本实用新型专利技术属于真空镀膜机技术领域，公开了一种可混镀的真空电镀装置，真空镀膜机壳体上设置有真空机，真空镀膜机壳体左侧安装有靶材安装架，靶材安装架内部固定有平面耙和圆柱耙；真空镀膜机壳体内部安装转动底座，转动底座上安装有转盘，转盘上设置基片安装结构；基片安装结构设置有固定板，固定板上侧安装有转动电机和导向圆环轨；转动电机输出轴通过连接键与转动台连接，导向圆环轨与转动台下端的圆环槽相配合。本实用新型专利技术通过平面耙和圆柱耙在电源加热的作用下，将靶材电镀到工件表面上，提高了耐磨度；同时本实用新型专利技术能够带动工件旋转，能够覆盖到工件的任意面上。能够覆盖到工件的任意面上。能够覆盖到工件的任意面上。
【技术实现步骤摘要】
一种可混镀的真空电镀装置
[0001]本技术属于真空镀膜机
，尤其涉及一种可混镀的真空电镀装置。
技术介绍
[0002]目前，传统水电镀由于对环境的污染及需要使用一些剧毒原料，已经被国家以及各级地方政府所限制发展，现阶段一些企业设立了集中污水处理的水电镀工业园，在一定程度上改变了污水乱排放的现象，但污水处理成本高，能耗高，而且造成水资源的浪费。在此背景下，目前迫切需要寻找一种替代传统水电镀的表面处理方法，使传统水电镀行业进行技术升级、技术改造，既符合国家环保政策，又可以满足产品出口的要求，同时提高出口产品的附加值。为了解决上述的问题，真空电镀设备发挥着关键性的作用。但是现有的真空电镀设备将工件电镀完成后，易产生磨损，降低了电镀的效果。同时现有的真空电镀设备在电镀过程中，不能使工件进行转动，易产生电镀不到位的位置。
[0003]通过上述分析，现有技术存在的问题及缺陷为：
[0004](1)现有的真空电镀设备将工件电镀完成后，易产生磨损，降低了电镀的效果。
[0005](2)现有的真空电镀设备在电镀过程中，不能使工件进行转动，易产生电镀不到位的位置。
技术实现思路
[0006]为了解决现有技术存在的问题，本技术提供了一种可混镀的真空电镀装置。
[0007]本技术是这样实现的，一种可混镀的真空电镀装置，所述可混镀的真空电镀装置设置有真空镀膜机壳体；
[0008]真空镀膜机壳体上设置有真空机，真空镀膜机壳体左侧安装有靶材安装架，靶材安装架内部固定有平面耙和圆柱耙；r/>[0009]真空镀膜机壳体内部安装转动底座，转动底座上安装有转盘，转盘上设置基片安装结构；
[0010]基片安装结构设置有固定板，固定板上侧安装有转动电机和导向圆环轨；
[0011]转动电机输出轴通过连接键与转动台连接，导向圆环轨与转动台下端的圆环槽相配合；
[0012]转动台上侧安装有支撑侧板，支撑侧板上通过弹簧固定有夹持固定板。
[0013]进一步，所述夹持固定板与拉杆连接，拉杆与拉柄连接。
[0014]进一步，所述转动底座设置有支撑座，支撑座上侧安装有支撑凸台，支撑凸台上侧安装有支撑竖杆；
[0015]支撑竖杆上侧通过转轴安装有支撑架，转轴通过联轴器与翻转电机输出轴连接，翻转电机固定在支撑竖杆上。
[0016]进一步，所述支撑架底侧安装有转盘电机，转盘电机上端安装有转盘。
[0017]进一步，所述靶材安装架左端安装有偏压电源接口，靶材安装架上侧通过螺纹孔
固定有第一旋钮和第二旋钮。
[0018]进一步，所述第一旋钮与平面耙挤压板连接，平面耙挤压板上嵌装有加热丝；
[0019]第二旋钮与圆柱耙挤压板连接，圆柱耙挤压板上嵌装有加热丝，圆柱耙挤压板上设置有凹面槽。
[0020]结合上述的所有技术方案，本技术所具备的优点及积极效果为：
[0021]本技术通过平面耙和圆柱耙在电源加热的作用下，将靶材电镀到工件表面上，提高了耐磨度；同时本技术能够带动工件旋转，能够覆盖到工件的任意面上。
[0022]本技术中固定板上侧安装有转动电机和导向圆环轨，可以提高转动的平稳性。
[0023]本技术中夹持固定板与拉杆连接，拉杆与拉柄连接，便于固定工件。
[0024]本技术通过转动底座的结构设计，便于固定工件。
[0025]本技术支撑架底侧安装有转盘电机，转盘电机上端安装有转盘，便于调整工件的正反面。
[0026]本技术中靶材安装架上侧通过螺纹孔固定有第一旋钮和第二旋钮，便于对靶材进行固定。
[0027]本技术中通过在挤压板上设置加热丝，可以使靶材蒸发进行电镀。
附图说明
[0028]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对本技术实施例中所需要使用的附图做简单的介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0029]图1是本技术实施例提供的可混镀的真空电镀装置结构示意图。
[0030]图2是本技术实施例提供的转动底座结构示意图。
[0031]图3是本技术实施例提供的基片安装结构结构示意图。
[0032]图4是本技术实施例提供的靶材安装架结构示意图。
[0033]图中：1、靶材安装架；2、平面耙；3、圆柱耙；4、真空机；5、真空镀膜机壳体；6、转盘；7、基片安装结构；8、支撑座；9、支撑凸台；10、支撑架；11、支撑竖杆；12、翻转电机；13、转盘电机；14、转动电机；15、固定板；16、导向圆环轨；17、转动台；18、拉柄；19、弹簧；20、夹持固定板；21、拉杆；22、支撑侧板；23、偏压电源接口；24、第一旋钮；25、平面耙挤压板；26、圆柱耙挤压板；27、第二旋钮。
具体实施方式
[0034]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0035]针对现有技术存在的问题，本技术提供了一种可混镀的真空电镀装置，下面结合附图对本技术作详细的描述。
[0036]如图1所示，本技术实施例提供的可混镀的真空电镀装置中真空镀膜机壳体5
上设置有真空机4，真空镀膜机壳体5左侧安装有靶材安装架1，靶材安装架1内部固定有平面耙2和圆柱耙3，靶材安装架1上安装有偏压电源接口，偏压电源接口接通电源，使靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面上。真空镀膜机壳体5内部安装转动底座，转动底座上安装有转盘6，转盘6上设置基片安装结构7。
[0037]如图2所示，如图2所示，本技术实施例提供的转动底座设置有支撑座8，支撑座8上侧安装有支撑凸台9，支撑凸台9上侧安装有支撑竖杆11，支撑竖杆11上侧通过转轴安装有支撑架10，转轴通过联轴器与翻转电机12输出轴连接，翻转电机12固定在支撑竖杆11上。支撑架10底侧安装有转盘电机13，转盘电机13上端安装有转盘6。当需要安装有基片时，翻转电机12控制支撑架翻转，对基片进行安装。基片安装完成后，翻转电机12使支撑架10回正，通过转盘电机13带动转盘6转动，进而带动基片转动。当需要安装有基片时，翻转电机12控制支撑架翻转，对基片进行安装。基片安装完成后，翻转电机12使支撑架10回正，通过转盘电机13带动转盘6转动，进而带动基片转动。
[0038]如图3所示，本技术实施例提供的基片安装结构7设置有固定板15，固定板15上侧安装有转动电机14和导向圆环轨16；转动电机14输出轴通过连接键与转动台17连接，导向圆环轨16与转动台17下端的圆环槽相配合。转动台17上侧安装有支撑侧板22，支撑侧板22上通过弹簧19固定有夹持本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可混镀的真空电镀装置，其特征在于，所述可混镀的真空电镀装置设置有：真空镀膜机壳体；真空镀膜机壳体上设置有真空机，真空镀膜机壳体左侧安装有靶材安装架，靶材安装架内部固定有平面耙和圆柱耙；真空镀膜机壳体内部安装转动底座，转动底座上安装有转盘，转盘上设置基片安装结构；基片安装结构设置有固定板，固定板上侧安装有转动电机和导向圆环轨；转动电机输出轴通过连接键与转动台连接，导向圆环轨与转动台下端的圆环槽相配合；转动台上侧安装有支撑侧板，支撑侧板上通过弹簧固定有夹持固定板。2.如权利要求1所述可混镀的真空电镀装置，其特征在于，所述夹持固定板与拉杆连接，拉杆与拉柄连接。3.如权利要求1所述可混镀的真空电镀装置，其特征在于，所述转动...
【专利技术属性】
技术研发人员：张忆霖，甘美婷，詹斯聪，
申请(专利权)人：深圳立木表面处理科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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