一种关于电子枪与坩埚和工件架的新结构设计的镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及机械设备技术领域，尤其为一种关于电子枪与坩埚和工件架的新结构设计的镀膜装置，包括电子枪、坩埚、工件架以及镀膜设备筒体，所述电子枪下端设有镀膜设备筒体，所述镀膜设备筒体由外筒体和内筒体组成，所述外筒体和内筒体之间设有冷却水，所述电子枪和镀膜设备筒体连接处设有接连法兰，所述电子枪下端中间处设有电子束，所述镀膜设备筒体内部下端设有坩埚支架，所述坩埚支架上端设有坩埚，所述镀膜设备筒体内部靠近坩埚两侧设有工件架，所述工件架上设有工件，电子枪在蒸发坩埚的正上方，便于对电子束扫描区域的控制，避免蒸发坩埚和真空室的损坏，电子枪远离蒸发坩埚减少了金属蒸汽对电子枪的沉积，整体效果好。

【技术实现步骤摘要】
一种关于电子枪与坩埚和工件架的新结构设计的镀膜装置
本技术涉及机械设备
，具体为一种关于电子枪与坩埚和工件架的新结构设计的镀膜装置。
技术介绍
大功率电子枪蒸发镀膜是通过电子枪产生的电子束轰击到坩埚中蒸发材料使其蒸发，最后沉积在被镀件表面上获得蒸发物膜层。大功率电子枪在真空室的安装位置一般是把电子枪倾斜一定角度安装布置真空室壁上，电子束对蒸发坩埚中的金属进行直线轰击加热使坩埚中的金属融化蒸发附着在工件上，或者把电子枪安装布置在真空室侧壁上与坩埚呈90°角，通过真空室内的外加磁场对电子束进行偏转后对坩埚内要蒸发的金属进行轰击加热使金属融化蒸发附着在工件上。两种电子枪安装方式都有一定的缺点：电子枪倾斜放置方法，由于蒸发坩埚与被镀件之间的距离比较短，这就决定了电子枪与蒸发坩埚的夹角比较小，在调整扫描区域时很容易使电子束偏离目标轰击到蒸发熔池以外的区域如坩埚的侧壁或者真空室内壁，造成坩埚和真空室的损坏。而且在坩埚长度方向以坩埚中心为分界的左右两个区域，电子束在扫描时的角度不同造成两边加热功率不一致，如不修正则造成坩埚的蒸发量不均匀直接了影响产品的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种关于电子枪与坩埚和工件架的新结构设计的镀膜装置，包括电子枪(1)、坩埚(2)、工件架(4)以及镀膜设备筒体(6)，其特征在于：所述电子枪(1)下端设有镀膜设备筒体(6)，所述镀膜设备筒体(6)由外筒体(9)和内筒体(10)组成，所述外筒体(9)和内筒体(10)之间设有冷却水(11)，所述电子枪(1)和镀膜设备筒体(6)连接处设有接连法兰(8)，所述电子枪(1)下端中间处设有电子束(5)，所述镀膜设备筒体(6)内部下端设有坩埚支架(7)，所述坩埚支架(7)上端设有坩埚(2)，所述镀膜设备筒体(6)内部靠近坩埚(2)两侧设有工件架(4)，所述工件架(4)上设有工件(3)。/n

【技术特征摘要】
1.一种关于电子枪与坩埚和工件架的新结构设计的镀膜装置，包括电子枪(1)、坩埚(2)、工件架(4)以及镀膜设备筒体(6)，其特征在于：所述电子枪(1)下端设有镀膜设备筒体(6)，所述镀膜设备筒体(6)由外筒体(9)和内筒体(10)组成，所述外筒体(9)和内筒体(10)之间设有冷却水(11)，所述电子枪(1)和镀膜设备筒体(6)连接处设有接连法兰(8)，所述电子枪(1)下端中间处设有电子束(5)，所述镀膜设备筒体(6)内部下端设有坩埚支架(7)，所述坩埚支架(7)上端设有坩埚(2)，所述镀膜设备筒体(6)内部靠近坩埚(2)两侧设有工件架(4)，所述工件架(4)上设有工件(3)。


2.根据权利要求1所述的一种关于电子枪与坩埚和工件架的新结构设计的镀膜装置，其特征在于：所述电子枪(1)与坩埚(2)垂直布置，所述电子枪(1)与坩埚(2)之间的距离...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭锦龙，王殿儒，程云立，马华，付久龙，武金魁，
申请(专利权)人：长钛工程技术研究院北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11