本实用新型专利技术涉及一种热蒸发坩埚和热蒸发装置。该热蒸发坩埚包括：绝缘坩埚本体，所述绝缘坩埚本体呈一端敞口一端封闭的筒状，所述绝缘坩埚本体的侧壁沿周向间隔设有多个穿线孔，各所述穿线孔均沿所述绝缘坩埚本体的轴向延伸并贯穿所述绝缘坩埚本体的两端；以及加热丝，所述加热丝依次迂回穿过各所述穿线孔。本方案的热蒸发坩埚可有效减少热损耗，提升热蒸发效率。发效率。发效率。
【技术实现步骤摘要】
热蒸发坩埚和热蒸发装置
[0001]本技术涉及热蒸发
，特别是涉及一种热蒸发坩埚和热蒸发装置。
技术介绍
[0002]热蒸发源常用于分子束外延生长设备中，其原理是将金属加热丝(如钽丝或钨丝)通电加热，利用热辐射的方式加热坩埚(如金属坩埚或陶瓷坩埚)。坩埚中的材料受热蒸发，在衬底上沉积，实现外延薄膜的生长。热蒸发源的稳定性和效率很大程度上决定着分子束外延生长薄膜材料的质量和效率。
[0003]现有的热蒸发坩埚大多采用金属加热丝与坩埚分离的设计，为了保护金属加热丝不受蒸发材料的沉积而影响使用效率，通常需要在金属加热丝之外加一层PBN或者陶瓷隔环保护和固定。上述热蒸发坩埚热损耗大，热蒸发效率相对较低，需要更高的蒸发功率。
技术实现思路
[0004]基于此，有必要针对上述问题，提供一种热蒸发坩埚和热蒸发装置，该热蒸发坩埚可减少热损耗，提高热蒸发效率。
[0005]本申请提出一种热蒸发坩埚，包括：
[0006]绝缘坩埚本体，所述绝缘坩埚本体呈一端敞口一端封闭的筒状，所述绝缘坩埚本体的侧壁沿周向间隔设有多个穿线孔，各所述穿线孔均沿所述绝缘坩埚本体的轴向延伸并贯穿所述绝缘坩埚本体的两端；以及
[0007]加热丝，所述加热丝依次迂回穿过各所述穿线孔。
[0008]上述的热蒸发坩埚通过在绝缘坩埚本体的侧壁内开设有多个沿轴向贯穿的穿线孔，将加热丝依次迂回穿过各穿线孔，最终使得加热丝能够呈折回状固定于绝缘坩埚本体的侧壁内，当加热丝通电后能够对绝缘坩埚本体进行加热，进而产生的热量能够对绝缘坩埚本体内的蒸镀材料进行辐射加热。由于加热丝穿置于穿线孔内，绝缘坩埚本体本身就能够对加热丝进行保护固定，以将加热丝与蒸镀材料隔离开，如此，不仅能够避免加热丝被损坏，且无需再在加热丝外围额外增加PBN材料或者陶瓷隔环进行保护，可有效减少热损耗，提升热蒸发效率。
[0009]在其中一个实施例中，多个所述穿线孔沿所述绝缘坩埚本体的周向间隔且均匀排布，各所述穿线孔的轴线相互平行。
[0010]在其中一个实施例中，所述绝缘坩埚本体的封闭端的外周设有第一凸缘，所述第一凸缘间隔设有两个第一固定孔，各所述第一固定孔分别用于固定一根导电丝，所述加热丝的两端均从所述绝缘坩埚本体的封闭端穿出，所述加热丝的两端分别用于与其中一根所述导电丝连接。
[0011]在其中一个实施例中，所述绝缘坩埚本体的敞口端的外周设有第二凸缘，所述第二凸缘设有第二固定孔，所述第二固定孔用于固定连接杆。
[0012]在其中一个实施例中，所述绝缘坩埚本体采用陶瓷材质制成。
[0013]本申请还提出一种热蒸发装置，包括屏蔽罩、导电丝及如上所述的热蒸发坩埚，所述热蒸发坩埚安装于所述屏蔽罩内，所述热蒸发坩埚的加热丝的两端分别连接有一根所述导电丝。
[0014]在其中一个实施例中，所述屏蔽罩包括内环壁和外环壁，所述外环壁间隔围设于所述内环壁的外围，所述外环壁与所述内环壁之间形成供冷却液通过的冷却通道。
[0015]在其中一个实施例中，所述热蒸发装置还包括连接于所述屏蔽罩顶端的端板，所述端板与所述热蒸发坩埚间隔设置并通过连接杆连接，所述端板设有与所述热蒸发坩埚的敞口对应的开口。
[0016]在其中一个实施例中，所述端板和所述连接杆均采用钼材质制成。
[0017]在其中一个实施例中，所述热蒸发装置还包括安装法兰，所述屏蔽罩与所述安装法兰连接，所述安装法兰用于固定在真空腔体内。
附图说明
[0018]构成本申请的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本技术一实施例的热蒸发坩埚的结构示意图(图中加热丝未示出)；
[0021]图2为热蒸发坩埚的剖面结构示意图；
[0022]图3为本技术一实施例的热蒸发装置的剖面结构示意图。
[0023]10、热蒸发坩埚；11、绝缘坩埚本体；111、穿线孔；12、加热丝；13、第一凸缘；131、第一固定孔；14、第二凸缘；141、第二固定孔；20、屏蔽罩；201、连接孔；21、内环壁；22、外环壁；23、冷却通道；30、导电丝；40、端板；50、连接杆；60、安装法兰；70、输液管。
具体实施方式
[0024]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0025]请参阅图1和图2，本技术一实施例提供的热蒸发坩埚10包括绝缘坩埚本体11和加热丝12。所述绝缘坩埚本体11呈一端敞口一端封闭的筒状，所述绝缘坩埚本体11的侧壁沿周向间隔设有多个穿线孔111，各所述穿线孔111均沿所述绝缘坩埚本体11的轴向延伸并贯穿所述绝缘坩埚本体11的两端；所述加热丝12依次迂回穿过各所述穿线孔111。
[0026]具体地，如图1和图2所示，在本实施例中，绝缘坩埚本体11呈一端敞口一端封闭的圆筒状，绝缘坩埚本体11包括底壁及自底壁的周缘向上延伸的侧壁，其中，设有底壁的一端为绝缘坩埚本体11的封闭端，与底壁相对的另一端为绝缘坩埚本体11的敞口端，底壁和侧
壁之间围合形成用于放置蒸镀材料的容腔。当然，在其他实施例中，也可根据实际需要将绝缘坩埚本体11设计为方形筒状或者其他异形筒状。绝缘坩埚本体11的侧壁设有多个穿线孔111，其中，穿线孔111的数量可根据实际需要进行设置，在此不做具体限定。各穿线孔111均沿绝缘坩埚本体11的轴向延伸，需要说明的是，穿线孔111的轴线可以与绝缘坩埚本体11的轴线相平行，或者穿线孔111的轴线也可以与绝缘坩埚本体11的轴线存在一定的倾斜角度，只要保证穿线孔111最终能够贯穿绝缘坩埚本体11轴向上的两端面即可。加热丝12具有一定的长度，在与绝缘坩埚本体11进行装配时，先将加热丝12的一端自其中一个穿线孔111的第一端(例如下端)穿入，并沿着该穿线孔111穿出后，再进入相邻的另一个穿线孔111的第二端(例如上端)，如此依次上下迂回穿过各穿线孔111，最终使得加热丝12能够呈折回状固定于绝缘坩埚本体11的侧壁内，加热丝12的首尾两端可从穿线孔111内穿出，以便与外部的导电丝30连接以进行通电加热。其中，绝缘坩埚本体11采用绝缘材质制成，例如可采用陶瓷材料或者PBN(热解氮化硼)材料制成，加热丝12采用金属材质(如钨、镍铬合金等材料)制成，如本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种热蒸发坩埚，其特征在于，包括：绝缘坩埚本体，所述绝缘坩埚本体呈一端敞口一端封闭的筒状，所述绝缘坩埚本体的侧壁沿周向间隔设有多个穿线孔，各所述穿线孔均沿所述绝缘坩埚本体的轴向延伸并贯穿所述绝缘坩埚本体的两端；以及加热丝，所述加热丝依次迂回穿过各所述穿线孔。2.根据权利要求1所述的热蒸发坩埚，其特征在于，多个所述穿线孔沿所述绝缘坩埚本体的周向间隔且均匀排布，各所述穿线孔的轴线相互平行。3.根据权利要求1所述的热蒸发坩埚，其特征在于，所述绝缘坩埚本体的封闭端的外周设有第一凸缘，所述第一凸缘间隔设有两个第一固定孔，各所述第一固定孔分别用于固定一根导电丝，所述加热丝的两端均从所述绝缘坩埚本体的封闭端穿出，所述加热丝的两端分别用于与其中一根所述导电丝连接。4.根据权利要求1所述的热蒸发坩埚，其特征在于，所述绝缘坩埚本体的敞口端的外周设有第二凸缘，所述第二凸缘设有第二固定孔，所述第二固定孔用于固定连接杆。5.根据权利要求1至4任意一项所述的热蒸发...
【专利技术属性】
技术研发人员：倪健，孙志鹏，薛聪，
申请(专利权)人：埃特曼深圳半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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