一种热电偶的安装支架结构制造技术

本申请提供一种热电偶的安装支架结构，应用于真空蒸镀机，所述热电偶的安装支架结构包括一体式支架，热电偶的硬质中空圆柱体穿过一体式支架的中空部分，所述一体式支架从上到下包括：凹槽上部、圆环部和螺纹下部，所述螺纹下部穿过真空蒸镀机的主腔体板的通孔，圆环部的外直径大于所述主腔体板通孔的直径，所述螺纹下部的下端具有螺纹，采用第一螺母与所述螺纹下部下端的螺纹拧紧使得所述一体式支架与所述主腔体板固定，所述凹槽上部的顶端外具有螺纹、顶端内具有一凹槽，该凹槽放置有一橡胶圈，橡胶圈的上方依次设置有压圆片和第二螺母，采用第二螺母与所述凹槽上部的顶端外螺纹拧紧使得热电偶的硬质中空圆柱体与所述一体式支架固定及密封。架固定及密封。架固定及密封。

【技术实现步骤摘要】
一种热电偶的安装支架结构


[0001]本技术涉及真空蒸镀机
，更具体地，涉及一种热电偶的安装支架结构。

技术介绍

[0002]真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。
[0003]在真空蒸镀的加工工艺中，在真空条件下采用坩埚气化镀膜材料，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源(source)，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅，镀锅上固定有被镀膜工件，因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜。在镀膜的过程中，真空蒸镀机的主腔体内是真空的状态，因此对穿过主腔体板的部件具有较高的要求，其中，热电偶及其安装支架结构需要穿过主腔体板，热电偶的一部分在主腔体外一部分在主腔体内，热电偶用于检测真空蒸镀机的主腔体内的温度，热电偶的安装支架结构用于固定及密封热电偶，在现有技术中，热电偶安装支架结构复杂，不容易安装以及拆卸，并且用到很多密封圈，由于密封圈使用时间长了之后会出现变形、老化等现象，因此容易出现漏气的情况。
[0004]有鉴于此，本技术提供一种热电偶的安装支架结构，用于真空蒸镀机，该热电偶的安装支架结构简单，容易安装及拆卸，并且用到的密封圈少减少了漏气的风险。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于，提供一种热电偶的安装支架结构，用于真空蒸镀机，该热电偶的安装支架结构简单，容易安装及拆卸，并且用到的密封圈少减少了漏气的风险。
[0006]本申请的热电偶的安装支架结构，其中的主体支架部分为一体式的，并且与现有技术的结构相比更加简单有效，方便安装和拆卸，并且降低了漏气的风险，具体的，支架部分不再是分体的，并且固定支架与主腔体的固定件不再需要两套，密封圈也相应的减少。支架与主腔体板固定，仅需要一个螺母与主体支架的下端固定即可，而热电偶与支架固定，也仅需要一个橡胶圈、螺母与主题支架的上端固定即可。本申请人在此基础上完成了本申请。
[0007]一种热电偶的安装支架结构，应用于真空蒸镀机，所述热电偶包括软管和一段套设在软管外的硬质中空圆柱体，热电偶的硬质中空圆柱体穿过所述安装支架结构，所述安装支架结构起到固定热电偶及密封的作用，所述热电偶的安装支架结构包括一体式支架1，所述一体式支架1是中空的，热电偶的硬质中空圆柱体穿过一体式支架1的中空部分，所述一体式支架1从上到下包括：凹槽上部11、圆环部12和螺纹下部13，所述一体式支架1的螺纹下部13穿过真空蒸镀机的主腔体板的通孔，圆环部12的外直径大于所述主腔体板通孔的直
径，所述圆环部12的下表面与所述主腔体板的外表面接触，所述一体式支架1的螺纹下部13的下端具有螺纹，采用第一螺母2与所述螺纹下部13下端的螺纹拧紧使得所述一体式支架1与所述主腔体板固定，所述一体式支架1的凹槽上部11的顶端外具有螺纹、顶端内具有一凹槽111，凹槽111放置有一橡胶圈3，橡胶圈3的上方依次设置有压圆片4和第二螺母5，采用第二螺母5与所述凹槽上部11的顶端外螺纹拧紧使得热电偶的硬质中空圆柱体与所述一体式支架1固定及密封。
[0008]在一些实施方式中，所述一体式支架1的圆环部12的下表面设置有一密封凹槽121，所述密封凹槽121为圆环形，密封凹槽121用于放置密封圈，该密封圈在一体式支架1与所述主腔体板固定时起到密封的作用。
[0009]在一些实施方式中，所述一体式支架1的凹槽上部11和螺纹下部13为中空圆柱体，圆环部12为中空圆环，凹槽上部11和螺纹下部13的外直径小于圆环部12的外直径，所述螺纹下部13的外直径小于主腔体板通孔的直径。
[0010]进一步的，所述凹槽上部11的外直径小于螺纹下部13的外直径。
[0011]进一步的，所述螺纹下部13的内直径大于圆环部12和凹槽上部11的内直径。
[0012]进一步的，所述圆环部12的内直径与凹槽上部11的内直径相同。
[0013]在一些实施方式中，所述凹槽上部11的凹槽111为圆环形，凹槽111的深度小于凹槽上部11的高度，凹槽111的宽度小于凹槽上部11的环宽，凹槽111的下表面为向凹槽上部11的下端倾斜的斜面，并且该斜面的倾斜角度为10
°‑
60
°
。
[0014]进一步的，所述橡胶圈3的直径大于所述凹槽111的内直径并且小于凹槽111的外直径。
[0015]在一些实施方式中，所述压圆片4为圆形或者中空圆环形，所述压圆片4的直径或者外直径小于所述凹槽111的外直径。
[0016]进一步优选的，所述压圆片4为中空圆环形，所述压圆片4的内直径与所述凹槽111的内直径相同，所述压圆片4的下表面为向压圆片4的上端倾斜的斜面，并且该该斜面的倾斜角度为10
°‑
60
°
，热电偶与一体式支架1固定时压圆片4的上表面与第二螺母5接触、下表面与橡胶圈3的上表面接触。
[0017]在一些实施方式中，所述第二螺母5为具有圆形上盖的中空圆环形螺母，第二螺母5的下端的内表面上具有螺纹，能够与凹槽上部11的上端的外表面上的螺纹齿合，第二螺母5的内直径大于压圆片4的外直径，第二螺母5沿着凹槽上部11的顶端外螺纹旋转使得压圆片4挤压橡胶圈3，使得橡胶圈3与热电偶的硬质中空圆柱体固定并同时起到密封的作用。
[0018]在一些实施方式中，所述热电偶的安装支架结构还包括垫片6，垫片6设置在第一螺母2的上方，一体式支架1与所述主腔体板固定时，垫片6的上表面接触所述主腔体板的内表面，垫片6的下表面接触第一螺母2的上表面。
附图说明
[0019]图1为本申请的热电偶的安装支架结构、热电偶及主腔体板的结构示意图。
[0020]图2为本申请的热电偶的安装支架结构和热电偶的结构示意图。
[0021]图3为本申请的热电偶的安装支架结构的爆炸图。
[0022]图4为本申请的热电偶的安装支架结构的截面图。
[0023]主要元件符号说明：
[0024]一体式支架1、第一螺母2、橡胶圈3、压圆片4、第二螺母5、垫片6、凹槽上部11、凹槽111、圆环部12、密封凹槽121、螺纹下部13。
具体实施方式
[0025]描述以下实施例以辅助对本申请的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本申请的保护范围。
[0026]在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。
[0027]同时，组件或系统之间的连接并不旨在限于直接连接。相反，在这些组件之间的数据可由中间组本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种热电偶的安装支架结构，应用于真空蒸镀机，所述热电偶包括软管和一段套设在软管外的硬质中空圆柱体，热电偶的硬质中空圆柱体穿过所述安装支架结构，所述安装支架结构起到固定热电偶及密封的作用，其特征在于，所述热电偶的安装支架结构包括一体式支架(1)，所述一体式支架(1)是中空的，热电偶的硬质中空圆柱体穿过一体式支架(1)的中空部分，所述一体式支架(1)从上到下包括：凹槽上部(11)、圆环部(12)和螺纹下部(13)，所述一体式支架(1)的螺纹下部(13)穿过真空蒸镀机的主腔体板的通孔，圆环部(12)的外直径大于所述主腔体板通孔的直径，所述圆环部(12)的下表面与所述主腔体板的外表面接触，所述一体式支架(1)的螺纹下部(13)的下端具有螺纹，采用第一螺母(2)与所述螺纹下部(13)下端的螺纹拧紧使得所述一体式支架(1)与所述主腔体板固定，所述一体式支架(1)的凹槽上部(11)的顶端外具有螺纹、顶端内具有一凹槽(111)，凹槽(111)放置有一橡胶圈(3)，橡胶圈(3)的上方依次设置有压圆片(4)和第二螺母(5)，采用第二螺母(5)与所述凹槽上部(11)的顶端外螺纹拧紧使得热电偶的硬质中空圆柱体与所述一体式支架(1)固定及密封。2.如权利要求1所述的热电偶的安装支架结构，其特征在于，所述一体式支架(1)的圆环部(12)的下表面设置有一密封凹槽(121)，所述密封凹槽(121)为圆环形，密封凹槽(121)用于放置密封圈，该密封圈在一体式支架(1)与所述主腔体板固定时起到密封的作用。3.如权利要求1所述的热电偶的安装支架结构，其特征在于，所述一体式支架(1)的凹槽上部(11)和螺纹下部(13)为中空圆柱体，圆环部(12)为中空圆环，凹槽上部(11)和螺纹下部(13)的外直径小于圆环部(12)的外直径，所述螺纹下部(13)的外直径小于主腔体板通孔的直径。4.如权利要求3所述的热电偶的安装支架结构，其特征在于，所述螺纹下部(13)的内直径大于圆环部(12)和凹槽上部(11)的内直径，所述圆环部(12)的内直径与凹槽上部(11)的内直...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛蒙晓，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：