一种新型蒸发舟夹持结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型蒸发舟夹持结构，涉及镀膜设备技术领域，本实用新型专利技术包括水冷蒸发底板、设置在水冷蒸发底板下方的支撑柱和设置在水冷蒸发底板上的蒸发槽，蒸发槽内对称错位设置有两排用于夹持蒸发舟结构相同的正负极夹持组件，两组正负极夹持组件均包括蒸发阴极和蒸发阳极，水冷蒸发底板上设置有两组可以调节对应蒸发阳极位置的弹性调节组件，每个弹性调节组件包括用于安装各自蒸发阳极的复合安装架和安装在水冷蒸发底板下方用于拉紧复合安装架的弹性夹紧机构；本实用新型专利技术具有结构简单，夹紧的可靠性提高，不用每一个工作周期对蒸发舟进行调整，所以提高了蒸发舟的使用寿命，保证了生产效率，提高了产量和质量，节约生产成本的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种新型蒸发舟夹持结构
本技术涉及镀膜设备夹持
，更具体的是涉及一种新型蒸发舟夹持结构。
技术介绍
真空卷绕镀膜设备在蒸镀过程中，蒸发源是主要的组成部分，采用的发热元件一般是氮化硼陶瓷坩埚，其功用是将待镀的材料在真空状态下融化并气化后沉积到薄膜形成金属薄膜。蒸发舟是其中的重要组成部分，其发热功能是决定蒸发质量的重要保证。常规设备中蒸发舟的夹持有很多形式，常见的有固定卡舟方式、弹簧夹紧方式等。蒸发舟的夹持在镀膜机中是非常重要的，它和电极之间的接触好坏决定蒸发的质量以及电极和蒸发舟的使用寿命。接触越紧密，导电效果越好，接触电阻也就越小，接触面的导流面积也越大，二者之间不容易形成局部损伤，延长使用寿命。固定卡舟方式，由于阳极和阴极之间的距离是固定的，蒸发舟的夹持就只能依靠铺垫导电石墨纸的方式来消除二者之间的间隙，但在蒸发工作过程中，蒸发舟是必须要加热到高温状态电极却必须通过水冷冷却，不能很好地保证二者之间的接触质量。当一个工作周期结束时必须全部的蒸发舟重新铺垫石墨纸来保证很好接触，清理的周期很长，效率比较低；且长期工作下本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型蒸发舟夹持结构，包括水冷蒸发底板(10)、设置在水冷蒸发底板(10)下方的支撑柱(11)和设置在水冷蒸发底板(10)上的蒸发槽(5)，其特征在于，蒸发槽(5)内对称错位设置有两排用于夹持蒸发舟结构相同的正负极夹持组件，两组正负极夹持组件均包括蒸发阴极(2)和蒸发阳极(3)，水冷蒸发底板(10)上设置有两组可以调节对应蒸发阳极(3)位置的弹性调节组件，每个弹性调节组件包括用于安装蒸发阳极(3)的复合安装架和安装在水冷蒸发底板(10)下方用于拉紧复合安装架的弹性夹紧机构。/n

【技术特征摘要】
1.一种新型蒸发舟夹持结构，包括水冷蒸发底板(10)、设置在水冷蒸发底板(10)下方的支撑柱(11)和设置在水冷蒸发底板(10)上的蒸发槽(5)，其特征在于，蒸发槽(5)内对称错位设置有两排用于夹持蒸发舟结构相同的正负极夹持组件，两组正负极夹持组件均包括蒸发阴极(2)和蒸发阳极(3)，水冷蒸发底板(10)上设置有两组可以调节对应蒸发阳极(3)位置的弹性调节组件，每个弹性调节组件包括用于安装蒸发阳极(3)的复合安装架和安装在水冷蒸发底板(10)下方用于拉紧复合安装架的弹性夹紧机构。


2.根据权利要求1所述的新型蒸发舟夹持结构，其特征在于，弹性张紧机构包括固定设置在水冷蒸发底板(10)底部的绝缘滑动轴承座(13)和滑动穿过绝缘滑动轴承座(13)的拉杆(15)，复合安装架设置在蒸发槽(5)外侧，水冷蒸发底板(10)上设置有供复合安装架左右移动的通孔，复合安装架下方延伸过水冷蒸发底板(10)的通孔与拉杆(15)一侧可拆卸连接，拉杆(15)另一侧套设有能带动拉杆(15)左右移动的弹簧(14)。


3.根据权利要求2所述的新型...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵锐，陈清胜，
申请(专利权)人：四川海格锐特科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51