一种蒸镀坩埚结构制造技术

一种蒸镀坩埚结构，属于蒸镀设备技术领域，该蒸镀坩埚结构，包括坩埚本体、压力传感器、PLC和送料部件，坩埚本体包括用于盛放镀膜材料的容纳腔，坩埚本体外沿其外周方向缠绕有加热丝，坩埚本体的底部设置检测容纳腔重量的压力传感器，坩埚本体的上部连接有与容纳腔相连通的送料部件，压力传感器通过PLC与所述送料部件相连，本实用新型专利技术的有益效果是，本实用新型专利技术整体结构简单，可实时监控坩埚本体内的镀膜材料的剩余量，在镀膜材料消耗完之前，可自动高效向坩埚本体内加料，避免了坩埚本体干烧带来的损失，降低了工人的监控成本，保证了镀膜的连续化生产，提高了镀膜生产的效率和稳定性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀坩埚结构


[0001]本技术涉及蒸镀设备
，尤其涉及一种蒸镀坩埚结构。

技术介绍

[0002]蒸镀是指在真空条件下，采用一定的加热方式使镀膜材料(或称膜料)气化并沉积到基片表面的工艺；广泛应用于显示面板的制作过程。蒸镀坩埚是蒸镀工艺中最重要的设备之一，现有技术提供的蒸镀坩埚，通常包括具有容纳腔的坩埚本体和设置于坩埚本体开口处的喷嘴。
[0003]现有技术中的蒸镀坩埚，随着蒸镀工艺的持续进行，坩埚本体内的镀膜材料逐渐减少，直至全部消耗最终接近坩埚重量，目前通常采用以下方法来判断坩埚本体内镀膜材料的剩余量，即直接取出坩埚本体，通过目测的方法检查坩埚本体内镀膜材料的消耗情况，这样做有以下几点缺陷：1、需要停机开盖，造成生产等待，耗时耗力；2、破坏密封设备内部的已经调试好的生产环境，设备复机后需要重新生产工艺调试，浪费调试材料。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种蒸镀坩埚结构，可实时监控坩埚本体内的镀膜材料的剩余量，在镀膜材料消耗完之前，可自动向坩埚本体内加料，避免了坩埚本体干烧带来的损失，降低了工人的监控成本，保证了镀膜的连续化生产，提高了镀膜生产的效率和稳定性。
[0005]为实现上述目的，本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：所述蒸镀坩埚结构，包括坩埚本体、压力传感器、PLC和送料部件，所述坩埚本体包括用于盛放镀膜材料的容纳腔，所述坩埚本体外沿其外周方向缠绕有加热丝，所述坩埚本体的底部设置检测容纳腔重量的压力传感器，所述坩埚本体的上部连接有与所述容纳腔相连通的送料部件，所述压力传感器通过PLC与所述送料部件相连。
[0006]所述坩埚本体外套接有冷却夹套，所述冷却夹套包覆在所述加热丝和压力传感器的外部。
[0007]所述坩埚本体的端口处设置有外伸的凸缘，所述凸缘支撑连接在所述冷却夹套开口的上端。
[0008]所述送料部件包括送料泵、输送管道和电控阀，所述送料泵的进口与储料仓相连，所述送料泵的出口通过输送管道与所述容纳腔密封相连，所述输送管道上安装所述电控阀，所述压力传感器通过PLC与所述送料泵和电控阀电连接。
[0009]所述坩埚本体和所述冷却夹套的侧壁上分别相对设置有安装孔Ⅰ和安装孔Ⅱ，所述安装孔Ⅰ和安装孔Ⅱ上均安装有密封圈，所述输送管道的一端依次穿过所述安装孔Ⅱ和安装孔Ⅰ并通过密封圈与安装孔Ⅰ和安装孔Ⅱ密封相连。
[0010]所述容纳腔由上而下依次安装有喷嘴、分散网板和所述输送管道，所述喷嘴罩设在所述分散网板的上方。
[0011]所述容纳腔内设置有环形凸台，所述分散网板包括安装座和网板，所述安装座内可拆卸连接所述网板，所述安装座的外周方向设置有与所述环形凸台卡接配合的环形卡槽，所述网板上均布有通孔。
[0012]所述蒸镀坩埚结构还包括上位机，所述PLC与所述上位机通讯以控制所述送料部件的启停指令。
[0013]本技术的有益效果是：
[0014]1、本技术通过在坩埚本体的安装腔底部设置压力传感器，可实时检测容纳腔内镀膜材料的重量，在坩埚本体上连接向容纳腔输送镀膜材料的送料部件，压力传感器将检测的压力信号传输给PLC，PLC将检测的压力信号与设定的重量信号比较，当检测的压力信号小于设定的重量信号时，PLC自动控制送料部件向容纳腔内输送镀膜材料，直到重量达到设定的范围后停止输料，实现了镀膜材料余量的自动监控和镀膜材料的自动输料，避免了坩埚本体干烧带来的损失，降低了工人的监控成本，保证了镀膜的连续化生产，提高了镀膜生产的效率和稳定性。
[0015]2、本技术中的坩埚本体外缠绕加热丝，冷却夹套套设在坩埚本体外，将加热丝和压力传感器包覆，将坩埚本体支撑，起到了保温隔热的作用，使坩埚本体内的镀膜材料的气化效果更好，而且避免了工人靠近带来的烫伤问题，而且为压力传感器的安装提供了安装空间。
[0016]3、本技术通过在坩埚本体和冷却夹套上分别设置安装孔Ⅰ和安装孔Ⅱ，在安装孔Ⅰ和安装孔Ⅱ内安装密封圈，通过密封圈与送料部件的输送管道的一端密封相连，避免了气化后的镀膜材料外漏造成的材料的损失，而且通过在输送管道上安装电控阀，可用于控制物料的输送开度，通过送料泵将镀膜材料快速输送到坩埚本体内，提高了送料的效率。
[0017]综上，本技术整体结构简单，可实时监控坩埚本体内的镀膜材料的剩余量，在镀膜材料消耗完之前，可自动高效向坩埚本体内加料，避免了坩埚本体干烧带来的损失，降低了工人的监控成本，保证了镀膜的连续化生产，提高了镀膜生产的效率和稳定性。
附图说明
[0018]下面对本技术说明书各幅附图表达的内容及图中的标记作简要说明：
[0019]图1为本技术的结构示意图；
[0020]上述图中的标记均为：1.坩埚本体，11.容纳腔，12.凸缘，13.安装孔Ⅰ，14.环形凸台，2.压力传感器，3.送料部件，31.送料泵，32.输送管道，33.电控阀，4.加热丝，5.冷却夹套，51.安装孔Ⅱ，6.密封圈，7.喷嘴，8.分散网板，81.安装座，811.环形卡槽，82.网板。
具体实施方式
[0021]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。
[0022]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方
位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0023]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0024]本技术具体的实施方案为：如图1所示，一种蒸镀坩埚结构，包括坩埚本体1、压力传感器2、PLC和送料部件3，坩埚本体1包括用于盛放镀膜材料的容纳腔11，坩埚本体1外沿其外周方向缠绕有加热丝4，坩埚本体1的底部设置检测容纳腔11重量的压力传感器2，坩埚本体1的上部连接有与容纳腔11相连通的送料部件3，压力传感器2通过PLC与送料部件3相连，压力传感器2将实时检测的压力信号传输给PLC，PLC将检测的压力信号与设定的重量信号比较，当检测的压力信号小于设定的重量信号时，PLC自动控制送料部件向容纳腔内输送镀膜材料，直到重量达到设定的范围后停止输料，实现了镀膜材料余量的自动监控和镀膜材料的自动输料，避免了坩埚本体干烧带来的损失，降低了工人的监控成本，保证本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀坩埚结构，其特征在于，包括坩埚本体(1)、压力传感器(2)、PLC和送料部件(3)，所述坩埚本体(1)包括用于盛放镀膜材料的容纳腔(11)，所述坩埚本体(1)外沿其外周方向缠绕有加热丝(4)，所述坩埚本体(1)的底部设置检测容纳腔(11)重量的压力传感器(2)，所述坩埚本体(1)的上部连接有与所述容纳腔(11)相连通的送料部件(3)，所述压力传感器(2)通过PLC与所述送料部件(3)相连。2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚结构，其特征在于：所述坩埚本体(1)外套接有冷却夹套(5)，所述冷却夹套(5)包覆在所述加热丝(4)和压力传感器(2)的外部。3.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚结构，其特征在于：所述坩埚本体(1)的端口处设置有外伸的凸缘(12)，所述凸缘(12)支撑连接在所述冷却夹套(5)开口的上端。4.根据权利要求2或3所述的蒸镀坩埚结构，其特征在于：所述送料部件(3)包括送料泵(31)、输送管道(32)和电控阀(33)，所述送料泵(31)的进口与储料仓相连，所述送料泵(31)的出口通过输送管道(32)与所述容纳腔(11)密封相连，所述输送管道(32)上安装所述电控阀(33)，所述压力传感器(2)通过PLC...

【专利技术属性】
技术研发人员：李本龙，刘胜芳，赵铮涛，
申请(专利权)人：安徽熙泰智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：