下载电子束镀膜用修正板结构的技术资料

文档序号:25648951

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本实用新型提供一种应用于电子束镀膜技术领域的电子束镀膜用修正板结构,所述的电子束镀膜用修正板结构的主杆(1)上设置多个沟槽杆(2),每个沟槽杆(2)上设置上层沟槽(3)和下层沟槽(4),每个沟槽杆(2)的上层沟槽(3)和一侧相邻的一个沟槽杆...
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