供第一桥柱部与第二桥柱部穿过基板完成横向桥体部与电极端部的电连接；另一方面通过将第一桥柱部与第二桥柱部插入第一穿孔与第二穿孔内进一步的完成电极桥的固定，使所述电极桥被固定式地嵌置在所述基板上。
[0010]作为优选，所述绝缘套是在将所述电极桥组装至基板上之后灌注形成，在安装所述静电吸附装置时，首先在基板背面开出所述的凹槽并将绝缘材料嵌入该凹槽，然后将绝缘材料开槽嵌入电极桥，此时电极桥背面与绝缘材料存在高差，继续在背面灌入绝缘材料形成绝缘密封，此时绝缘材料形成所述的绝缘套，所述绝缘套被配置为在所述电极桥和基板之间形成隔离，其能够防止所述电极桥裸露与空气中。所述一对电极端部之间被另一电极线间隔。
[0011]作为优选，所述电极层上形成有介电保护层，介电保护层用于保护电极层防止电极层直接裸露在空气中及接触吸附工件。
[0012]本技术还提供一种静电吸附系统，用于吸附工件，其包括控制装置以及上述的静电吸附装置，所述静电吸附装置电连接至所述控制装置且受控产生静电吸附力，所述静电吸附系统使用上述的静电吸附装置，也能够解决在有限的基板表面空间存在间隔不能铺设电极的问题，减少电极的放电隐患。
[0013]由于采用了以上技术方案，本技术具有以下有益效果：
[0014]本技术提供了一种静电吸附装置及静电吸附系统。该静电吸附装置通过在基板内安装电极桥充当导电跳线以连接断开的电极，从而能够避开基板正面需要避让的位置使被间隔开的电极能够通电。所述静电吸附系统使用上述的静电吸附装置并额外加装了控制装置，也能够解决在有限的基板表面空间存在间隔不能铺设电极的问题，同时使静电吸附装置能够受控产生静电吸附力。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本技术的一些实施例，而非对本技术的限制。
[0016]图1为本技术的静电吸附装置的一种整体结构示意图；
[0017]图2为本技术的静电吸附装置的正视的电极桥处的剖视图；
[0018]图3为本技术的静电吸附装置的另一种整体结构示意图；
[0019]图4为本技术的电极桥的一种整体结构示意图；
[0020]图5为本技术的电极桥的A
‑
A示图；
[0021]图6为本技术的电极桥的B
‑
B示图。
[0022]附图标记：
[0023]1电极桥、11横向桥体部、12第一桥柱部、13第二桥柱部、2绝缘套、3基板、4电极层、41电极端部、42电极线、5介电保护层。
具体实施方式
[0024]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本
技术做进一步详细说明。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以各种不同的配置来布置和设计。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0026]除非另作定义，本专利文件中所使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本技术专利说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静电吸附装置，包括基板和布置在所述基板上的电极层，在所述基板上布置空间不足的区域内形成至少一对被间隔开的电极端部；其特征在于，所述基板上配置有：电极桥，其用于桥接一对电极端部；以及绝缘套，其包覆在所述电极桥上以使其与外界绝缘隔离；其中，所述电极桥包括横向桥体部、第一桥柱部和第二桥柱部；所述横向桥体部沿基板面方向延伸以跨越所述一对电极端部的间隔空间，所述第一桥柱部贯穿所述基板以电连接所述一对电极端部之其一，所述第二桥柱部贯穿基板以电连接所述一对电极端部之其二。2.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，所述横向桥体部设置在所述基板上与所述电极层相对的另一侧。3.根据权利要求2所述的静电吸附装置，其特征在于，所述基板上被构造出用于接纳所述横向桥体部的凹槽。4.根据权利要求3所述的静电吸附装置，其特征在于，所述绝缘套与凹槽的顶面齐平或略突出于凹槽。...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁威，奉洛阳，陈高龙，
申请(专利权)人：成都骏创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：