本发明专利技术提供一种蒸发舟的夹紧装置，涉及镀膜设备的技术领域，包括阳极和公用电极，在所述阳极和所述公用电极之间夹持有蒸发舟，所述阳极远离蒸发舟的一端设有立板，所述立板上设有绝缘滑套，以使所述阳极端部能够在所述绝缘滑套内滑动；还包括引入电极，所述引入电极的一端穿过所述绝缘滑套与所述阳极刚性连接，所述引入电极还连接有调节组件，通过所述调节组件以使推动所述引入电极和所述阳极靠近或远离所述蒸发舟，使其夹紧或松开所述蒸发舟。使其夹紧或松开所述蒸发舟。使其夹紧或松开所述蒸发舟。
【技术实现步骤摘要】
一种用于蒸发舟的夹紧装置
[0001]本专利技术涉及镀膜设备的
，具体而言，涉及一种用于蒸发舟的夹紧装置。
技术介绍
[0002]真空卷绕镀膜设备在蒸镀过程中，蒸发源是主要的组成部分，采用的发热原件一般是氮化硼陶瓷坩埚，其功用是将待镀的材料在真空状态下融化并气化后沉积到薄膜形成金属薄膜，蒸发舟是其中的重要组成部分，其发热功能是决定蒸发质量的重要保证。
[0003]现有申请专利202020292463.0一种新型蒸发舟夹紧结构，包括水冷蒸发底板、设置在水冷蒸发底板下方的支撑柱和设置在水冷蒸发底板上的蒸发槽，蒸发槽内对称错位设置有两排用于夹持蒸发舟结构相同的正负极夹持组件，两组正负极夹持组件均包括蒸发阴极和蒸发阳极，水冷蒸发底板上设置有两组可以调节对应蒸发阳极位置的弹性调节组件，每个弹性调节组件包括用于安装蒸发阳极的复合安装架和安装在水冷蒸发底板下方用于拉紧复合安装架的弹性夹紧机构，通过将蒸发舟放置于公用阴极和阳极之间，弹簧通过绝缘滑动轴承座、夹板的传递将蒸发舟紧紧夹持，阳极用压盖牢固地与夹板连成一体，通过拉杆和蝴蝶螺母，弹簧的夹紧力来进行调节。
[0004]上述申请专利需要额外添加夹紧机构等使其才能达到对蒸发舟的夹紧，结构相对复杂，且在实际使用过程中发现，上述结构对蒸发舟的夹紧力也相对较差，使其导电效果不佳，主要原因是对蒸发舟的夹紧并不及时造成的。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供一种蒸发舟夹紧装置，用以实现能够提供更加简洁，且设计巧妙的夹紧装置，并能更加及时调节夹紧力，进而保证接触的紧密性的技术效果。
[0006]本专利技术通过以下技术方案实现：
[0007]包括阳极和公用电极，在所述阳极和所述公用电极之间夹持有蒸发舟，所述阳极远离蒸发舟的一端设有立板，所述立板上设有绝缘滑套，以使所述阳极端部能够在所述绝缘滑套内滑动；
[0008]还包括引入电极，所述引入电极的一端穿过所述绝缘滑套与所述阳极刚性连接，所述引入电极还连接有调节组件，通过所述调节组件以使推动所述引入电极和所述阳极靠近或远离所述蒸发舟，使其夹紧或松开所述蒸发舟。
[0009]为了更好的实现本专利技术，进一步的，所述调节组件包括预紧弹簧，所述预紧弹簧套设于部分所述引入电极的外壁，所述预紧弹簧的一端连接有绝缘连接环，所述预紧弹簧的另一端与所述引入电极的外壁连接。
[0010]为了更好的实现本专利技术，进一步的，所述调节组件还包括夹紧电极，所述夹紧电极设置于所述引入电极的另一端，且与所述引入电极刚性夹紧连接，所述夹紧电极上还设有气缸，通过所述气缸以使推动所述引入电极夹紧所述蒸发舟。
[0011]为了更好的实现本专利技术，进一步的，所述调节组件还包括安装板，所述安装板上设
有固定套，所述引入电极穿过所述固定套与所述阳极刚性连接，所述预紧弹簧设置于所述固定套与所述引入电极之间。
[0012]为了更好的实现本专利技术，进一步的，在所述固定套端部还连接有伸缩波纹管，所述伸缩波纹管的自由端与所述引入电极连接。
[0013]为了更好的实现本专利技术，进一步的，在所述安装板与所述立板之间还设有屏蔽罩。
[0014]为了更好的实现本专利技术，进一步的，所述绝缘连接环设置在所述安装板上，所述绝缘连接环设于所述固定套与所述预紧弹簧之间，且所述绝缘连接环的端部与所述固定套的端部固定连接。
[0015]为了更好的实现本专利技术，进一步的，所述阳极外壁还设有屏蔽板，所述屏蔽板靠近设于所述立板，以阻止蒸发时蒸发材料沉积于所述绝缘滑套造成短路。
[0016]为了更好的实现本专利技术，进一步的，所述绝缘滑套采用绝缘材料，所述阳极的端部设置与所述绝缘滑套内。
[0017]为了更好的实现本专利技术，进一步的，还包括直板，所述公用电极远离所述蒸发舟的一端固定设置于所述直板上；
[0018]在所述直板和所述立板之间还设有蒸发围罩。
[0019]本专利技术的有益效果是：
[0020]本专利技术当需要对蒸发舟的夹紧力进行调节时，优先会通过预紧弹簧的自弹力使向阳极方向，使其对蒸发舟进行预先夹紧，安装蒸发舟时只需较小的力就能摆放到正确的位置，操作更容易、效率更高，当所有的蒸发舟全部安装到位后，通过启动气缸使其带动夹紧电极和引入电极向阳极方向推动，进而保证蒸发舟的有效夹紧。
[0021]本专利技术在机构中设置有伸缩波纹管，其目的是：伸缩波纹管具有很好的伸缩性，引入电极是穿过真空室壁引入真空室内，需要很好地真空密封，但引入电极又是需要伸缩以方便安装蒸发舟，如果采用在所述引入电极与安装板之间设置密封圈就会形成动密封而造成密封圈的很快磨损失效，设置伸缩波纹管能有效地把动密封转换成静密封，能有效保证真空密封的可靠性。
[0022]本装置的结构设计巧妙，能够及时有效、且有序、有力的夹紧蒸发舟，保障接触的良好，提高使用寿命和工作效率。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本专利技术的技术方案，下面将对本专利技术中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0024]图1为本专利技术提供的蒸发舟夹紧装置的结构示意图；
[0025]图标：
[0026]10
‑
阳极，11
‑
屏蔽板，20
‑
公用电极，21
‑
直板，22
‑
蒸发围罩，30
‑
蒸发舟，40
‑
立板，41
‑
绝缘滑套，50
‑
引入电极，60
‑
预紧弹簧，70
‑
夹紧电极，71
‑
气缸，80
‑
安装板，81
‑
固定套，82
‑
伸缩波纹管，83
‑
绝缘连接环，90
‑
屏蔽罩，91
‑
真空室。
具体实施方式
[0027]下面将结合本专利技术中的附图，对本专利技术中的技术方案进行描述。
[0028]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时，在本专利技术的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0029]请参看图1，本专利技术提供一种蒸发舟夹紧装置，主要包括蒸发舟30，设置在蒸发舟30一端的公用电极20和设置在蒸发舟30另一端的阳极10，为了使结构的稳定性，因此还设置了直板21和立板40，其中公用电极20的自由端与直板21固定连接，阳极10的自由端与立板40滑动连接，具体是在立板40上开设有绝缘滑套41，阳极10的自由端端部滑动置于该绝缘滑套41内，如图中所示，该绝缘滑套41采用绝缘材料，阳极10的自由端能够本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种蒸发舟的夹紧装置，其特征在于，包括阳极(10)和公用电极(20)，在所述阳极(10)和所述公用电极(20)之间夹持有蒸发舟(30)，所述阳极(10)远离蒸发舟(30)的一端设有立板(40)，所述立板(40)上设有绝缘滑套(41)，以使所述阳极(10)端部能够在所述绝缘滑套(41)内滑动；还包括引入电极(50)，所述引入电极(50)的一端穿过所述绝缘滑套(41)与所述阳极(10)刚性连接，所述引入电极(50)还连接有调节组件，通过所述调节组件以使推动所述引入电极(50)和所述阳极(10)靠近或远离所述蒸发舟(30)，使其夹紧或松开所述蒸发舟(30)。2.根据权利要求1所述的蒸发舟的夹紧装置，其特征在于，所述调节组件包括预紧弹簧(60)，所述预紧弹簧(60)套设于部分所述引入电极(50)的外壁，所述预紧弹簧(60)的一端连接有绝缘连接环(83)，所述预紧弹簧(60)的另一端与所述引入电极(50)的外壁连接。3.根据权利要求2所述的蒸发舟的夹紧装置，其特征在于，所述调节组件还包括夹紧电极(70)，所述夹紧电极(70)设置于所述引入电极(50)的另一端，且与所述引入电极(50)刚性夹紧连接，所述夹紧电极(70)上还设有气缸(71)，通过所述气缸(71)以使推动所述引入电极(50)夹紧所述蒸发舟(30)。4.根据权利要求3所述的蒸发舟的夹紧装置，其特征在于，所述调节组件还包括安装板(80)，所述安装板(80)上设有固定套(81...
【专利技术属性】
技术研发人员：向海洋，李庆国，
申请(专利权)人：四川海格锐特科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。