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本实用新型涉及机械设备技术领域，尤其为一种关于电子枪与坩埚和工件架的新结构设计的镀膜装置，包括电子枪、坩埚、工件架以及镀膜设备筒体，所述电子枪下端设有镀膜设备筒体，所述镀膜设备筒体由外筒体和内筒体组成，所述外筒体和内筒体之间设有冷却水，所述...
该专利属于长钛工程技术研究院(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长钛工程技术研究院(北京)有限公司授权不得商用。

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