【技术实现步骤摘要】
蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置
[0001]本专利技术涉及的是一种超导材料加工设备领域的技术,具体是一种蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置。
技术介绍
[0002]在超导薄膜生产中,蒸发镀银工序作为重要一环,对带材的保护及带材性能具有非常重要的影响。目前蒸发镀银设备采用电子枪高能加热方式加热,具有加热速度快的优势,但所需电压要求较高,一般在8kV左右,能耗大;另外在真空腔室清理不慎或通电灯丝固定连接不良的情况下,落入坩埚室内的银作为一种导电性良好的介质,高能加热时变成银蒸汽,银蒸汽导电会造成设备频繁高电压报警,导致设备随之停机,不能连续生产。
[0003]为了解决现有技术存在的上述问题,本专利技术由此而来。
技术实现思路
[0004]本专利技术针对现有技术存在的上述不足,提出了一种蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置,能够实现蒸发镀银用钨坩埚的感应加热,降低能耗,避免因采用高能加热方式镀银造成设备频繁高电压报警停机。
[0005]本专利技术包括真空腔室,真空腔室中固定有阻热坩埚支架,阻热坩埚支架上设有蒸发镀银用钨坩埚;
[0006]对应蒸发镀银用钨坩埚,设有螺旋加热铜管;螺旋加热铜管用于对蒸发镀银用钨坩埚进行非接触式高频加热。
[0007]优选地,阻热坩埚支架包括底部支座、连接板和顶部支座,底部支座与真空腔室固定连接,连接板连接底部支座和顶部支座,顶部支座用于放置蒸发镀银用钨坩埚。
[0008]进一步优选地,连接板上规律地设置有若干阻热孔洞,通过阻热孔洞形成温度梯度,降低 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置,其特征在于,包括真空腔室,真空腔室中固定有阻热坩埚支架,阻热坩埚支架上设有蒸发镀银用钨坩埚;对应蒸发镀银用钨坩埚,设有螺旋加热铜管;螺旋加热铜管用于对蒸发镀银用钨坩埚进行非接触式高频加热。2.根据权利要求1所述蒸发镀银用钨坩埚的高频加热装置,其特征是,阻热坩埚支架包括底部支座、连接板和顶部支座,底部支座与真空腔室固定连接,连接板连接底部支座和顶部支座,顶部支座用于放置蒸发镀银用钨坩埚。3.根据权利要求1所述蒸发镀银用钨坩埚的...
【专利技术属性】
技术研发人员:周国山,蔡渊,迮建军,
申请(专利权)人:东部超导科技苏州有限公司,
类型:发明
国别省市:
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