真空样品驱动装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种真空样品驱动装置，包括设置于真空腔室内并和样品承载台相连接的第一磁性部件；设置于真空腔室外的第二磁性部件；第二磁性部件和第一磁性部件之间通过磁场力相互磁耦合，且第一磁性部件和第二磁性部件之间的真空腔室的腔壁为一体结构；第二磁性部件为对第一磁性部件施加的磁场力可调的磁性件；当第一磁性部件受第二磁性部件的磁场力变化时，第一磁性部件受变化的磁场力驱动带动样品承载台移动，以驱动样品承载台上的样品移动到设定位置。本申请所提供的真空环境中的样品转运的装置，不需要将驱动电机、轴承等驱动设备封装于真空环境中，提高真空腔室的密封性和真空环境的洁净度。

【技术实现步骤摘要】
真空样品驱动装置
本专利技术涉及真空加工控制
，特别是涉及一种真空样品驱动装置。
技术介绍
在半导体芯片、半导体外延片等各种高精密器件，在生产加工过程中，均要求在真空环境中完成。真空环境中要求高洁净度、隔绝氧气和水分、高精密度操作等。而在真空环境中对样品内进行加工操作过程中，不可避免的需要对样品进行转移、移动或回传等等操作，这就需要在维持真空环境的真空腔室内设置较为复杂的传动机械结构。对于目前市面上有一些通过机械结构进行传动装置，存在的问题是，机械结构传动过程中并不能很好地保证机械结构的气密性。如果相关的密封胶没有及时补充，可能就会在运动时影响真空环境的气密性。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种真空样品驱动装置，能够在一定程度上保证真空腔室中的真空环境气密性。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种真空样品驱动装置，包括设置于真空腔室内并和样品承载台相连接的第一磁性部件；设置于所述真空腔室外的第二磁性部件；所述第二磁性部件和所述第一磁性部件之间通过磁场力相互磁耦合，且所述第一磁性部件和所述第二磁性本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空样品驱动装置，其特征在于，包括设置于真空腔室内并和样品承载台相连接的第一磁性部件；设置于所述真空腔室外的第二磁性部件；所述第二磁性部件和所述第一磁性部件之间通过磁场力相互磁耦合，且所述第一磁性部件和所述第二磁性部件之间的真空腔室的腔壁为一体结构；/n其中，所述第二磁性部件为对所述第一磁性部件施加的磁场力可调的磁性件；/n当所述第一磁性部件受所述第二磁性部件的磁场力变化时，所述第一磁性部件受变化的磁场力驱动带动所述样品承载台移动，以驱动所述样品承载台上的样品移动到设定位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空样品驱动装置，其特征在于，包括设置于真空腔室内并和样品承载台相连接的第一磁性部件；设置于所述真空腔室外的第二磁性部件；所述第二磁性部件和所述第一磁性部件之间通过磁场力相互磁耦合，且所述第一磁性部件和所述第二磁性部件之间的真空腔室的腔壁为一体结构；
其中，所述第二磁性部件为对所述第一磁性部件施加的磁场力可调的磁性件；
当所述第一磁性部件受所述第二磁性部件的磁场力变化时，所述第一磁性部件受变化的磁场力驱动带动所述样品承载台移动，以驱动所述样品承载台上的样品移动到设定位置。


2.如权利要求1所述的真空样品驱动装置，其特征在于，所述第二磁性部件包括至少两组绕组线圈；当所述绕组线圈中的通电电流发生变化，各组所述绕组线圈的叠加磁场力发生变化。


3.如权利要求1所述的真空样品驱动装置，其特征在于，所述第二磁性部件连接有驱动部件，用于驱动所述第二磁性部件相对于所述第一磁性部件运动，以改变所述第二磁性部件对所述第一磁性部件的磁场力。


4.如权利要求1所述的真空样品驱动装置，其特征在于，所述第一磁性部件还连接有卡位部件，用于将所述第一磁性部件的可移动位置点限制在至少两个固定位置点。


5.如权利要求4所述的真空样品驱动装置，其特征在于，所述卡位部件包括均具有凹凸结构的第一卡位部件和第二卡位部件，所述第一卡位部件和所述第二卡位部件的...

【专利技术属性】
技术研发人员：楼厦，倪健，薛聪，
申请(专利权)人：埃特曼深圳半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44