一种真空镀膜机制造技术

本发明专利技术公开了一种真空镀膜机，涉及真空镀膜技术领域,包括箱体，箱体内设置有蒸发组件、齿轮传动组件、喷淋组件和若干个夹持组件，蒸发组件、齿轮传动组件和喷淋组件自下而上依次设置在箱体内，若干个夹持组件呈上下交错分布在齿轮传动组件上，蒸发组件包括蒸发架、滤网和防水部件，蒸发架与箱体固定连接，滤网设置在蒸发架的底部，蒸发架内设置有若干个蒸发电极，防水部件设置在蒸发架的顶部，箱体下部的一侧设置有排水管，箱体的顶部设置有排气管，箱体中部的一侧开设有操作门。本发明专利技术使夹持组件对镀件进行多角度的转动，提高了镀膜的效果，并且操作过程中不需要频繁地对设备进行拆卸，减少因频繁对设备操作而产生的隐患。减少因频繁对设备操作而产生的隐患。减少因频繁对设备操作而产生的隐患。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机


[0001]本专利技术涉及真空镀膜
，尤其是涉及一种真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。
[0003]中国专利号为CN109930128B的专利公开了一种真空镀膜机，包括底板、扩散泵和机械泵，所述底板的下端表面左右两侧均固定安装有支架，所述罩体的内部左侧设置有真空计，所述罩体的内部右侧设置有放气阀，所述罩体的内部左右两侧均设置有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的上端外表面等间距固定连接有待镀金属，所述电动伸缩杆的内侧设置有框体，所述框体的右侧表面固定安装有电机，所述连动结构上安装连接有固定盘，所述底板的上表面右侧固定安装有储液箱。
[0004]其设置的罩体在工作过程中，需要不断地拆卸、安装，不仅影响罩体内的密封性，还费时费力，并且其设置的夹持组件处于蒸发电极的下方，使需要镀膜的工件未能很好的吸附罩体内的待镀颗粒，镀膜效果不佳，并且其设置的喷头未能对易聚集在罩体顶部的颗粒进行冲洗，冲洗效果不佳。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种真空镀膜机，以解决现有技术中镀膜效果不佳以及罩体拆装造成密封性差、劳动成本高的技术问题。
[0006]本专利技术提供一种真空镀膜机，包括箱体，所述箱体内设置有蒸发组件、齿轮传动组件、喷淋组件和若干个夹持组件，所述蒸发组件、齿轮传动组件和喷淋组件自下而上依次设置在箱体内，若干个所述夹持组件呈上下交错分布在齿轮传动组件上，所述蒸发组件包括蒸发架、滤网和防水部件，所述蒸发架与箱体固定连接，所述滤网设置在蒸发架的底部，所述蒸发架内设置有若干个蒸发电极，所述防水部件设置在蒸发架的顶部，所述箱体下部的一侧设置有排水管，所述箱体的顶部设置有排气管，所述箱体中部的一侧开设有操作门。
[0007]进一步，所述防水部件包括第一电机和两个半圆门，其中一个所述半圆门的一端设置有主动转轴，另一个所述半圆门的一端设置有从动转轴，所述主动转轴和从动转轴与箱体转动连接，所述主动转轴上设置有主动齿轮，所述从动转轴上设置有从动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮相互啮合，所述第一电机安装在箱体的底部，且所述第一电机的输出端与主动转轴连接。
[0008]进一步，所述齿轮传动组件包括第一轴杆、固定杆、第二电机、若干个第一锥齿轮、若干个第二轴杆和若干个第二锥齿轮，所述第一轴杆的底部与箱体转动连接，所述第一轴
杆的顶部与箱体转动连接，所述第二电机设置在箱体的底部，且所述第二电机的输出端与第一轴杆连接，所述第一轴杆为中空结构，所述固定杆设置在第一轴杆的内部，且所述固定杆的顶端与箱体固定连接，若干个所述第一锥齿轮等间距设置在固定杆上，每个所述第二轴杆均贯穿设置在第一轴杆的一侧，所述第二锥齿轮设置在第二轴杆的一端，且每个所述第二锥齿轮均与对应的第一锥齿轮相互啮合，每个所述第二轴杆与第一轴杆的连接处均设置有加固圈。
[0009]进一步，所述固定杆的底部设置有轴承，所述轴承的内部与固定杆固定连接，所述轴承的外部与第一轴杆转动连接。
[0010]进一步，所述夹持组件与第二轴杆数量相同且一一对应，每个所述夹持组件包括“L”形的固定块、滑块和螺杆，每个所述固定块均设置在对应的第二轴杆的另一端，每个所述固定块上均开设有滑槽，每个所述滑块均与对应的滑槽滑动连接，每个所述螺杆均贯穿对应的固定块和滑块设置。
[0011]进一步，每个所述固定块和滑块的夹持面均对称设置有防滑纹。
[0012]进一步，所述喷淋组件包括若干个进水管和若干个喷头，所述进水管和喷头的数量相同且一一对应，每个所述进水管均设置在箱体的内部，每个所述喷头设置在进水管的一端，且每个所述喷头的输出端均倾斜朝向箱体的顶部。
[0013]与现有技术相比较，本专利技术的有益效果在于：
[0014](1)本专利技术通过第一锥齿轮与第二锥齿轮的啮合，使夹持组件对镀件进行多角度的转动，使镀件能全方位地吸附待镀颗粒，提高了镀膜的效果，并且操作过程中不需要额外的消耗资源，使镀膜工作可以节能、高效地进行。
[0015](2)本专利技术通过防水部件用于在进行清洗工作时，防止清洗液进入蒸发架而对蒸发电极造成腐蚀，进而影响设备的正常运行，降低了运行维护的成本，节省了人力物力。
[0016](3)本专利技术可实现连续工作，不需要频繁地对设备进行拆卸，减少因频繁对设备操作而产生的隐患，并且通过轴承和加固圈的设置使设备运行更加稳定，提高本专利技术的实用性。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为本专利技术的立体结构示意图；
[0019]图2为本专利技术的剖视图；
[0020]图3为本专利技术的第一局部结构示意图；
[0021]图4为本专利技术的第二局部结构示意图；
[0022]图5为本专利技术中夹持组件的结构示意图。
[0023]附图标记：
[0024]1、箱体；2、蒸发组件；3、齿轮传动组件；4、喷淋组件；5、夹持组件；6、蒸发架；7、防水部件；8、排水管；9、排气管；10、操作门；31、第一轴杆；32、固定杆；33、第二电机；34、第一
锥齿轮；35、第二轴杆；36、第二锥齿轮；37、加固圈；38、轴承；41、进水管；42、喷头；51、固定块；52、滑块；53、螺杆；54、滑槽；55、防滑纹；61、滤网；62、蒸发电极；71、半圆门；72、第一电机；73、主动转轴；74、从动转轴；75、主动齿轮；76、从动齿轮。
具体实施方式
[0025]下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0026]通常在此处附图中描述和显示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。
[0027]基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0028]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机，包括箱体(1)，其特征在于，所述箱体(1)内设置有蒸发组件(2)、齿轮传动组件(3)、喷淋组件(4)和若干个夹持组件(5)，所述蒸发组件(2)、齿轮传动组件(3)和喷淋组件(4)自下而上依次设置在箱体(1)内，若干个所述夹持组件(5)呈上下交错分布在齿轮传动组件(3)上，所述蒸发组件(2)包括蒸发架(6)、滤网(61)和防水部件(7)，所述蒸发架(6)与箱体(1)固定连接，所述滤网(61)设置在蒸发架(6)的底部，所述蒸发架(6)内设置有若干个蒸发电极(62)，所述防水部件(7)设置在蒸发架(6)的顶部，所述箱体(1)下部的一侧设置有排水管(8)，所述箱体(1)的顶部设置有排气管(9)，所述箱体(1)中部的一侧开设有操作门(10)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于，所述防水部件(7)包括第一电机(72)和两个半圆门(71)，其中一个所述半圆门(71)的一端设置有主动转轴(73)，另一个所述半圆门(71)的一端设置有从动转轴(74)，所述主动转轴(73)和从动转轴(74)与箱体(1)转动连接，所述主动转轴(73)上设置有主动齿轮(75)，所述从动转轴(74)上设置有从动齿轮(76)，所述主动齿轮(75)与从动齿轮(76)相互啮合，所述第一电机(72)安装在箱体(1)的底部，且所述第一电机(72)的输出端与主动转轴(73)连接。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于，所述齿轮传动组件(3)包括第一轴杆(31)、固定杆(32)、第二电机(33)、若干个第一锥齿轮(34)、若干个第二轴杆(35)和若干个第二锥齿轮(36)，所述第一轴杆(31)的底部与箱体(1)转动连接，所述第一轴杆(31)的顶部与箱体(1)转动连接，所述第二电机(33)设置在箱体(1)的底部，且所述第二电机(3...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚斌，
申请(专利权)人：新昌县承慧机电设备有限公司，
类型：发明
国别省市：