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本发明公开了一种真空样品驱动装置，包括设置于真空腔室内并和样品承载台相连接的第一磁性部件；设置于真空腔室外的第二磁性部件；第二磁性部件和第一磁性部件之间通过磁场力相互磁耦合，且第一磁性部件和第二磁性部件之间的真空腔室的腔壁为一体结构；第二磁...
该专利属于埃特曼(深圳)半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃特曼(深圳)半导体技术有限公司授权不得商用。

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