电子束镀膜用修正板结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种应用于电子束镀膜技术领域的电子束镀膜用修正板结构，所述的电子束镀膜用修正板结构的主杆(1)上设置多个沟槽杆(2)，每个沟槽杆(2)上设置上层沟槽(3)和下层沟槽(4)，每个沟槽杆(2)的上层沟槽(3)和一侧相邻的一个沟槽杆(2)的上层沟槽(3)设置一块修正子板(5)，每个沟槽杆(2)的下层沟槽(4)和另一侧相邻的一个沟槽杆(2)的下层沟槽(4)设置另一块修正子板(5)，本实用新型专利技术所述的电子束镀膜用修正板结构，能够方便实现修正子板的位置快捷调整，有效达到调解镀锅的各圈膜层厚度目的，提高镀膜时圈次间均匀性，提高修正子板通用性，提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
电子束镀膜用修正板结构
本技术属于电子束镀膜
，更具体地说，是涉及一种电子束镀膜用修正板结构。
技术介绍
目前，电子束蒸发镀膜的机台一般分为公自转型镀锅和公转型镀锅两种，公自转镀锅均匀性一般较好，无需进行修正，但镀膜时入射角度不断变化获得的膜质不如公转型镀锅，并且对于双电子枪机台的镀膜机公自转型镀锅无法使用。使用公转型镀锅为了获得较好的均匀性，必须采用截流蒸汽云静止挡板技术设计修正板(修正子板)来修正机台均匀性，但是，修正板的设计一般按照以下几个步骤进行：1、根据镀锅圈次确认横杆点位。2、根据点位绘出修正板的大体形状。3、镀膜后测量各圈状况，根据实际状况重新手动裁剪修正板。4、重复步骤3直到各圈均匀性OK。现有技术中的修正板的裁剪需要使用新的钢板或铝板，裁剪时需要切割机器，对物力以及人力均是一种消耗。并且随着工艺参数的变化、机台的改造需要修正板及时的修正，一般完成此份工作的均为资深工程人员，一般技术人员操作较为困难。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是：提供一种结构简单，能够方便实现修正子板的位置快捷调整，从而有效达本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子束镀膜用修正板结构，其特征在于：包括主杆(1)，所述的主杆(1)上设置多个按间隙布置的沟槽杆(2)，每个沟槽杆(2)上设置上层沟槽(3)和下层沟槽(4)，每个沟槽杆(2)的上层沟槽(3)和一侧相邻的一个沟槽杆(2)的上层沟槽(3)设置一块修正子板(5)，每个沟槽杆(2)的下层沟槽(4)和另一侧相邻的一个沟槽杆(2)的下层沟槽(4)设置另一块修正子板(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种电子束镀膜用修正板结构，其特征在于：包括主杆(1)，所述的主杆(1)上设置多个按间隙布置的沟槽杆(2)，每个沟槽杆(2)上设置上层沟槽(3)和下层沟槽(4)，每个沟槽杆(2)的上层沟槽(3)和一侧相邻的一个沟槽杆(2)的上层沟槽(3)设置一块修正子板(5)，每个沟槽杆(2)的下层沟槽(4)和另一侧相邻的一个沟槽杆(2)的下层沟槽(4)设置另一块修正子板(5)。


2.根据权利要求1所述的电子束镀膜用修正板结构，其特征在于：所述的电子束镀膜用修正板结构的每个沟槽杆(2)分别通过螺钉(12)与主杆(1)上表面或主杆(1)下表面固定连接，多个沟槽杆(2)之间平行布置，每个沟槽杆(2)分别与主杆(1)垂直布置。


3.根据权利要求1或2所述的电子束镀膜用修正板结构，其特征在于：所述的电子束镀膜用修正板结构的主杆(1)安装在镀膜机台上，主杆(1)安装在镀膜机台上时，每相邻两个沟槽杆(2)之间的一块修正子板(5)设置为能够对准镀膜镀锅的一圈膜层的结构。


4.根据权利要求3所述的电子束镀膜用修正板结构，其特征在于：每个所述的沟槽杆(2)分别通过螺钉(12)与主杆(1)上表面或主杆(1)下表面固定连接时，主杆(1)一侧的沟槽杆(2)部位为沟槽杆端部Ⅰ(6)，主杆(1)另一侧的沟槽杆(2)部位为沟槽杆端部Ⅱ(7)，沟槽杆端部Ⅰ(6)设置上层沟槽Ⅰ(8)和下层沟槽Ⅰ(9)，沟槽杆端部Ⅱ(7)设置上层沟槽Ⅱ(10)和下层沟槽Ⅱ(11)。


5.根据权利要求4所述的电子束镀膜用修正板结构，其特征在于：每...

【专利技术属性】
技术研发人员：季韬，曹绪文，祖伟，任清江，宋盖文，王仕伟，朱平，
申请(专利权)人：安徽熙泰智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34