一种OLED显示面板用蒸镀设备制造技术

本实用新型专利技术涉及蒸镀技术领域，其具体公开一种OLED显示面板用蒸镀设备，包括机体和用于喷发蒸镀材料的喷嘴，所述机体上形成有蒸镀室，所述喷嘴设置在蒸镀室内；所述机体上配置有：接渣板，其靠近所述喷嘴设置，以用于收集下落的蒸镀材料；其中，所述接渣板配置为，其能够可操作地离开所述喷嘴，以防止收集在该接渣板上的蒸镀材料堵塞所述喷嘴。上的蒸镀材料堵塞所述喷嘴。上的蒸镀材料堵塞所述喷嘴。

【技术实现步骤摘要】
一种OLED显示面板用蒸镀设备


[0001]本技术涉及蒸镀
，尤其涉及一种OLED显示面板用蒸镀设备。

技术介绍

[0002]OLED显示面板的制造工艺包括底层驱动电路工艺、蒸镀有机发光材料工艺、封装工艺和后端柔性模组工艺。而蒸镀工艺是整个OLED显示面板制造工艺中的核心工艺。蒸镀工艺的生产时长首先取决于坩埚内有机发光材料的材料量，由于有机发光材料的沉积膜层很薄，故单位时间内材料的消耗量很少，坩埚的容积已经不再是限制蒸镀工艺时长的主要因素。在实际工艺中限制蒸镀工艺时长的因素是，加热的材料在向上蒸发的过程中由于重力、气体分子间碰撞、以及喷嘴内部摩擦阻力等因素的影响，材料的气体分子出喷嘴口后的方向并不总是竖直向上的，而且在碰撞和摩擦过程中会造成部分蒸汽分子的初动能减少，这些分子没有足够的能量沉积到处于上方的玻璃基板上，会掉落在喷嘴口附近,由于喷嘴口附近的温度低于加热源内部温度，导致掉落材料并不会再次受热蒸发，于是会在喷嘴附近堆积，随着蒸镀时间的加长，材料的堆积会影响材料的蒸发角度，造成产品发光异常；严重者会造成喷嘴堵孔，必须停止工艺并打开设备内部进行堆积材料的清洁，减少了产品的连续生产时长，造成产能损失。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，而提供一种OLED显示面板用蒸镀设备。
[0004]为了达到上述目的，本技术采用的技术方案如下：
[0005]一种OLED显示面板用蒸镀设备，包括机体和用于喷发蒸镀材料的喷嘴，所述机体上形成有蒸镀室，所述喷嘴设置在蒸镀室内；所述机体上配置有：接渣板，其靠近所述喷嘴设置，以用于收集下落的蒸镀材料；其中，所述接渣板配置为，其能够可操作地离开所述喷嘴，以防止收集在该接渣板上的蒸镀材料堵塞所述喷嘴。
[0006]优选地，所述接渣板以能够绕固定轴线翻转的方式配置在所述机体上。
[0007]优选地，所述机体上设置有支撑轴，所述接渣板枢接在所述支撑轴上。
[0008]优选地，所述机体上设置有，用于驱动所述接渣板翻转的翻转驱动机构。
[0009]优选地，所述翻转驱动机构包括电机和传动齿轮系。
[0010]优选地，所述翻转驱动机构包括气缸或油缸。
[0011]优选地，所述接渣板以能够沿设定轨道滑动的方式配置在所述机体上。
[0012]优选地，所述机体和接渣板之间借由滑动机构连接；所述滑动机构包括滑槽和滑轨；所述滑槽和滑轨中其一设置在机体上，另一设置在接渣板上。
[0013]优选地，所述接渣板成对地布置在喷嘴的周侧。
[0014]优选地，所述蒸镀室配置成长形凹槽，所述喷嘴沿所述蒸镀室的长度方向上被布置为多个，一对接渣板分别配置在多个喷嘴的两侧。
[0015]优选地，所述喷嘴的上方设置有盖板，所述盖板配置为，在所述接渣板离开喷嘴时遮蔽所述蒸镀室的上方开口。
[0016]由于采用了以上技术方案，本技术具有以下有益效果：
[0017]1.本技术中在机体上配置有接渣板用以收集下落的蒸镀材料，随着蒸镀的进行，蒸镀材料逐渐堆积在接渣板上，当堆积的蒸镀材料要堵住喷嘴时，接渣板能够以翻转或者滑动的方式离开喷嘴并将蒸镀材料带离，不需要操作人员停止工艺并打开OLED显示面板用蒸镀设备清洁，延长了蒸镀工艺时长。
[0018]2.本技术设置有用以遮蔽蒸镀室上方的盖板，接渣构件在转动时会带动蒸镀材料的转动，会产生粉尘颗粒造成产品不良，在接渣构件离开喷嘴前关闭盖板能够有效防止粉尘逸出。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本技术的一些实施例，而非对本技术的限制。
[0020]图1为本技术实施例一的结构示意图；
[0021]图2为图1在A处的放大示意图；
[0022]图3为本技术实施例一中翻转驱动机构为电机时的结构示意图；
[0023]图4为本技术实施例一中翻转驱动机构为气缸时的结构示意图；
[0024]图5为本技术实施例一在步骤(1)的结构示意图；
[0025]图6为本技术实施例一在步骤(2)的结构示意图；
[0026]图7为本技术实施例一在步骤(3)的结构示意图；
[0027]图8为本技术实施例一在步骤(4)的结构示意图；
[0028]图9为本技术实施例二的部分结构示意图。
[0029]附图标记：
[0030]1.机体；11.蒸镀室；12.接渣板；13.支撑轴；14.翻转驱动机构；15.盖板；16.隔热板；17.限制板；18.气缸；2.喷嘴；3.加热单元；4.坩埚。
具体实施方式
[0031]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术做进一步详细说明。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以各种不同的配置来布置和设计。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0032]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0033]除非另作定义，本专利文件中所使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本技术专利说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是
表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变，其仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0034]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0035]下面结合附图，对本技术的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例中的特征可以相互组合。
[0036]实施例一：
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种OLED显示面板用蒸镀设备，包括机体和用于喷发蒸镀材料的喷嘴，所述机体上形成有蒸镀室，所述喷嘴设置在蒸镀室内；其特征在于，所述机体上配置有：接渣板，其靠近所述喷嘴设置，以用于收集下落的蒸镀材料；其中，所述接渣板配置为，其能够可操作地离开所述喷嘴，以防止收集在该接渣板上的蒸镀材料堵塞所述喷嘴,所述喷嘴的上方设置有盖板，所述盖板配置为，在所述接渣板离开喷嘴时遮蔽所述蒸镀室的上方开口。2.根据权利要求1所述的OLED显示面板用蒸镀设备，其特征在于，所述接渣板以能够绕固定轴线翻转的方式配置在所述机体上。3.根据权利要求2所述的OLED显示面板用蒸镀设备，其特征在于，所述机体上设置有支撑轴，所述接渣板枢接在所述支撑轴上。4.根据权利要求2或3所述的OLED显示面板用蒸镀设备，其特征在于，所述机体上设置有，用于驱动所述接渣板翻转的翻转驱动机构。5.根据权利要求4所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李有亮，吴晅，丁威，胡润平，陈高龙，廖林，汤晓君，
申请(专利权)人：成都骏创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：