一种用于吸附异形工件的曲面吸盘及工件吸附设备制造技术

本申请公开了一种用于吸附异形工件的曲面吸盘及工件吸附设备，适于应用在真空环境中，包括支撑座，所述支撑座具有用于吸附异形工件的吸附界面，所述吸附界面上接合有可分离地粘接异形工件的吸附件；其中，所述支撑座上接合有分离机构，所述分离机构适于在粘接状态下施力于异形工件以使得该异形工件分离。本申请的用于吸附异形工件的曲面吸盘，可以在真空环境下方便装卸异形工件。环境下方便装卸异形工件。环境下方便装卸异形工件。

【技术实现步骤摘要】
一种用于吸附异形工件的曲面吸盘及工件吸附设备


[0001]本申请涉及静电吸盘
，特别涉及一种用于吸附异形工件的曲面吸盘及工件吸附设备。

技术介绍

[0002]在显示面板行业，针对异形的产品进行贴合，一般都是采用夹持或者真空吸附方式。但是随着面板行业发展，更多的产品由于特性要求不能使用夹持方式，夹持会有边缘应力产生导致工艺不良。
[0003]在一些特定工艺下，需要在真空腔室内吸附产品，然而在真空环境内无法使用真空吸附。静电吸附会存在残余电荷，因此也存在一些缺陷，例如公开号CN114400201A公开的一种静电吸盘的调节方法和调节装置中提到：在工艺过程结束后，由于目标晶圆的调节层内仍然存在电荷，目标晶圆与静电吸盘之间仍然存在静电吸附，使得卸下目标晶圆的过程受阻，甚至可能在卸下目标晶圆的过程中导致机台报警或者目标晶圆破碎的情况。
[0004]尤其是具有异形曲面的产品，形状不规则，如何方便快捷地对产品进行无损吸附及取料成了行业难题。

技术实现思路

[0005]本申请提供了一种用于吸附异形工件的曲面吸盘及工件吸附设备，可以在真空环境下实现便捷吸附及取料。
[0006]第一方面，本申请提供一种用于吸附异形工件的曲面吸盘，适于应用在真空环境中，包括支撑座，所述支撑座具有用于吸附异形工件的吸附界面，所述吸附界面上接合有可分离地粘接异形工件的吸附件；其中，所述支撑座上接合有分离机构，所述分离机构适于在粘接状态下施力于异形工件以使得该异形工件分离。
[0007]通过采用上述技术方案，通过分离机构可以将异形工件从吸附件上拆卸下来，既快捷方便，又不会损坏待加工件。分离机构通在粘接状态下施力于异形工件以使得该异形工件分离，异形工件受力均匀减小推动过程中变形的风险。
[0008]基于第一方面，进一步的方案，所述吸附件背离所述支撑座的一面设有粘接层，所述粘接层设有通孔，所述分离机构设置为通过所述通孔施力于所述粘接层吸附的异形工件。
[0009]通过采用上述技术方案，吸附件设有自带粘性的粘接层，可以方便将异形工件粘合于吸附面，吸附简单方便。
[0010]基于第一方面，进一步的方案，所述粘接层胶接于所述吸附界面。
[0011]通过采用上述技术方案，粘接层通过胶接的方式连接于吸附界面上，加工方便，粘接层粘接力下降后便于对吸附件进行更换。
[0012]基于第一方面，进一步的方案,所述粘接层为多个粘接条，多个所述粘接条沿同一方向贴合于所述吸附界面上。
[0013]通过采用上述技术方案，可以使粘接层与吸附界面贴合伏贴，皱褶小，对异形工件的吸附性能好。
[0014]基于第一方面，进一步的方案，任意两个相邻的所述粘接条的间隔相同。
[0015]通过采用上述技术方案，粘接条与异形工件之间的粘接力更均匀。
[0016]基于第一方面，进一步的方案，所述粘接层为交叉网状结构。
[0017]通过采用上述技术方案，既可以保证粘接层与吸附界面之间的贴合伏贴，又可以实现对产品吸附力的均匀性。
[0018]基于第一方面，进一步的方案，粘接层的形状为平行四边形。
[0019]通过采用上述技术方案，便于对粘接层加工成型，也使吸附力更均匀，另外也更美观。
[0020]基于第一方面，进一步的方案，所述分离机构包括所述支撑座内设有的气道和压缩空气，所述气道与所述通孔连通，当所述分离机构驱动所述异形工件脱离所述吸附面时，所述压缩空气通过所述气道从所述通孔排出。
[0021]通过采用上述技术方案，可以通过气压将产品从吸附面脱离，气压即可以实现实力的均匀不易损伤产品，又便于对拆卸力进行调节控制，而且故障率低便于维护。
[0022]基于第一方面，进一步的方案，所述吸附件设有非粘接层，所述通孔位于所述非粘接层内。
[0023]通过采用上述技术方案，粘接层与产品吸合时，产品和非粘接层围合成相对密闭的空间，通孔排出的压缩空气位于密闭空间内减小了漏气的几率，使压缩空气更有效地推动产品脱离吸附面。
[0024]第二方面，本申请提供了一种工件吸附设备，包括如上所述任一权利要求所述的用于吸附异形工件的曲面吸盘和压缩装置，所述压缩装置用于对空气进行压缩并将所述压缩空气从所述通孔排出。
[0025]通过采用上述技术方案，工件吸附设备可以对异形工件方便的吸合和拆卸，产品质量容易控制，生产效率高。
[0026]综上所述，本申请具有以下至少一种有益技术效果：
[0027]1、本申请用于吸附异形工件的曲面吸盘，结构简单，吸附力均匀，成本低，易于拆卸更换，降低了维修成本。
[0028]2、本申请用于吸附异形工件的曲面吸盘，对产品的损伤小，质量稳定可靠。
[0029]3、本申请工件吸附设备，产品质量稳定，生产效率高。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本技术的一些实施例，而非对本技术的限制。
[0031]图1是本申请用于吸附异形工件的曲面吸盘的结构示意图；
[0032]图2是本申请用于吸附异形工件的曲面吸盘实施例一拆卸状态示意图；
[0033]图3是本申请支撑座的结构示意图；
[0034]图4是本申请吸附件实施例一的结构示意图；
[0035]图5是本申请吸附件实施例一装配支撑座的结构示意图；
[0036]图6是本申请吸附件实施例二的结构示意图；
[0037]图7是本申请吸附件实施例二装配支撑座的结构示意图；
[0038]图8是本申请曲面吸盘实施例二另一种分离机构方案的结构示意图。
[0039]附图标记：
[0040]1、支撑座；11、吸附界面；12、通孔；2、吸附件；21、吸附面；22、粘接层；23、非粘接层；24、出气孔；3、分离机构；31、气道；32、压缩空气；4、镜片；5、顶杆；6、过孔。
具体实施方式
[0041]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术做进一步详细说明。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以各种不同的配置来布置和设计。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0042]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0043]除非另作定义，本专利文件中所使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本技术专利说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于吸附异形工件的曲面吸盘，适于应用在真空环境中，包括支撑座，其特征在于：所述支撑座具有用于吸附异形工件的吸附界面，所述吸附界面上接合有可分离地粘接异形工件的吸附件；其中，所述支撑座上接合有分离机构，所述分离机构适于在粘接状态下施力于异形工件以使得该异形工件分离。2.根据权利要求1所述的用于吸附异形工件的曲面吸盘，其特征在于，所述吸附件背离所述支撑座的一面设有粘接层，所述粘接层设有通孔，所述分离机构设置为通过所述通孔施力于所述粘接层吸附的异形工件。3.根据权利要求2所述的用于吸附异形工件的曲面吸盘，其特征在于，所述粘接层胶接于所述吸附界面。4.根据权利要求2所述的用于吸附异形工件的曲面吸盘，其特征在于，所述粘接层为多个粘接条，多个所述粘接条沿同一方向贴合于所述吸附界面上。5.根据权利要求4所述的用...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈高龙，奉洛阳，丁威，
申请(专利权)人：成都骏创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：